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本发明公开了一种可改善设备的工作效率的传感器单晶硅蚀刻装置，其结构包括主机体、排气设备、冲洗设备、电动杆、传动装置、排水管、加工仓，所述主机体的顶部设有排气设备，所述排气设备通过螺栓和主机体固定连接，所述主机体的左部设有冲洗设备，所述冲洗设...
该专利属于王莉娜所有，仅供学习研究参考，未经过王莉娜授权不得商用。

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