玻璃基板分离方法及玻璃基板分离装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种玻璃基板分离装置，若干第一真空吸附装置吸附住所述玻璃基板的一端，将玻璃基板的一端与所述OLED之间分离具有一定间距的开口，使用所述金属丝从位于该玻璃基板一端的开口进入，并紧靠玻璃基板的下表面移动至玻璃基板的另一端，从而将所述玻璃基板与所述OLED之间完成分离；所述第二真空吸附装置吸附在玻璃基板的中间位置，将所述玻璃基板从所述OLED上移除，从而实现了OLED模组生产中LLO后的玻璃基板移除工艺，避免了OLED以及设置于所述OLED表面层的PI层受到破坏，进而提高了所述OLED模组的良率。本发明专利技术还公开了一种使用上述玻璃基板分离装置的玻璃基板分离方法，用以将玻璃基板从所述OLED上移除。

Separation method of glass substrate and separation device for glass substrate

\u672c\u53d1\u660e\u516c\u5f00\u4e86\u4e00\u79cd\u73bb\u7483\u57fa\u677f\u5206\u79bb\u88c5\u7f6e\uff0c\u82e5\u5e72\u7b2c\u4e00\u771f\u7a7a\u5438\u9644\u88c5\u7f6e\u5438\u9644\u4f4f\u6240\u8ff0\u73bb\u7483\u57fa\u677f\u7684\u4e00\u7aef\uff0c\u5c06\u73bb\u7483\u57fa\u677f\u7684\u4e00\u7aef\u4e0e\u6240\u8ff0OLED\u4e4b\u95f4\u5206\u79bb\u5177\u6709\u4e00\u5b9a\u95f4\u8ddd\u7684\u5f00\u53e3\uff0c\u4f7f\u7528\u6240\u8ff0\u91d1\u5c5e\u4e1d\u4ece\u4f4d\u4e8e\u8be5\u73bb\u7483\u57fa\u677f\u4e00\u7aef\u7684\u5f00\u53e3\u8fdb\u5165\uff0c\u5e76\u7d27\u9760\u73bb\u7483\u57fa\u677f\u7684\u4e0b\u8868\u9762\u79fb\u52a8\u81f3\u73bb\u7483\u57fa\u677f\u7684\u53e6\u4e00\u7aef\uff0c\u4ece\u800c\u5c06\u6240\u8ff0\u73bb\u7483\u57fa\u677f\u4e0e\u6240\u8ff0OLED\u4e4b\u95f4\u5b8c\u6210\u5206\u79bb\uff1b\u6240\u8ff0\u7b2c\u4e8c\u771f\u7a7a\u5438\u9644\u88c5\u7f6e\u5438\u9644\u5728\u73bb\u7483\u57fa\u677f\u7684\u4e2d\u95f4\u4f4d\u7f6e\uff0c\u5c06\u6240\u8ff0\u73bb\u7483\u57fa\u677f\u4ece\u6240\u8ff0OLED\u4e0a\u79fb\u9664\uff0c\u4ece\u800c\u5b9e\u73b0\u4e86OLED\u6a21\u7ec4\u751f\u4ea7\u4e2dLLO\u540e\u7684\u73bb\u7483\u57fa\u677f\u79fb\u9664\u5de5\u827a\uff0c\u907f\u514d\u4e86OLED\u4ee5\u53ca\u8bbe\u7f6e\u4e8e\u6240\u8ff0OLED\u8868\u9762\u5c42\u7684PI\u5c42\u53d7\u5230\u7834\u574f\uff0c\u8fdb\u800c\u63d0\u9ad8\u4e86\u6240\u8ff0OLED\u6a21\u7ec4\u7684\u826f\u7387\u3002 The invention also discloses a glass substrate separation method using the glass substrate separation device, which is used to remove the glass substrate from the OLED.

【技术实现步骤摘要】
玻璃基板分离方法及玻璃基板分离装置
本专利技术涉及显示
，特别是涉及一种玻璃基板分离方法及玻璃基板分离装置。
技术介绍
在液晶显示领域，液晶屏的轻薄化是发展趋势，尤其是随着显示技术的不断进步，柔性有机发光二极管(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)模组的研发生产中，柔性OLED模组的特点之一就是厚度薄。OLED模组一般包括玻璃基板、OLED以及位于所述玻璃基板与该OLED之间的PI(聚酰亚胺，Polyimide)层，该PI层作为所述OLED的表面层，其厚度大约为20微米，因此容易受力损坏。在OLED模组生产中，在激光剥离(LaserLiftOff，LLO)之后需要将剥离基板从所述OLED上移除，此过程称之为移除(D-lami)制程。在现有技术中，大多采用直接剥离的方式移除所述玻璃基板，即通过吸嘴吸住所述玻璃基板，然后该吸嘴带动所述玻璃基板向上移动，使得玻璃基板与所述OLED之间完成分离。然而，上述直接剥离的方式由于作用在所述OLED上的拉力较大，容易破坏设置于所述OLED表面层的PI层，进而导致损坏所述OLED，造成所述OLED模组的良率下降。专利技本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种玻璃基板分离装置，用以将玻璃基板从有机发光二极管(OLED)上移除，其特征在于，所述玻璃基板分离装置包括剥离平台、若干第一真空吸附装置、分离丝及第二真空吸附装置，所述OLED吸附固定在所述玻璃平台上，若干所述第一真空吸附装置吸附在所述玻璃基板的第一位置并将所述玻璃基板与所述OLED之间分离而形成一开口，其中，所述开口的口径大于分离丝的直径，所述分离丝同时从位于所述玻璃基板一端的开口处贴着所述玻璃基板的下表面移动至所述玻璃基板的另一端以将所述玻璃基板与所述OLED分离，所述第二真空吸附装置吸附在所述玻璃基板的第二位置以将所述玻璃基板从所述OLED上移除。

【技术特征摘要】
1.一种玻璃基板分离装置，用以将玻璃基板从有机发光二极管(OLED)上移除，其特征在于，所述玻璃基板分离装置包括剥离平台、若干第一真空吸附装置、分离丝及第二真空吸附装置，所述OLED吸附固定在所述玻璃平台上，若干所述第一真空吸附装置吸附在所述玻璃基板的第一位置并将所述玻璃基板与所述OLED之间分离而形成一开口，其中，所述开口的口径大于分离丝的直径，所述分离丝同时从位于所述玻璃基板一端的开口处贴着所述玻璃基板的下表面移动至所述玻璃基板的另一端以将所述玻璃基板与所述OLED分离，所述第二真空吸附装置吸附在所述玻璃基板的第二位置以将所述玻璃基板从所述OLED上移除。2.如权利要求1所述的玻璃基板分离装置，其特征在于，所述剥离平台上开设有若干真空孔，所述OLED放置在所述剥离平台上且对应于若干真空孔的位置，所述真空孔连接一吸气装置使得所述OLED吸附在所述剥离平台上。3.如权利要求1所述的玻璃基板分离装置，其特征在于，所述玻璃基板分离装置还包括第一驱动装置，所述第一驱动装置驱动所述第一真空吸附装置向靠近所述玻璃基板的方向移动，并使得所述第一真空吸附装置吸附在所述玻璃基板的第一位置处。4.如权利要求1所述的玻璃基板分离装置，其特征在于，所述玻璃基板分离装置还包括控制单元，所述控制单元控制所述分离丝控制下进入所述玻璃基板一端的开口并贴紧所述玻璃基板的下表面，并控制所述分离丝以预定的速率移动至所述玻璃基板的另一端，且所述分离丝在整个移动过程与作为所述OLED表面层的PI层不接触。5.如权利要求1所述的玻璃基板分离装置，其特征在于，所述玻璃基板分离装置还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置驱动所述第二真空吸附装置向靠近所述玻璃基板的方向移动，并使得所述第二真空吸附装置吸附在所述玻璃基板的第二位置处；所述第二驱动装置还驱动所述第二真空吸附装置向远离所述OLED的方向移动，所述玻璃基板在第二真空吸附装置的带动下按照预定的速率抬升以将所述玻璃基板从所述OLED上移开。6.如权利要求1至5任意一项所述的玻璃基板分离装置，其特征在于，所述第一位置为...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈世敏，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42