一种薄膜式压力传感器及其制作方法技术

本发明专利技术公开的一种薄膜式压力传感器及其制作方法，由两层薄膜组成，分别为上层和下层，下层薄膜上分别印刷有电极层、敏感材料层、绝缘层及胶水层，上层薄膜上分别印刷有电极层、敏感材料层及绝缘层。该传感器可以对压力进行测试，压力越大电阻越小；特殊的结构设计使得传感器对压力的测试更准确、数据漂移更小、使用更长久。

A thin film pressure sensor and its fabrication method

A film type pressure sensor and manufacturing method thereof are disclosed, which is composed of two layers of thin films, respectively. The upper and lower, lower layer thin film electrode layer, which is printed with a sensitive material layer, insulating layer and the glue layer, the upper layer thin film electrode layer, which is printed with a sensitive material layer and the insulating layer. The sensor can test the pressure. The greater the pressure, the smaller the resistance. Special structure design makes the sensor more accurate in testing the pressure, and the data drift is smaller and longer.

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜式压力传感器及其制作方法
本专利技术涉及传感器领域，尤其涉及一种薄膜式压力测试传感器。
技术介绍
压力传感器是一种应用非常普遍的传感器，在各种场合、不同领域均有应用。常用的压力传感器一般由金属结构制作而成，体积相对较大，质感较硬，具有一定的局限性；薄膜式压力传感器是一种柔性的、体积较小的传感器，具有普通压力传感器没有的优势，可以用在可穿戴设备或更小的结构上。但目前市场上已有的薄膜式压力传感器，无论是单点还是多点式的，普遍存在测试数据不准确、漂移较大的缺点，在应用时受到一定的限制。
技术实现思路
本专利技术针对已有薄膜式压力传感器的不足，提出一种精度更高、测试更准、漂移更小的薄膜式压力传感器及其制作方法。本专利技术所采取的措施是：薄膜式压力传感器由两层薄膜组成，分别为上层和下层，下层薄膜上分别印刷有电极层、敏感材料层、绝缘层及胶水层，上层薄膜上分别印刷有电极层、敏感材料层及绝缘层。上下层薄膜上电极层与敏感材料层之间均有部分区域重合，敏感材料层之间可直接相互接触；上下层薄膜上的敏感材料层之间直接接触部分不包含电极层与敏感材料层的重合区域，绝缘层可起到隔绝这个重合区域的功能；上下层薄膜上的电极层之间必须相互绝缘，绝缘层可起到这个隔绝功能。本专利技术的制作方法为：（a）裁剪两张相应大小的薄膜，分别为上层和下层薄膜；（b）在下层薄膜上使用印刷机依次印刷电极层、敏感材料层及绝缘层；（c）在上层薄膜上使用印刷机依次印刷电极层、敏感材料层及绝缘层；（d）在下层薄膜上使用印刷机印刷胶水层；（e）在下层薄膜上的胶水层固化之前，将上层薄膜有印刷层的一面朝下，盖压在下层薄膜上；两层薄膜压合时印刷的图案要相互对应。所有印刷层均需在上层印刷层完全固化之后再进行印刷。本专利技术的有益效果是：本专利技术结构简单，制作方法较容易；特殊的结构设计可使得传感器对压力的测试数据漂移更小、更稳定，对压力的测试更准确；这种结构也能够使得传感器寿命增加，可使用的有效时间更长。下面结合附图和实施例对本专利技术做进一步的说明。附图说明图1为本专利技术薄膜式单点压力传感器下层薄膜上印刷层示意图。图2为本专利技术薄膜式单点压力传感器上层薄膜上印刷层示意图。图3为本专利技术薄膜式单点压力传感器上下层薄膜压合后示意图。图4为本专利技术薄膜式多点压力传感器下层薄膜上印刷层示意图。图5为本专利技术薄膜式多点压力传感器上层薄膜上印刷层示意图。图6为本专利技术薄膜式多点压力传感器上下层薄膜压合后示意图。图中，1．薄膜，2．电极层，3．敏感材料层，4．绝缘层，5．胶水层。具体实施方式实施例1：结合图1、图2和图3对本专利技术的薄膜式压力传感器一种实施例进行说明，该传感器可对单点压力进行测试，为薄膜式单点压力传感器。如图1、图2所示，传感器由两层薄膜（1）组成，分别为上层和下层，下层薄膜（1）上分别印刷有电极层（2）、敏感材料层（3）、绝缘层（4）及胶水层（5），上层薄膜上分别印刷有电极层（2）、敏感材料层（3）及绝缘层（4）。上层和下层薄膜（1）上电极层（2）与敏感材料层（3）均有重合区域，绝缘层（4）均能够全部覆盖此重合区域，只有上下层薄膜（1）上未覆盖有绝缘层（4）的敏感材料层（3）之间可直接相互接触。其制作方法为：（a）裁剪两张200mm×200mm大小的聚酯薄膜（1），分别为上层和下层薄膜（1）；（b）在下层薄膜（1）上使用印刷机依次使用导电银浆印刷电极层（2）、使用导电复合材料印刷敏感材料层（3）及使用绝缘材料印刷绝缘层（4）；（c）同样，在上层薄膜（1）上使用印刷机依次印刷电极层（2）、敏感材料层（3）及绝缘层（4）；（d）在下层薄膜（1）上使用印刷机印刷胶水层（5）；（e）在下层薄膜（1）上胶水层（5）固化之前，将上层薄膜（1）有印刷层的一面朝下，盖压在下层薄膜（2）上；两层薄膜（1）压合时印刷的图案要相互对应，如图3所示。另外，所有印刷层均需在上层印刷层完全固化之后再进行印刷。实施例2：结合图4、图5和图6对本专利技术的薄膜式压力传感器另一种实施例进行说明，该传感器可对多点压力进行测试。如图4、图5所示，传感器由两层薄膜（1）组成，分别为上层和下层，下层薄膜（1）上分别印刷有电极层（2）、敏感材料层（3）、绝缘层（4）及胶水层（5），上层薄膜上分别印刷有电极层（2）、敏感材料层（3）及绝缘层（4）。上下层薄膜（1）上的绝缘层（4）需能够隔绝上下电极层（3），使得它们之间相互绝缘；上下层薄膜（1）上的敏感材料层（3）之间可直接相互接触，可相互接触部分不包括敏感材料层（3）与电极层（2）的重合部分。其制作方法为：（a）裁剪两张300mm×200mm大小的聚酰亚胺薄膜（1），分别为上层和下层薄膜（1）；（b）在下层薄膜（1）上使用印刷机依次使用导电银浆印刷电极层（2）、使用导电复合材料印刷敏感材料层（3）及使用绝缘材料印刷绝缘层（4）；（c）同样，在上层薄膜（1）上使用印刷机依次印刷电极层（2）、敏感材料层（3）及绝缘层（4）；（d）在下层薄膜（1）上使用印刷机印刷胶水层（5）；（e）在下层薄膜（1）上胶水层（5）固化之前，将上层薄膜（1）有印刷层的一面朝下，盖压在下层薄膜（2）上；两层薄膜（1）压合时印刷的图案要相互对应，上下层薄膜（1）上的电极层（2）要相互交叉，如图6所示。另外，所有印刷层均需在上层印刷层完全固化之后再进行印刷。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜式压力传感器，其特征在于：由两层薄膜（1）组成，分别为上层和下层，下层薄膜（1）上分别印刷有电极层（2）、敏感材料层（3）、绝缘层（4）及胶水层（5），上层薄膜上分别印刷有电极层（2）、敏感材料层（3）及绝缘层（4）。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜式压力传感器，其特征在于：由两层薄膜（1）组成，分别为上层和下层，下层薄膜（1）上分别印刷有电极层（2）、敏感材料层（3）、绝缘层（4）及胶水层（5），上层薄膜上分别印刷有电极层（2）、敏感材料层（3）及绝缘层（4）。2.根据权利要求1所述的薄膜式压力传感器，其特征在于：电极层（2）与敏感材料层（3）之间有部分区域重合，上下层薄膜（1）上的敏感材料层（3）之间可直接相互接触。3.根据权利要求1所述的薄膜式压力传感器，其特征在于：上下层薄膜（1）上的敏感材料层（3）之间直接接触部分不包含电极层（2）与敏感材料层（3）的重合区域，绝缘层（4）可起到隔绝这个重合区域的功能。4.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖波，
申请(专利权)人：廖波，
类型：发明
国别省市：浙江,33