锁紧装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种锁紧装置。所述锁紧装置包括：固定组件；至少两个螺丝锁杆，多个所述螺丝锁杆设置在所述固定组件上，每个所述螺丝锁杆与所述固定组件转动连接，所述螺丝锁杆用于锁紧紧固件；传动组件，设置在所述固定组件上，所述传动组件用于驱动多个所述螺丝锁杆同步转动；以及驱动件，所述驱动件用于驱动所述传动组件。本发明专利技术中的锁紧装置通过驱动件驱动传动组件，进一步通过传动组件驱动多个螺丝锁杆同步转动，进而使多个螺丝锁杆同时锁紧紧固件，由于多个螺丝锁杆同时锁紧或者解锁紧固件进而可对多个紧固件施加均匀的作用力，从而提高装配精度。另一方面，由于通过锁紧装置可同时锁紧多个紧固件，从而可提高锁紧装置的效率。

Locking device

The invention provides a locking device. The locking device comprises a fixed component; at least two screw rod, a plurality of the screw rod is arranged on the fixed components, each of the screw rod and the fixing component is rotatably connected, the screw rod is used for locking fasteners; transmission assembly is arranged on the fixed a component, the transmission assembly for driving the plurality of screw rod to rotate synchronously; and a driving piece, the driver used to drive the transmission assembly. The invention of the locking device driven by a drive assembly, transmission assembly further by driving a plurality of screw rod to rotate synchronously, and then make a screw lock rod and lock fastener, due to multiple screw locking or unlocking and locking rod fasteners and applying a uniform force on a plurality of fasteners. In order to improve the assembly precision. On the other hand, because the locking device can lock a plurality of fasteners at the same time, the efficiency of the locking device can be improved.

【技术实现步骤摘要】
锁紧装置
本专利技术涉及机械自动化装置
，特别涉及一种锁紧装置。
技术介绍
由于紧固件能方便快捷的将不同的零部件装配起来，因此紧固件被广泛应用于机械装置中。然而，紧固件，例如螺丝在锁紧机械装置的零部件时，锁紧螺丝的力的大小和锁紧螺丝的顺序会对影响零部件装配后的平面度、垂直度等装配精度，进而影响到机械装置的相关性能。例如，半导体蚀刻设备的工件台通过螺丝锁紧时，锁紧螺丝的力的大小和顺序容易影响工件台的平行度，进而影响半导体蚀刻设备的蚀刻精度。目前，通常采用力矩扳手锁紧半导体蚀刻设备的工件台上的螺丝。具体的，锁紧每个螺丝的过程分成多次，每次以固定的力矩采用一定的顺序连续锁紧多个螺丝，并且多次锁紧的过程中，锁紧螺丝的力可相同或者不相同。通过这种锁紧方式可使工件台装配后的平面度等精度满足一定要求，从而使半导体蚀刻设备的蚀刻精度能满足要求。然而，这种锁紧方式需要分多次锁紧螺丝，并且每次仅能对单个螺丝进行锁紧，故而需要耗费大量的时间，此外，工件台上的螺丝并不是同时被锁紧，因此工件台的受力并不均匀，工件台装配后的平面度等精度仍然会受到螺丝锁紧情况的影响。例如，依次通过14N.m、28N.m、42N.m、42N.m的力矩，按照一定顺序分四次锁紧38颗螺丝，就需要耗费大约15分钟的时间，并且，在每次锁紧螺丝时，虽然按照一定顺序进行锁紧，但是多个螺丝仍旧是单个进行锁紧，因此在锁紧螺丝的过程中，螺丝对工件台的作用力仍然不均匀，仍然会影响机械装置装配后的精度。因此急需提供一种新的锁紧装置，以改善锁紧装置锁紧效率低，且对需要锁紧的紧固件的作用力不均匀的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种锁紧装置，以解决现有的锁紧装置对需要锁紧的紧固件的作用力不均匀的问题。本专利技术的另一目的在于提供一种锁紧装置，以解决采用现有的锁紧装置锁紧效率低的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供一种锁紧装置，用于锁紧紧固件，包括：固定组件；至少两个螺丝锁杆，多个所述螺丝锁杆设置在所述固定组件上，每个所述螺丝锁杆与所述固定组件转动连接，所述螺丝锁杆用于锁紧紧固件；传动组件，设置在所述固定组件上，所述传动组件用于驱动多个所述螺丝锁杆同步转动；驱动件，所述驱动件用于驱动所述传动组件。可选的，传动组件为齿轮传动结构。可选的，所述齿轮传动结构包括多个齿轮副，每个齿轮副包括一个驱动轮和至少两个从动轮，每个所述驱动轮用于同时驱动多个从动轮转动，所有的所述驱动轮同轴设置在所述固定组件上，所有的所述从动轮分别均匀设置在所述固定组件上，所述驱动件用于驱动多个所述驱动轮旋转，多个所述从动轮用于驱动多个螺丝锁杆转动。可选的，所有的所述驱动轮的外径沿着轴向依次增大，所有的所述齿轮副的从动轮的外径大小相等。可选的，所述固定组件包括至少两个传动轴和固定盘，多个所述传动轴与所述固定盘转动连接，一个所述从动轮用于驱动一个所述传动轴转动，一个所述传动轴用于驱动一个所述螺丝锁杆转动。可选的，所述固定盘上设置有用于设置所述齿轮传动结构的凹槽。可选的，所述固定组件还包括至少两个支撑件，所述支撑件用于支撑所述固定盘。可选的，所述驱动件为L型。可选的，所述螺丝锁杆为套筒或者螺丝刀。可选的，所述螺丝锁杆还用于解锁紧固件。本专利技术提供的一种锁紧装置，具有以下有益效果：通过驱动件驱动传动组件，进一步通过传动组件驱动多个螺丝锁杆同步转动，进而使多个螺丝锁杆同时锁紧紧固件，由于多个螺丝锁杆同时锁紧或者解锁紧固件进而可对多个紧固件施加均匀的作用力，从而提高装配精度。另一方面，由于通过锁紧装置可同时锁紧多个紧固件，从而可提高锁紧装置的效率。附图说明图1是本专利技术一种实施例中的锁紧装置的结构示意图；图2是本专利技术一种实施例中的锁紧装置的齿轮传动结构的俯视图；图3是本专利技术一种实施例中的锁紧装置的驱动轮的截面示意图；图4是本专利技术一种实施例中的固定盘的俯视图；图5是本专利技术一种实施例中的固定盘的截面示意图；图6是本专利技术一种实施例中的固定组件的主视图；图7是本专利技术一种实施例中的驱动件的主视图。附图标记说明：10-固定组件；11-固定盘；12-通孔；13-凹槽；14-支撑件；20-螺丝锁杆；30-齿轮传动结构；31-驱动轮；32-从动轮；40-驱动件。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本专利技术提出的锁紧装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本专利技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本专利技术实施例的目的。本实施例提供一种锁紧装置。参考图1，图1是本专利技术一种实施例中的锁紧装置的结构示意图，所述锁紧装置包括：固定组件10、至少两个螺丝锁杆20、传动组件和驱动件40。多个所述螺丝锁杆20均匀设置在所述固定组件10上。每个所述螺丝锁杆20与所述固定组件10转动连接，所述螺丝锁杆20用于锁紧紧固件。当然，当所述螺丝锁杆20朝着相反的方向转动的时候，所述螺丝锁杆20还可用于解锁紧固件，即将所述紧固件旋松。本实施例中，所述螺丝锁杆20可为套筒或者螺丝刀。当然，本实施例中，所述螺丝锁杆20可为用于紧固和解锁紧固件的工具，如各种扳手。所述紧固件可为螺丝，螺栓等常用的紧固件。当然，在其他的实施例中，多个所述螺丝锁杆20还可以以非均匀的方式设置在所述固定组件10上。所述传动组件设置在所述固定组件10上，所述传动组件用于驱动多个所述螺丝锁杆20同步转动。优选的，所述传动组件为齿轮传动结构。当然，所述传动组件还可为其它可以同步驱动多个螺丝锁杆20转动的结构，如带传动结构或者链传动结构。具体的，参考图2和图3，图2是本专利技术一种实施例中的锁紧装置的齿轮传动结构的俯视图，图3是本专利技术一种实施例中的锁紧装置的驱动轮的截面示意图，所述齿轮传动结构30包括多个齿轮副。每个齿轮副包括一个驱动轮31和至少两个从动轮32。每个所述驱动轮31用于同时驱动多个从动轮32转动。所有的所述驱动轮31同轴设置在所述固定组件上。所有的所述从动轮32分别均匀设置在所述固定组件上。所述驱动件40用于驱动多个所述驱动轮旋转，多个所述从动轮32用于驱动多个螺丝锁杆20转动。本实施例中，所有的所述驱动轮31的外径沿着轴向依次增大，所有的所述齿轮副的从动轮32的外径大小相等。这样，便于在所述固定组件上设置从动轮32，即便于在固定组件上设置螺丝锁杆。所述固定组件包括固定盘、驱动轴和至少两个传动轴。多个所述传动轴与所述固定盘转动连接。其中，一个所述从动轮32用于驱动一个所述传动轴转动，一个所述传动轴用于驱动一个所述螺丝锁杆转动。所述从动轮32和所述驱动轮31均可设置在所述固定盘上。具体的，所述固定盘上可设置有至少两个通孔。所述传动轴可设置在上述通孔内。所述螺丝锁杆可安装在所述传动轴上。所述从动轮32也可安装在所述传动轴上。优选的，参考图4，图4是本专利技术一种实施例中的固定盘的俯视图，所述固定盘11上设置有多个通孔12，多个通孔12呈环形分布在所述固定盘11上，所述驱动轴位于多个所述通孔12的中心。锁紧装置使用时，可分别在位于不同的圆环上的通孔12内设置传动轴，以及对应的设置螺丝锁杆，如此，可通过锁紧装置同时锁紧和解锁一圈的紧固件，如螺丝，如此可提高锁紧和解锁螺丝的效率。优选的，所述传动轴具有与所述从动轮相配置的第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种锁紧装置，用于锁紧紧固件，其特征在于，包括：固定组件；至少两个螺丝锁杆，多个所述螺丝锁杆设置在所述固定组件上，每个所述螺丝锁杆与所述固定组件转动连接，所述螺丝锁杆用于锁紧紧固件；传动组件，设置在所述固定组件上，所述传动组件用于驱动多个所述螺丝锁杆同步转动；以及驱动件，所述驱动件用于驱动所述传动组件。

【技术特征摘要】
1.一种锁紧装置，用于锁紧紧固件，其特征在于，包括：固定组件；至少两个螺丝锁杆，多个所述螺丝锁杆设置在所述固定组件上，每个所述螺丝锁杆与所述固定组件转动连接，所述螺丝锁杆用于锁紧紧固件；传动组件，设置在所述固定组件上，所述传动组件用于驱动多个所述螺丝锁杆同步转动；以及驱动件，所述驱动件用于驱动所述传动组件。2.如权利要求1所述的锁紧装置，其特征在于，传动组件为齿轮传动结构。3.如权利要求2所述的锁紧装置，其特征在于，所述齿轮传动结构包括多个齿轮副，每个齿轮副包括一个驱动轮和至少两个从动轮，每个所述驱动轮用于同时驱动多个从动轮转动，所有的所述驱动轮同轴设置在所述固定组件上，所有的所述从动轮分别均匀设置在所述固定组件上，所述驱动件用于驱动多个所述驱动轮旋转，多个所述从动轮用于驱动多个螺丝锁杆转动。4.如权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鹏飞，沈超，邵克坚，刘东升，吕煜坤，朱骏，张旭升，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海,31