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本发明公开了一种氮氧传感器，氮氧传感器从上到下依次包含五层基片。在第二层基片上包含四个腔室：依次为原始气体腔室、两个泵氧腔室和一个测量腔室，四个腔室之间分别通过扩散障层隔开。在第一层基片、第二、第三腔室的上、下两侧以及第四腔室的下侧分别存在...
该专利属于陈强所有，仅供学习研究参考，未经过陈强授权不得商用。

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