基于PSD传感器的位置测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种基于PSD传感器的位置测量装置，包括外壳体(1)、分束镜(2)、反射镜(3)和PSD位置传感器(4)；水平入射到反射镜(3)的中心线B的激光，经反射镜(3)向上反射作用后，垂直入射到分束镜(2)的中心线A的位置，再经分束镜(2)的反射后，水平入射到PSD位置传感器(4)，由PSD位置传感器(4)检测最初入射激光在水平面的方位。本实用新型专利技术提供的基于PSD传感器的位置测量装置具有以下优点：通过简单的结构，巧妙的实现了同一位置的PSD传感器对两路不同高度入射激光的方位测量，从而扩大了PSD传感器的应用范围。

【技术实现步骤摘要】
基于PSD传感器的位置测量装置
本技术属于位置测量
，具体涉及一种基于PSD传感器的位置测量装置。
技术介绍
PSD(PositionSensitivedetector)传感器是一种能测量光点在探测器表面上连续位置的光学探测器，其工作原理为：PSD传感器由P衬底、PIN光电二极管及表面电阻组成，是基于非均匀半导体的“横向光电效应”，而达到器件对入射激光位置的敏感，即：利用PSD的光电流可测量入射到感光区域的光斑能量中心位置，将光敏面上光点位置转化为电信号，从而实现对入射激光方向的测量。现有的各类PSD传感器，当其位置固定后，只能实现对某个特定高度入射激光方位的测量，具有较大的使用局限性。
技术实现思路
针对现有技术存在的缺陷，本技术提供一种基于PSD传感器的位置测量装置，可有效解决上述问题。本技术采用的技术方案如下：本技术提供一种基于PSD传感器的位置测量装置，包括外壳体(1)、分束镜(2)、反射镜(3)和PSD位置传感器(4)；所述外壳体(1)为前端开口的空腔结构；所述分束镜(2)倾斜固定于所述外壳体(1)的内部，并且，所述分束镜(2)的分光面与轴线呈45度夹角；所述分束镜(2)的分本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于PSD传感器的位置测量装置，其特征在于，包括外壳体(1)、分束镜(2)、反射镜(3)和PSD位置传感器(4)；所述外壳体(1)为前端开口的空腔结构；所述分束镜(2)倾斜固定于所述外壳体(1)的内部，并且，所述分束镜(2)的分光面与轴线呈45度夹角；所述分束镜(2)的分光面的中心线为中心线A，中心线A与所述外壳体(1)的前端开口连通；在所述外壳体(1)的后端内壁且位于所述分束镜(2)的通过中心线A的透射光路上，固定安装所述PSD位置传感器(4)；所述反射镜(3)倾斜固定于所述外壳体(1)的底壁，所述反射镜(3)的反射面与所述分束镜(2)的分光面平行设置，并且，所述反射镜(3)的反射面中心...

【技术特征摘要】
1.一种基于PSD传感器的位置测量装置，其特征在于，包括外壳体(1)、分束镜(2)、反射镜(3)和PSD位置传感器(4)；所述外壳体(1)为前端开口的空腔结构；所述分束镜(2)倾斜固定于所述外壳体(1)的内部，并且，所述分束镜(2)的分光面与轴线呈45度夹角；所述分束镜(2)的分光面的中心线为中心线A，中心线A与所述外壳体(1)的前端开口连通；在所述外壳体(1)的后端内壁且位于所述分束镜(2)的通过中心线A的透射光路上，固定安装所述PSD位置传感器(4)；所述反射镜(3)倾斜固定于所述外壳体(1)的底壁，所述反射镜(3)的反射面与所述分束镜(2)的分光面平行设置，并且，所述反射镜(3)的反射面中心线为中心线B，中心线B位于中心线A的正下方，因此，水平入射到反射镜(3)的中心线B的激光，经反射镜(3)向上反射作用后，垂直入...

【专利技术属性】
技术研发人员：张策，范晓勇，滕云田，张小涛，张涛，
申请(专利权)人：中国地震局地球物理研究所，
类型：新型
国别省市：北京,11