本发明专利技术公开了一种可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置，其结构包括主机体、排气设备、冲洗设备、电动杆、传动装置、排水管、加工仓，所述主机体的顶部设有排气设备，所述排气设备通过螺栓和主机体固定连接，所述主机体的左部设有冲洗设备，所述冲洗设备通过连接管与加工仓连接，所述加工仓通过焊接固定在主机体的内部，所述加工仓的底部设有排水管，所述排水管上设有阀门，所述加工仓通过排水管连接至废水管，可以有效的控制设备的刻蚀时间，防止刻蚀时间或者刻蚀浓度的差异导致的良品率不稳定的问题，提高了设备的工作的稳定性和可靠性，提高了设备的经济效益。
A single crystal silicon etching device for improving the efficiency of the equipment
【技术实现步骤摘要】
一种可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置
本专利技术是一种可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置，属于单晶硅蚀刻装置领域。
技术介绍
蚀刻是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻和干蚀刻两类。最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版，也广泛地被使用于减轻重量仪器镶板，铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工；经过不断改良和工艺设备发展，亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工，特别在半导体制程上，蚀刻更是不可或缺的技术。侧蚀产生突沿。通常印制板在蚀刻液中的时间越长，(或者使用老式的左右摇摆蚀刻机)侧蚀越严重。侧蚀严重影响印制导线的精度，严重侧蚀将使制作精细导线成为不可能。当侧蚀和突沿降低时，蚀刻系数就升高，高的蚀刻系数表示有保持细导线的能力，使蚀刻后的导线接近原图尺寸。电镀蚀刻抗蚀剂无论是锡－铅合金，锡，锡－镍合金或镍，突沿过度都会造成导线短路。因为突沿容易断裂下来，在导线的两点之间形成电的桥接。但是，现有设备工作时在排水的过程中药液任然在对硅片进行刻蚀，会导致产品的良品率下降的问题，工况难以控制。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本专利技术目的是提供一种可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置，以解决现有设备工作时在排水的过程中药液任然在对硅片进行刻蚀，会导致产品的良品率下降的问题，工况难以控制。为了实现上述目的，本专利技术是通过如下的技术方案来实现：一种可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置，其结构包括主机体、排气设备、冲洗设备、电动杆、传动装置、排水管、加工仓，所述主机体的顶部设有排气设备，所述排气设备通过螺栓和主机体固定连接，所述主机体的左部设有冲洗设备，所述冲洗设备通过连接管与加工仓连接，所述加工仓通过焊接固定在主机体的内部，所述加工仓的底部设有排水管，所述排水管上设有阀门，所述加工仓通过排水管连接至废水管，所述传动装置与电动杆、排水管连接，所述主机体包括主机体控制设备、人机交互面板、工作监视窗、主机体外壳，所述主机体外壳的右部设有工作监视窗，所述工作监视窗通过胶条与主机体外壳固定连接，所述工作监视窗为倾斜布置，所述工作监视窗与水平面的夹角为60°，所述工作监视窗的下方设有人机交互面板，所述人机交互面板通过螺栓和主机体外壳连接，所述主机体外壳的内部设有控制设备，所述控制设备设在主机体外壳的内部，所述排气设备包括排气口、排气管连接口、排气泵箱，所述排气泵箱的上部设有圆形的排气口，所述排气泵箱的进气口和排气口连接，所述冲洗设备包括连接管、抽水增压泵、增压泵控制连接线，所述抽水增压泵的和主机体外壳固定连接，所述抽水增压泵的左端设有进水连接口，所述抽水增压泵的右端通过连接管与加工仓连接，所述抽水增压泵通过增压泵控制连接线与传动装置连接，所述电动杆包括电动杆底座、电动杆动力电机、电动杆主体、电动杆连接线，所述电动杆底座通过螺栓固定在主机体外壳的内部，所述电动杆底座设在加工仓的下方，所述电动杆底座的右边设有电动杆动力电机、电动杆主体，所述电动杆动力电机、电动杆主体均与电动杆底座固定连接，所述电动杆动力电机、电动杆主体之间通过链条传动，所述电动杆主体的输出端与传动装置配合，所述加工仓包括喷水头、加工仓主体、蚀刻液进入连接管、单晶硅片放置架、搅动电动机、搅拌杆、温度检测器，所述加工仓主体的上部通过连接杆和喷水头固定连接，所述喷水头与连接管连接，所述加工仓主体的内部设有单晶硅片放置架，所述加工仓主体的左部和蚀刻液进入连接管连接，所述加工仓主体的底部设有搅动电动机，所述搅动电动机通过螺栓和加工仓主体连接，所述搅动电动机的右边设有温度检测器，所述传动装置包括排水管阀门、接触片、接触头、支撑杆，所述排水管阀门包括电动杆输出齿、阀门连接轴、阀门连接轴齿轮、阀门主体，所述电动杆输出齿杆连接在电动杆的输出杆上，所述电动杆输出齿杆的右端设有接触片，所述接触片的右边设有支撑杆，所述支撑杆上设有接触头，所述接触头通过电路和增压泵控制连接线连接，所述排水管阀门固定在排水管上。进一步的，所述接触头一共设有2个，所述接触头一个连接电源的正极，另外一个连接电源的负极，所述接触头为凸起的圆形结构，上述结构可以提高接触的效果防止接触不良。进一步的，所述接触片为长条状的纯铜结构，所述接触片为实心结构，所述接触片的厚度为1mm，上述结构可以有效的保证电路的连通，电阻较小。进一步的，所述电动杆输出齿与阀门连接轴齿轮配合，所述电动杆输出齿为长条形结构，工作的稳定性较高。进一步的，所述支撑杆为空心的铝合金结构，所述支撑杆为四棱柱结构，所述支撑杆的壁厚为1mm，电路可以从杆内通过，同时强度不变，使设备内部变得简洁。有益效果本专利技术提供一种可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置的方案，通过设有传动装置，当检测器检测到蚀刻的溶液的pH值达到蚀刻工作结束时，检测器发出电信号到电动杆，电动杆开始工作，电动杆的输出杆推动电动杆输出齿向右运动，从而带动阀门连接轴、阀门连接轴齿轮转动，打开设备的排水管的阀门，将废液排出，同时电动杆输出齿的右端的接触片与接触头接触，连通冲洗水泵的电路，之后水泵开始抽纯水对单晶硅片进行清洗，当pH值恢复到7之后，检测器发出电信号到电动杆，电动杆开始工作，电动杆的输出杆推动电动杆输出齿向左运动，从而带动阀门连接轴、阀门连接轴齿轮转动，关闭设备的排水管的阀门，同时电动杆输出齿的右端的接触片与接触头断开，连通冲洗水泵的电路断开，之后水泵开始抽纯水对单晶硅片进行清洗的工作结束，可以有效的控制设备的刻蚀时间，防止刻蚀时间或者刻蚀浓度的差异导致的良品率不稳定的问题，提高了设备的工作的稳定性和可靠性，提高了设备的经济效益。附图说明通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本专利技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：图1为本专利技术一种可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置的结构示意图。图2为本专利技术一种可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置的结构示意图。图3为本专利技术工作状态的结构示意图。图4为本专利技术传动装置的结构示意图。图5为本专利技术排水管阀门传动的结构示意图。图中：主机体-1、排气设备-2、冲洗设备-3、电动杆-4、传动装置-5、排水管-6、加工仓-7、主机体控制设备-11、人机交互面板-12、工作监视窗-13、主机体外壳-14、排气口-21、排气管连接口-22、排气泵箱-23、连接管-31、抽水增压泵-32、增压泵控制连接线-33、电动杆底座-41、电动杆动力电机-42、电动杆主体-43、电动杆连接线-44、喷水头-71、加工仓主体-72、蚀刻液进入连接管-73、单晶硅片放置架-74、搅动电动机-75、搅拌杆-76、温度检测器-77、排水管阀门-51、接触片-52、接触头-53、支撑杆-54、电动杆输出齿-511、阀门连接轴-512、阀门连接轴齿轮-513、阀门主体-514。具体实施方式为使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本专利技术。请参阅图1-图5，本专利技术提供一种可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置方案：其结构包括主机体1、排气设备2、冲洗设备3、电动杆4、传动装置5、排水管6、加工仓7，所述主机体1本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置，其结构包括主机体(1)、排气设备(2)、冲洗设备(3)、电动杆(4)、传动装置(5)、排水管(6)、加工仓(7)，其特征在于：所述主机体(1)的顶部设有排气设备(2)，所述排气设备(2)通过螺栓和主机体(1)固定连接，所述主机体(1)的左部设有冲洗设备(3)，所述冲洗设备(3)通过连接管与加工仓(7)连接，所述加工仓(7)通过焊接固定在主机体(1)的内部，所述加工仓(7)的底部设有排水管(6)，所述排水管(6)上设有阀门，所述加工仓(7)通过排水管(6)连接至废水管，所述传动装置(5)与电动杆(4)、排水管(6)连接；所述主机体(1)包括主机体控制设备(11)、人机交互面板(12)、工作监视窗(13)、主机体外壳(14)，所述主机体外壳(14)的右部设有工作监视窗(13)，所述工作监视窗(13)通过胶条与主机体外壳(14)固定连接，所述工作监视窗(13)为倾斜布置，所述工作监视窗(13)与水平面的夹角为60°，所述工作监视窗(13)的下方设有人机交互面板(12)，所述人机交互面板(12)通过螺栓和主机体外壳(14)连接，所述主机体外壳(14)的内部设有控制设备(11)，所述控制设备(11)设在主机体外壳(14)的内部；所述排气设备(2)包括排气口(21)、排气管连接口(22)、排气泵箱(23)，所述排气泵箱(23)的上部设有圆形的排气口(21)，所述排气泵箱(23)的进气口和排气口(21)连接；所述冲洗设备(3)包括连接管(31)、抽水增压泵(32)、增压泵控制连接线(33)，所述抽水增压泵(32)的和主机体外壳(14)固定连接，所述抽水增压泵(32)的左端设有进水连接口，所述抽水增压泵(32)的右端通过连接管(31)与加工仓(7)连接，所述抽水增压泵(32)通过增压泵控制连接线(33)与传动装置(5)连接；所述电动杆(4)包括电动杆底座(41)、电动杆动力电机(42)、电动杆主体(43)、电动杆连接线(44)，所述电动杆底座(41)通过螺栓固定在主机体外壳(14)的内部，所述电动杆底座(41)设在加工仓(7)的下方，所述电动杆底座(41)的右边设有电动杆动力电机(42)、电动杆主体(43)，所述电动杆动力电机(42)、电动杆主体(43)均与电动杆底座(41)固定连接，所述电动杆动力电机(42)、电动杆主体(43)之间通过链条传动，所述电动杆主体(43)的输出端与传动装置(5)配合；所述加工仓(7)包括喷水头(71)、加工仓主体(72)、蚀刻液进入连接管(73)、单晶硅片放置架(74)、搅动电动机(75)、搅拌杆(76)、温度检测器(77)，所述加工仓主体(72)的上部通过连接杆和喷水头(71)固定连接，所述喷水头(71)与连接管(31)连接，所述加工仓主体(72)的内部设有单晶硅片放置架(74)，所述加工仓主体(72)的左部和蚀刻液进入连接管(73)连接，所述加工仓主体(72)的底部设有搅动电动机(75)，所述搅动电动机(75)通过螺栓和加工仓主体(72)连接，所述搅动电动机(75)的右边设有温度检测器(77)；所述传动装置(5)包括排水管阀门(51)、接触片(52)、接触头(53)、支撑杆(54)，所述排水管阀门(51)包括电动杆输出齿(511)、阀门连接轴(512)、阀门连接轴齿轮(513)、阀门主体(514)，所述电动杆输出齿杆(511)连接在电动杆(4)的输出杆上，所述电动杆输出齿杆(511)的右端设有接触片(52)，所述接触片(52)的右边设有支撑杆(54)，所述支撑杆(54)上设有接触头(53)，所述接触头(53)通过电路和增压泵控制连接线(33)连接，所述排水管阀门(51)固定在排水管(6)上。...
【技术特征摘要】
1.一种可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置，其结构包括主机体(1)、排气设备(2)、冲洗设备(3)、电动杆(4)、传动装置(5)、排水管(6)、加工仓(7)，其特征在于：所述主机体(1)的顶部设有排气设备(2)，所述排气设备(2)通过螺栓和主机体(1)固定连接，所述主机体(1)的左部设有冲洗设备(3)，所述冲洗设备(3)通过连接管与加工仓(7)连接，所述加工仓(7)通过焊接固定在主机体(1)的内部，所述加工仓(7)的底部设有排水管(6)，所述排水管(6)上设有阀门，所述加工仓(7)通过排水管(6)连接至废水管，所述传动装置(5)与电动杆(4)、排水管(6)连接；所述主机体(1)包括主机体控制设备(11)、人机交互面板(12)、工作监视窗(13)、主机体外壳(14)，所述主机体外壳(14)的右部设有工作监视窗(13)，所述工作监视窗(13)通过胶条与主机体外壳(14)固定连接，所述工作监视窗(13)为倾斜布置，所述工作监视窗(13)与水平面的夹角为60°，所述工作监视窗(13)的下方设有人机交互面板(12)，所述人机交互面板(12)通过螺栓和主机体外壳(14)连接，所述主机体外壳(14)的内部设有控制设备(11)，所述控制设备(11)设在主机体外壳(14)的内部；所述排气设备(2)包括排气口(21)、排气管连接口(22)、排气泵箱(23)，所述排气泵箱(23)的上部设有圆形的排气口(21)，所述排气泵箱(23)的进气口和排气口(21)连接；所述冲洗设备(3)包括连接管(31)、抽水增压泵(32)、增压泵控制连接线(33)，所述抽水增压泵(32)的和主机体外壳(14)固定连接，所述抽水增压泵(32)的左端设有进水连接口，所述抽水增压泵(32)的右端通过连接管(31)与加工仓(7)连接，所述抽水增压泵(32)通过增压泵控制连接线(33)与传动装置(5)连接；所述电动杆(4)包括电动杆底座(41)、电动杆动力电机(42)、电动杆主体(43)、电动杆连接线(44)，所述电动杆底座(41)通过螺栓固定在主机体外壳(14)的内部，所述电动杆底座(41)设在加工仓(7)的下方，所述电动杆底座(41)的右边设有电动杆动力电机(42)、电动杆主体(43)，所述电动杆动力电机(42)、电动杆主体(43)均与电动杆底座(41)...
【专利技术属性】
技术研发人员：王莉娜，
申请(专利权)人：王莉娜，
类型：发明
国别省市：浙江,33
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