一种基于光子晶体的液体传感器制造技术

本实用新型专利技术涉及液体检测技术领域，提供了一种基于光子晶体的液体传感器，包括有厚度为h2的单晶硅层2；单晶硅层2向上延伸出若干个周期性排列的单晶硅圆柱体1，单晶硅圆柱体1的厚度为h1、半径为r，水平相邻单晶硅圆柱体之间水平间距为a，竖向相邻单晶硅圆柱体之间的垂直间距为b；单晶硅层2下表面固定有厚度为h3的银衬底3，且h3＞＞h1、h2。本实用新型专利技术提供的液体传感器对环境介质具有高灵敏性，能够进行高精度、无损测量。

A liquid sensor based on photonic crystal

【技术实现步骤摘要】
一种基于光子晶体的液体传感器
本技术涉及液体检测
，具体为一种基于光子晶体的液体传感器。
技术介绍
在工业生产中经常需要对液体进行测量，传统的检测液体的传感器是一种将某种液体体积分数转化成对应电信号的转换器，但在信号转换过程中，存在噪声污染及有用信号损失，从而导致信噪比下降，另外其稳定性、灵敏度也亟待提高。光子晶体即光子禁带材料，具有周期性介电结构的人工设计和制造的晶体，基于光子晶体的液体传感器正好克服了传统方法的缺陷，对测量结果具有高精确性及稳定性。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种基于光子晶体的液体传感器，以解决上述
技术介绍
中的问题。本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种基于光子晶体的液体传感器，包括有厚度为h2的单晶硅层，单晶硅层向上延伸出若干个周期性排列的单晶硅圆柱体，单晶硅圆柱体的厚度为h1，单晶硅层下表面固定有厚度为h3的银衬底，且h3＞＞h1、h2。在上述方案基础上，所述单晶硅圆柱体的周期排列方式为矩形排列、六角形排列、正方形排列中的一种。与已公开技术相比，本技术存在以下优点：与传统液体传感器装置相比，该基于光子晶体的液体传感器尺寸小，光子晶体的光子禁带本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于光子晶体的液体传感器，其特征在于：包括有厚度为h2的单晶硅层，单晶硅层向上延伸出若干个周期性排列的单晶硅圆柱体，单晶硅圆柱体的厚度为h1，单晶硅层下表面固定有厚度为h3的银衬底，且h3＞＞h1、h2。

【技术特征摘要】
1.一种基于光子晶体的液体传感器，其特征在于：包括有厚度为h2的单晶硅层，单晶硅层向上延伸出若干个周期性排列的单晶硅圆柱体，单晶硅圆柱体的厚度为h1，单晶硅层下表面固定有厚...

【专利技术属性】
技术研发人员：李伟，蔡正杰，赖明聪，
申请(专利权)人：中光华研电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31