一种具有纳米颗粒膜的负温度系数热敏电阻及其制备方法技术

本发明专利技术公开一种具有纳米颗粒膜的负温度系数热敏电阻及其制备方法，热敏电阻包括陶瓷基体、设置在陶瓷基体上溅射形成的铜电极层、陶瓷基体外部的保护层以及保护层下端的引脚，铜电极层表面堆栈有保护层；所述保护层为纳米氧化铝膜形成。制备方法如下：(1)将陶瓷基体清洗干净后干燥；(2)采用磁控溅射在陶瓷基体表面溅射铜形成铜电极层；(3)将铜电极接好引脚后，在铜电极层表面采用磁控溅射溅射一层纳米铝膜，在弱氧化气氛下烧结，形成纳米氧化铝膜。本发明专利技术以铜作电极层，纳米铝与铜形成固溶合金，加大了电极层和纳米铝的结合强度，再在低真空度下弱氧化气氛烧结，使纳米铝表面被氧化形成一层致密的氧化铝薄膜，起到保护层作用。

A kind of negative temperature coefficient thermistor with nano particle film and its preparation method

The invention discloses a nano particle film negative temperature coefficient thermistor and a preparation method thereof, the thermistor includes a ceramic substrate, is formed on the ceramic sputtering copper electrode layer and ceramic matrix external protective layer and a protective layer at the lower end of the pin, the copper electrode surface layer stack with a protective layer; the protective layer for the formation of nano alumina films. The preparation method is as follows: (1) ceramic substrate after cleaning drying; (2) by magnetron sputtering to form copper electrode layer on the ceramic substrate surface sputtering of copper; (3) the copper electrode connected pin on copper electrode layer after surface by magnetron sputtering sputtering a layer of nano aluminum film, sintering of oxygen in the weak under the atmosphere, the formation of nano alumina films. The copper electrode is used as the electrode layer, and the nano aluminum and copper form solid solution alloy, which increases the bonding strength between the electrode layer and the nano aluminum, and then sinter under the low vacuum degree and weak oxidizing atmosphere, so that the surface of the nanometer aluminum is oxidized to form a dense alumina film, playing a protective layer function.

【技术实现步骤摘要】
一种具有纳米颗粒膜的负温度系数热敏电阻及其制备方法
本专利技术公开了一种具有纳米颗粒膜的负温度系数热敏电阻及其制备方法，属于热敏电阻

技术介绍
温度是表征物理冷热程度的物理量，它可以通过物体随温度变化的某些特性(如电阻、电压变化等)来间接测量。热敏元件大都由正温度系数或者负温度系数热敏材料制造而成。负温度系数(NTC)热敏电阻所用电极多为贵金属电极，如银、金、铂等，银浆是国内外NTC热敏电阻生产时普遍采用的电极材料，但是银离子容易在基体材料中迁移，对基体原件的性能产生影响。此外，研究生产NTC热敏电阻电极时，电极保护层通常选用玻璃作为保护层，但玻璃和电极层附着度不强，对电极保护作用较弱。申请号CN2010105293994的中国专利申请公开了一种快速反应NTC温度传感器及其制作方法，其中公开了印刷表面电极，并采取相应烧银工艺烧渗电极，把那个通过丝网印刷的方法在电极表面形成一层玻璃浆料，通过玻璃烧结工艺形成结构致密厚度为20-100微米的玻璃保护层。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本专利技术的目的是提供一种具有纳米颗粒膜的负温度系数热敏电阻及其制备方法，本专利技术采用铜作为电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种具有纳米颗粒膜的负温度系数热敏电阻，其特征在于，包括陶瓷基体、设置在陶瓷基体上的电极层、陶瓷基体外部的保护层以及保护层下端的引脚，所述的电极层为溅射形成的铜电极层，所述铜电极层与陶瓷基体表面结合，铜电极层上堆栈有保护层；所述保护层为纳米氧化铝膜形成的保护层。

【技术特征摘要】
1.一种具有纳米颗粒膜的负温度系数热敏电阻，其特征在于，包括陶瓷基体、设置在陶瓷基体上的电极层、陶瓷基体外部的保护层以及保护层下端的引脚，所述的电极层为溅射形成的铜电极层，所述铜电极层与陶瓷基体表面结合，铜电极层上堆栈有保护层；所述保护层为纳米氧化铝膜形成的保护层。2.权利要求1所述的具有纳米颗粒膜的负温度系数热敏电阻的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：(1)将陶瓷基体先用5％氢氟酸浸泡5min，再用丙酮、酒精和去离子水超声清洗10min，清洗干净后利用氮气吹扫，密封待用；(2)采用磁控溅射的方式在陶瓷基体的表面溅射一层金属铜形成铜电极层；(3)将步骤(2)中铜电极接好引脚后，在铜电极层表面采用磁控溅射的方式溅射一层纳米铝膜，在弱氧化气氛下烧结，形成纳米氧化铝膜。3.根据权利要求2所述的具有纳米颗粒膜的负温度系数热敏电阻的制备方法，其特征在于，所述步骤(1)中陶瓷基体清洗干燥...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪洋，
申请(专利权)人：江苏时瑞电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32