雾度的评价方法技术

本发明专利技术提供一种雾度的评价方法，其是通过使用了散射光的粒子计数器装置对基板表面的雾度进行评价的方法，其特征在于，在根据已入射至所述基板表面的光的散射光强度来求出所述基板表面的雾度值时，使用标准样品进行雾度值的校准，作为所述标准样品，使用涂布标准粒子而成的样品。由此，使用雾度用的标准样品进行粒子计数器装置的雾度值的校准，能够提高雾度的测定精度。

Evaluation method of fog degree

The present invention provides a method for evaluating haze, it is through the method of particle counter device using light scattering of fog on the surface of the substrate was evaluated, which is characterized in that the scattering light intensity has been according to the incident to the surface of the substrate of the light for the substrate surface haze value using standard samples, calibrated haze values, as the standard sample, using a sample of standard particle coating. Therefore, the calibration of the fog value of the particle counter with the standard sample used in the fog can improve the precision of the measurement of the fog.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】雾度的评价方法
本专利技术涉及一种雾度的评价方法。
技术介绍
在粒子计数器装置中，不仅能进行粒子测定，还能进行雾度的测定。此处，所谓粒子计数器装置，是指如下所述装置，即，通过在已入射的光照向晶片且在其上存在粒子的情况下产生强的散射光，由此能够调查粒子的个数、位置。在硅晶片表面存在雾度(表面的凹凸)的情况下，通过对晶片照射光会产生弱的散射光，因此也能使用上述的粒子计数器装置进行雾度的测定。雾度是重要的质量项目，利用粒子计数器装置以雾度值的方式对其进行管理。雾度值大说明表面的粗糙度大，雾度值低说明表面的粗糙度小。粒子计数器装置通常为了提高测定精度，利用涂布标准粒子(用聚苯乙烯、SiO2制作)而成的标准晶片(标准样品)进行粒子尺寸的校准。由于对于每个装置而言，激光强度、光电倍增管(Photomultiplier)的灵敏度略有不同，因此，虽然原本对于入射光而言，由某一定尺寸的粒子散射的光强度应该相同，但难以使检测器灵敏度等完全一致，实际上，将某一定尺寸的标准粒子载置于晶片，将由该晶片产生的散射光强度(根据装置而不同)设为该装置固有的值，并作为相对于一定尺寸的粒子的散射光强度进行处理，由此填补本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种雾度的评价方法，其是通过使用了散射光的粒子计数器装置对基板表面的雾度进行评价的方法，其特征在于，在根据已入射至所述基板表面的光的散射光强度来求出所述基板表面的雾度值时，使用标准样品进行雾度值的校准，作为所述标准样品，使用涂布标准粒子而成的样品。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.13 JP 2015-0982861.一种雾度的评价方法，其是通过使用了散射光的粒子计数器装置对基板表面的雾度进行评价的方法，其特征在于，在根据已入射至所述基板表面的光的散射光强度来求出所述基板表面的雾度值时，使用标准样品进行雾度值的校准，作为所述标准样品，使用涂布标准粒子而成的样品。2.根据权利要求1所述的雾度的评价方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐藤久之，
申请(专利权)人：信越半导体株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP