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一种基于光子晶体的液体传感器制造技术
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下载一种基于光子晶体的液体传感器的技术资料
文档序号:17246023
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本实用新型涉及液体检测技术领域,提供了一种基于光子晶体的液体传感器,包括有厚度为h2的单晶硅层2;单晶硅层2向上延伸出若干个周期性排列的单晶硅圆柱体1,单晶硅圆柱体1的厚度为h1、半径为r,水平相邻单晶硅圆柱体之间水平间距为a,竖向相邻单晶...
该专利属于中光华研电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中光华研电子科技有限公司授权不得商用。
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