硅烷气样品控制系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种硅烷气样品控制系统，包括采样系统，采样系统通过PLC控制系统连接操作电脑。本实用新型专利技术采用全密闭式，由PLC控制系统控制，PC来操作，降低人工直接采用样品操作的危险性，在采样的时候，用氮气吹扫，每次采样前需要吹扫、保压、置换、吹扫、保压、抽真空完成后再采集，去除管路中的氧气，防止管路中的氧气与硅烷气样品进行混合而产生危险。

Silane gas sample control system

The utility model discloses a silane gas sample control system, which includes a sampling system, and the sampling system connects the operating computer through the PLC control system. The utility model adopts a fully closed, controlled by the PLC control system, PC operation, reduce the risk of artificial samples directly by the operation, in the sampling time, purging with nitrogen gas, need purging, pressure, displacement, purging, pressure, vacuum after the completion of the acquisition before sampling time, removal the line of oxygen, prevent oxygen and silane gas samples in the pipeline are mixed and dangerous.

【技术实现步骤摘要】
硅烷气样品控制系统
本技术涉及一种硅烷气样品控制系统，属于采样试验装置

技术介绍
在采样试验装置的实际操作中，需要对硅烷气进行稳定条件下的采集和定性分析，并且样品的采集过程不应影响采样系统的操作。同时，采集后的样品直接进行分析，以取得样品的组成成分。为了确保采集的样品具有代表性和对前系统无干扰，采集过程要求稳压，稳流。为了节约硅烷气的浪费，对硅烷气的采集和分析使用了间隙段的控制。但是，硅烷气的样品有一定的危险，硅烷气遇氧会燃烧，大量的泄露会爆炸。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：提供了一种避免氧气与硅烷气样品进行混合、降低危险性的硅烷气样品控制系统，解决了采集硅烷气的样品时，大量泄露遇氧会燃烧爆炸的问题。为了解决上述技术问题，本技术的技术方案是提供了一种硅烷气样品控制系统，包括采样系统，采样系统通过PLC控制系统连接操作电脑，采样系统包括样品进口，样品进口通过第一管路分别接通分析仪口，第一管路上按照样品进口至分析仪口的流向依次设有开关阀、第二止回阀、第一气动阀、第一过滤器、第一减压阀、第三止回阀、第三气动阀、第八气动阀、第一流量计、第二过滤器，第三气动阀与第八气动阀之间的第一管路上通过第二管路接通放空口，第二管路上设有安全阀，第二管路后端与第八气动阀之间连接有压力传感器，第三气动阀与第八气动阀之间通过第三管路接通回收口，第三管路上按照与回收口之间的距离由远到近依次设有第七气动阀、第二减压阀、第二流量计、第六止回阀，其特征在于，所述的第一气动阀与第一过滤器之间的第一管路通过第四管路接通第一氦气进口，第四管路上按照第一氦气进口至第一管路的流向依次设有第一止回阀、第二气动阀，第三气动阀通过第五管路接通第二氦气进口，第五管路上按照第二氦气进口至第三气动阀的流向依次设有第四止回阀、第五气动阀，第八气动阀与第一流量计之间的第一管路通过第六管路接通第二氦气进口，第六管路上按照第二氦气进口至第一管路的流向依次设有第五止回阀、第九气动阀，第一减压阀与第三止回阀之间的第一管路通过第七管路接通抽真空口，第七管路上按照抽真空口至第一管路的流向依次设有第六气动阀、第四气动阀，第二管路上第七气动阀的前端通过第八管路接通第六气动阀、第四气动阀之间的第七管路。优选地，所述的第一管路、第二管路、第三管路、第四管路、第五管路、第六管路、第七管路、第八管路均设于密封的采样箱内，样品进口、第一氦气进口、第二氦气进口、抽真空口、放空口、分析仪口、回收口均设于采样箱的外侧，采样箱上还设有在采样箱内充氮气的氮气进口和氮气出口。本技术采用全密闭式，由PLC控制系统控制，PC来操作，降低人工直接采用样品操作的危险性，在采样的时候，用氮气吹扫，每次采样前需要吹扫、保压、置换、吹扫、保压、抽真空完成后再采集，去除管路中的氧气，防止管路中的氧气与硅烷气样品进行混合而产生危险。附图说明图1为采样系统的结构示意图；图2为一种硅烷气样品控制系统的示意图。具体实施方式为使本技术更明显易懂，兹以优选实施例，并配合附图作详细说明如下。本技术在使用的过程中间需要氮气的保护，每次样品采集前后都需要氮气，氦气吹扫和保压，分析前需要对管线进行抽真空，为了避免人工操作和硅烷气带来的危险，整套系统采用全密闭式，由PLC控制，PC来操作。本技术为一种硅烷气样品控制系统，如图2所示，其包括采样系统，采样系统通过PLC控制系统连接操作电脑。如图1所示，采样系统包括样品进口，样品进口通过第一管路分别接通分析仪口，第一管路上按照样品进口至分析仪口的流向依次设有开关阀MV-1、第二止回阀CK-2、第一气动阀XV-1、第一过滤器F-1、第一减压阀PR-1、第三止回阀CK-3、第三气动阀XV-3、第八气动阀XV-8、第一流量计FI-1、第二过滤器F-2，第三气动阀XV-3与第八气动阀XV-8之间的第一管路上通过第二管路接通放空口，第二管路上设有安全阀RV-1，第二管路后端与第八气动阀XV-8之间连接有压力传感器PT-1，第三气动阀XV-3与第八气动阀XV-8之间通过第三管路接通回收口，第三管路上按照与回收口之间的距离由远到近依次设有第七气动阀XV-7、第二减压阀PR-2、第二流量计FI-2、第六止回阀CK-6，第一气动阀XV-1与第一过滤器F-1之间的第一管路通过第四管路接通第一氦气进口，第四管路上按照第一氦气进口至第一管路的流向依次设有第一止回阀CK-1、第二气动阀XV-2，第三气动阀XV-3通过第五管路接通第二氦气进口，第五管路上按照第二氦气进口至第三气动阀XV-3的流向依次设有第四止回阀CK-4、第五气动阀XV-5，第八气动阀XV-8与第一流量计FI-1之间的第一管路通过第六管路接通第二氦气进口，第六管路上按照第二氦气进口至第一管路的流向依次设有第五止回阀CK-5、第九气动阀XV-9，第一减压阀PR-1与第三止回阀CK-3之间的第一管路通过第七管路接通抽真空口，第七管路上按照抽真空口至第一管路的流向依次设有第六气动阀XV-6、第四气动阀XV-4，第二管路上第七气动阀XV-7的前端通过第八管路接通第六气动阀XV-6、第四气动阀XV-4之间的第七管路。第一管路、第二管路、第三管路、第四管路、第五管路、第六管路、第七管路、第八管路均设于密封的采样箱内，样品进口、第一氦气进口、第二氦气进口、抽真空口、放空口、分析仪口、回收口均设于采样箱的外侧，采样箱上还设有在采样箱内充氮气的氮气进口和氮气出口。硅烷气的分析是半自动采集样品分析，整个系统是全密闭式，用氮气吹扫，每次采样前需要吹扫、保压、置换、吹扫、保压、抽真空完成后再采集。本技术使用时，具体包括以下步骤：步骤一：在硅烷气采样时，首先打开第二气动阀XV-2，第三气动阀XV-3，第四气动阀XV-4，第八气动阀XV-8，第七气动阀XV-7，用氦气对整个管线进行吹扫，吹扫的时间大约在30分钟；步骤二：吹扫完后，开始保压，关闭第二气动阀XV-2，第八气动阀XV-8，第七气动阀XV-7，观察压力传感器PT-1的压力值是否有变化，压力在设定值不变的情况下视为保压成功，重复保压10次取一个平均值，作为保压成功值；步骤三：抽真空，打开第六气动阀XV-6，对所有管线抽真空，观察压力传感器PT-1的压力值变化，压力在-1时，视为成功；步骤四：为了安全，不用人工近距离操作，而是通过操作电脑PC控制PLC控制系统，从而控制采样系统的实施。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅烷气样品控制系统，包括采样系统，采样系统通过PLC控制系统连接操作电脑，采样系统包括样品进口，样品进口通过第一管路分别接通分析仪口，第一管路上按照样品进口至分析仪口的流向依次设有开关阀(MV‑1)、第二止回阀(CK‑2)、第一气动阀(XV‑1)、第一过滤器(F‑1)、第一减压阀(PR‑1)、第三止回阀(CK‑3)、第三气动阀(XV‑3)、第八气动阀(XV‑8)、第一流量计(FI‑1)、第二过滤器(F‑2)，第三气动阀(XV‑3)与第八气动阀(XV‑8)之间的第一管路上通过第二管路接通放空口，第二管路上设有安全阀(RV‑1)，第二管路后端与第八气动阀(XV‑8)之间连接有压力传感器(PT‑1)，第三气动阀(XV‑3)与第八气动阀(XV‑8)之间通过第三管路接通回收口，第三管路上按照与回收口之间的距离由远到近依次设有第七气动阀(XV‑7)、第二减压阀(PR‑2)、第二流量计(FI‑2)、第六止回阀(CK‑6)，其特征在于，所述的第一气动阀(XV‑1)与第一过滤器(F‑1)之间的第一管路通过第四管路接通第一氦气进口，第四管路上按照第一氦气进口至第一管路的流向依次设有第一止回阀(CK‑1)、第二气动阀(XV‑2)，第三气动阀(XV‑3)通过第五管路接通第二氦气进口，第五管路上按照第二氦气进口至第三气动阀(XV‑3)的流向依次设有第四止回阀(CK‑4)、第五气动阀(XV‑5)，第八气动阀(XV‑8)与第一流量计(FI‑1)之间的第一管路通过第六管路接通第二氦气进口，第六管路上按照第二氦气进口至第一管路的流向依次设有第五止回阀(CK‑5)、第九气动阀(XV‑9)，第一减压阀(PR‑1)与第三止回阀(CK‑3)之间的第一管路通过第七管路接通抽真空口，第七管路上按照抽真空口至第一管路的流向依次设有第六气动阀(XV‑6)、第四气动阀(XV‑4)，第二管路上第七气动阀(XV‑7)的前端通过第八管路接通第六气动阀(XV‑6)、第四气动阀(XV‑4)之间的第七管路。...

【技术特征摘要】
1.一种硅烷气样品控制系统，包括采样系统，采样系统通过PLC控制系统连接操作电脑，采样系统包括样品进口，样品进口通过第一管路分别接通分析仪口，第一管路上按照样品进口至分析仪口的流向依次设有开关阀(MV-1)、第二止回阀(CK-2)、第一气动阀(XV-1)、第一过滤器(F-1)、第一减压阀(PR-1)、第三止回阀(CK-3)、第三气动阀(XV-3)、第八气动阀(XV-8)、第一流量计(FI-1)、第二过滤器(F-2)，第三气动阀(XV-3)与第八气动阀(XV-8)之间的第一管路上通过第二管路接通放空口，第二管路上设有安全阀(RV-1)，第二管路后端与第八气动阀(XV-8)之间连接有压力传感器(PT-1)，第三气动阀(XV-3)与第八气动阀(XV-8)之间通过第三管路接通回收口，第三管路上按照与回收口之间的距离由远到近依次设有第七气动阀(XV-7)、第二减压阀(PR-2)、第二流量计(FI-2)、第六止回阀(CK-6)，其特征在于，所述的第一气动阀(XV-1)与第一过滤器(F-1)之间的第一管路通过第四管路接通第一氦气进口，第四管路上按照第一氦气进口至第一管路的流向依次设有第一止回阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈娇，
申请(专利权)人：爱文思控制系统工程上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31