光线透过窗集成装置及采用该装置的设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种光线透过窗集成装置及采用该装置的设备。该光线透过窗集成装置包括：基座，所述基座贯通相对的第一端面和第二端面设置有光线传输通路；具有预设透明度的窗体，固定设置于所述第一端面，并盖设于所述光线传输通路上；光源，设置于所述基座的内部，且所发出光线能够通过所述光线传输通路传输至所述窗体；图像采集部件，设置于所述窗体远离所述基座的一侧。该装置通过设置图像采集部件，在光源所提供照明时，利用图像采集部件能够拍摄获得窗体的清晰图像，用于实现对窗体的表面洁净度检测，检测过程简单、方便。

A device for integrating light through a window and using the device

【技术实现步骤摘要】
光线透过窗集成装置及采用该装置的设备
本专利技术涉及产品制造
，尤其是指一种光线透过窗集成装置及采用该装置的设备。
技术介绍
随着平面显示器的兴起，低温多晶硅(LowTemperaturePoly-silicon，简称LTPS)技术已成为高画质显示器的代名词。近年，各大面板厂商相继投产大视代LTPS生产线，低温多晶硅技术发展迅速、前景良好。在LTPS制作工艺中，准分子激光退火(ExcimerLaserAnnel，简称ELA)为不必可少的工艺过程，因此ELA设备为LTPS制作工艺的必要设备。通常，ELA设备上设置有退火窗口，安装在ELA设备的上部，用于实现密封并使退火用激光透过。激光传输进入ELA设备的内部，对内部设置的玻璃基板进行退火处理。随着ELA设备的长时间使用，激光透过退火窗口的累计时间增加，逐渐会在退火窗口的表面形成污染，此外由于退火窗口裸露在外部，同时也会有杂质飘落到退火窗口上，从而影响退火工艺的处理效果。因此在进行准分子激光退火时，需要掌握退火窗口的洁净度情况，以免其洁净度不佳时，影响最终退火工艺的效果。目前进行退火窗口洁净度检测的过程繁琐，首先需要手动操作ELA设备使其上升，与下部密封圈分离，然后松开螺栓将退火窗口取下，检查洁净度后再装回。此外，退火窗口的价格昂贵，设备安装位置较高，频繁取放会使部件损坏的危险性增加。因此，有必要设计一种窗口检测装置，以使得上述设置结构的退火窗口的检测过程简单、方便，避免频率拆装窗口，造成损坏。
技术实现思路
本专利技术技术方案的目的是提供一种光线透过窗集成装置及采用该装置的设备，用于解决现有技术密封设备上所设置窗口的检测过程较为繁琐的问题。本专利技术实施例提供一种光线透过窗集成装置，其中，包括：基座，所述基座贯通相对的第一端面和第二端面设置有光线传输通路；具有预设透明度的窗体，固定设置于所述第一端面，并盖设于所述光线传输通路上；光源，设置于所述基座的内部，且所发出光线能够通过所述光线传输通路传输至所述窗体；图像采集部件，设置于所述窗体远离所述基座的一侧。优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，所述光线透过窗集成装置还包括：安装架体，所述图像采集部件通过一移动驱动结构安装于所述安装架体上；通过所述移动驱动结构，所述图像采集部件能够在所述窗体远离所述基座的一侧，相对于所述窗体在一个平面内移动。优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，所述移动驱动结构包括：丝杠和与所述丝杠配合连接的滑块，其中所述图像采集部件固定于所述滑块上；驱动马达，与所述丝杠连接，所述驱动马达通过驱动所述丝杠转动，所述滑块带动所述图像采集部件沿所述丝杠移动。优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，所述光线透过窗集成装置还包括：气体吹出结构，用于在所述窗体远离所述基座的一侧吹出气体，且使所吹出气体以平行于所述窗体的第一表面的方向通过所述第一表面，其中所述第一表面为所述窗体远离所述第一端面的表面。优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，所述光线透过窗集成装置还包括：排气结构，包括与所述气体吹出结构相对设置的排气管路，其中所述气体吹出结构所吹出气体通过所述第一表面后，进入所述排气管路。优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，所述气体吹出结构与所述基座一体连接，内部设置有多条吹气管路，且每一所述吹气管路的出气口沿所述第一表面的其中一边缘排列。优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，所述基座形成为一盒体结构，所述第一端面上开设有与所述窗体的形状和大小对应的第一开孔，所述第二端面上开设有长条形的第二开孔；在所述基座内部，所述第一开孔到所述第二开孔的空间形成为所述光线传输通路。优选地，所述的光线透过窗集成装置，其中，在所述基座的内部，所述基座的相对两个侧壁上分别设置有多个所述光源。本专利技术具体实施例另一方面还提供一种加工设备，包括设备壳体，其中，所述加工设备还包括如上任一项所述的光线透过窗集成装置，其中所述设备壳体上设置有开口，所述基座设置于所述设备壳体的内部，所述窗体设置于所述开口处，并封闭所述开口。优选地，所述的加工设备，其中，所述加工设备还包括激光发射结构，设置于所述设备壳体的外部，所述激光发射结构用于通过所述窗体朝所述设备壳体的内部传输激光束；其中所述图像采集部件安装于所述激光发射结构上。本专利技术的一个或多个实施例至少具有以下有益效果：本专利技术具体实施例所述光线透过窗集成装置，通过设置图像采集部件，在光源所提供照明时，利用图像采集部件能够拍摄获得窗体的清晰图像，用于实现对窗体的表面洁净度检测。因此采用本专利技术具体实施例所述光线透过窗集成装置，在窗体安装于设备上的状态，即能够完成检测过程，不需要从设备上折卸窗体，检测过程简单、方便。附图说明图1为本专利技术实施例所述光线透过窗集成装置在第一角度的立体结构透视图；图2为本专利技术实施例所述光线透过窗集成装置在第二角度的立体结构透视图；图3为本专利技术实施例所述光线透过窗集成装置中所述移动驱动结构的结构示意图。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。本专利技术具体实施例所述光线透过窗集成装置，通过设置用于安装光源的基座，光源的光能够传输至用于光线透过的窗体上，在对窗体照明的条件下，利用设置于窗体一侧的图像采集部件采集窗体上的图像，即能够实现对窗体表面的洁净度检测，避免现有技术对窗体检测需要拆除窗体，使得检测过程繁琐的问题。图1至图2为本专利技术具体实施例所述光线透过窗集成装置在不同角度的立体结构示意图。参阅图1至图2，本专利技术具体实施例所述光线透过窗集成装置具体包括基座100、具有预设透明度的窗体200、光源300和图像采集部件400。具体地，基座100贯通相对的第一端面110和第二端面120设置有光线传输通路130；本专利技术实施例中，基座100形成为一盒体结构，第一端面110上开设有与窗体200的形状和大小对应的第一开孔，第二端面120上开设有长条形的第二开孔121。在基座100的内部形成为中空空间，第一端面110的第一开孔到第二端面120的第二开孔121的空间形成为光线传输通路。其中，第一端面110的第一开孔形成为用于光线透过的窗体200的安装位置，当光线透过窗集成装置安装于设备上时，透过窗体200、基座100内部的光线传输通路和第二端面120上的第二开孔121，可以观测到设备内部的工作状况。较佳地，本专利技术实施例所述光线透过窗集成装置可以应用于ELA设备，通过光线透过窗集成装置，可以使激光发射结构所发出激光传输进入ELA设备的内部，用于ELA设备内部所设置玻璃基板的退火工艺。因此第二开孔121的形状和大小可以依据激光束透过的设计要求确定。可以理解的是，采用能够使光线透过的窗体的设备不限于仅包括ELA设备，具体基座100的结构、第一端面110和第二端面120上所设置开孔的结构和形状并不限于上述。另外，窗体200形成为平板状，具有预设透明度，能够使光线透过，具体结构和材料可以依据设备的设计要求和工艺要求确定。本专利技术具体实施例中，窗体200固定设置于第一端面1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光线透过窗集成装置，其特征在于，包括：基座，所述基座贯通相对的第一端面和第二端面设置有光线传输通路；具有预设透明度的窗体，固定设置于所述第一端面，并盖设于所述光线传输通路上；光源，设置于所述基座的内部，且所发出光线能够通过所述光线传输通路传输至所述窗体；图像采集部件，设置于所述窗体远离所述基座的一侧。

【技术特征摘要】
1.一种光线透过窗集成装置，其特征在于，包括：基座，所述基座贯通相对的第一端面和第二端面设置有光线传输通路；具有预设透明度的窗体，固定设置于所述第一端面，并盖设于所述光线传输通路上；光源，设置于所述基座的内部，且所发出光线能够通过所述光线传输通路传输至所述窗体；图像采集部件，设置于所述窗体远离所述基座的一侧。2.根据权利要求1所述的光线透过窗集成装置，其特征在于，所述光线透过窗集成装置还包括：安装架体，所述图像采集部件通过一移动驱动结构安装于所述安装架体上；通过所述移动驱动结构，所述图像采集部件能够在所述窗体远离所述基座的一侧，相对于所述窗体在一个平面内移动。3.根据权利要求2所述的光线透过窗集成装置，其特征在于，所述移动驱动结构包括：丝杠和与所述丝杠配合连接的滑块，其中所述图像采集部件固定于所述滑块上；驱动马达，与所述丝杠连接，所述驱动马达通过驱动所述丝杠转动，所述滑块带动所述图像采集部件沿所述丝杠移动。4.根据权利要求1所述的光线透过窗集成装置，其特征在于，所述光线透过窗集成装置还包括：气体吹出结构，用于在所述窗体远离所述基座的一侧吹出气体，且使所吹出气体以平行于所述窗体的第一表面的方向通过所述第一表面，其中所述第一表面为所述窗体远离所述第一端面的表面。5.根据权利要求4所述的光线透过窗集成装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：王学勇，陈艳，焦士搏，闫俊伟，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11