一种氮氧化物气体传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种氮氧传感器，氮氧传感器从上到下依次包含五层基片。在第二层基片上包含四个腔室：依次为原始气体腔室、两个泵氧腔室和一个测量腔室，四个腔室之间分别通过扩散障层隔开。在第一层基片、第二、第三腔室的上、下两侧以及第四腔室的下侧分别存在一个电极。其中第二腔室上侧、第三腔室上侧的电极分别与第一基片上的电极构成第一、第二泵氧电极。第二腔室下侧电极为对电极。第四腔室含有一个测量电极。第三层基片中含有一个与大气相连的参考气体腔室。在第三基片和第四基片之间存在一个测量电极的参考电极。在第四基片下侧存在一个加热电极。本发明专利技术所提供的传感器，检测的浓度范围广，响应时间短，同时制作工艺简单。

A nitrogen oxide gas sensor

The invention discloses a nitrogen oxygen sensor, which consists of five layers of substrate from top to bottom. There are four chambers in the second layers: the original gas chamber, the two pump chamber and the measuring chamber. The four chambers are separated by diffusion barrier. There is an electrode in the first layer, the upper and lower sides of the second, the third chamber, and the lower side of the fourth chamber. The electrodes on the upper side of the second chamber and the upper side of the third chamber are respectively connected with the electrodes on the first substrate to form the first and second pump oxygen electrodes. The lower side electrode of the second chamber is the opposite electrode. The fourth chamber contains a measuring electrode. The third layer of substrate contains a reference gas chamber connected to the atmosphere. The reference electrode has a measurement electrode between the three substrate and the fourth substrate. There is a heating electrode on the lower side of the fourth substrate. The sensor provided by the invention has a wide range of detection concentration, short response time and simple production process at the same time.

【技术实现步骤摘要】
一种氮氧化物气体传感器
本专利技术属于传感器
，更具体地，涉及一种用于检测氮氧化物的气体传感器。
技术介绍
随着社会经济的发展，我国拥有的机动车数量迅猛增长，汽车尾气的排放已成为环境污染、雾霾天气频发的重要原因之一。大气污染物中的氮氧化合物的主要来源即是汽车尾气。为控制大气污染，国家制定了越来越严格的汽车尾气排放法规，要求对汽车尾气中的氮氧化物浓度进行实时监测和处理，氮氧传感器即是检测汽车尾气中氮氧化物浓度排放的核心部件。现有技术中，传统的氮氧传感器多采用片状结构，由多层部分稳定氧化锆陶瓷基片叠合烧结而成。其结构主要分为两部分组成，一部分为实现氧化还原及电化学反应的功能层，另一部分是负责为氮氧传感器加热以达到催化反应所需温度的加热层。针对传统氮氧传感器结构复杂、电极附近易开裂、灵敏度不高等缺点，最近发展的技术对其有所改进。例如专利号为201520282672.6公开了一种新的传感器，该传感器将内部传统的5个腔室缩减为3个腔室，既简化了传感器的结构从而优化了生产工艺，又缩短了气体扩散进入测量腔室的时间，缩短了氮氧传感器的响应时间，从而提高了传感器的灵敏度。但是该传感器仍有九层基片本文档来自技高网...

【技术保护点】
本专利技术提供了一种新型的氮氧传感器，其特征在于：该传感器结构包括从上到下依次叠压的第一层基片、第二层基片、第三层基片、第四层基片、第五层基片；在第一层基片上存在一个电极；在第二层基片上包含了四个腔室：第一腔室为原始气体腔室，第二腔室和第三腔室为泵氧腔室，第四腔室为测量腔室；在第二腔室的上、下两侧，第三腔室的上、下两侧以及第四腔室的下侧分别存在一个电极；其中在第二腔室上侧的电极与第一基片上的电极构成了第一泵氧电极，第三腔室上侧的电极和第一基片上的电极构成了第二泵氧电极；第二腔室下侧的电极为对电极；在第四腔室的中含有一个测量电极；在第一腔室、第二腔室、第三腔室及第四腔室之间，分别通过扩散障层隔开...

【技术特征摘要】
1.本发明提供了一种新型的氮氧传感器，其特征在于：该传感器结构包括从上到下依次叠压的第一层基片、第二层基片、第三层基片、第四层基片、第五层基片；在第一层基片上存在一个电极；在第二层基片上包含了四个腔室：第一腔室为原始气体腔室，第二腔室和第三腔室为泵氧腔室，第四腔室为测量腔室；在第二腔室的上、下两侧，第三腔室的上、下两侧以及第四腔室的下侧分别存在一个电极；其中在第二腔室上侧的电极与第一基片上的电极构成了第一泵氧电极，第...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈强，
申请(专利权)人：陈强，
类型：发明
国别省市：四川,51