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本实用新型提供一种基于PSD传感器的位置测量装置，包括外壳体(1)、分束镜(2)、反射镜(3)和PSD位置传感器(4)；水平入射到反射镜(3)的中心线B的激光，经反射镜(3)向上反射作用后，垂直入射到分束镜(2)的中心线A的位置，再经分束镜...
该专利属于中国地震局地球物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国地震局地球物理研究所授权不得商用。

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