主关节部件及包含其的真空操纵系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种主关节部件及包含其的真空操纵系统。主关节部件包括：主关节躯干；第一轴承，第一轴承的一端与主关节躯干连接，且第一轴承的中心轴线与主关节躯干所在的平面垂直；万向节支架，万向节支架所在的平面与主关节躯干所在的平面平行，万向节支架与第一轴承对应的位置设有第一安装孔；万向节，万向节卡设于第一安装孔内，且万向节套设于第一轴承外；第二轴承，第二轴承的一端与万向节支架连接，且第二轴承的中心轴线与万向节支架所在的平面垂直。所述真空操纵系统包括如上所述的主关节部件。本实用新型专利技术保障了被驱动物移动的稳定性以及移动行程的精确性。

Main joint components and vacuum control system containing them

The utility model provides a main joint component and a vacuum control system comprising the utility model. The main components include: the main trunk joint joint; the first bearing, one end of the first bearing joint is connected with the main trunk, and the first bearing with the central axis of the main body is perpendicular to the plane of the joint; the cardan bracket, the bracket joint plane and the main trunk of the joint plane is parallel to the first mounting hole with the cardan bracket with the first bearing the corresponding position; universal joint, universal joint card is arranged in the first mounting hole, and the joint is sleeved on the first bearing; second bearing, and one end of the universal bracket second bearing connection with the universal center of the section and the second support bearing plane vertical. The vacuum control system includes the main joint components as described above. The utility model ensures the stability of the movement of the driven object and the accuracy of the moving stroke.

【技术实现步骤摘要】
主关节部件及包含其的真空操纵系统
本技术涉及一种主关节部件及包含其的真空操纵系统。
技术介绍
在大气环境中，如果需要同时使得物体在两个方向上线性移动具有多种实现方式。但是当被移动的物体位于真空腔中时，这种线性移动就遇到了困难。一般来说，出于设备的精简和布线的便利性考虑，驱动器(例如电机)都是位于真空腔外的大气环境中的，而被驱动物(例如离子注入机的引出电极)则是被置于真空腔中的。目前，现有技术中，连接驱动器和被驱动物的关节部件存在不能保障移动的稳定性以及移动行程的精确性的问题。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是为了克服现有技术的关节部件存在不能保障移动的稳定性以及移动行程的精确性的缺陷，提供一种主关节部件及包含其的真空操纵系统。本技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题：一种主关节部件，其特点在于，所述主关节部件包括：主关节躯干；第一轴承，所述第一轴承的一端与所述主关节躯干连接，且所述第一轴承的中心轴线与所述主关节躯干所在的平面垂直；万向节支架，所述万向节支架所在的平面与所述主关节躯干所在的平面平行，所述万向节支架与所述第一轴承对应的位置设有第一安装孔；万向节，所述万向节卡设于所述第一安装孔内，且所述万向节套设于所述第一轴承外；第二轴承，所述第二轴承的一端与所述万向节支架连接，且所述第二轴承的中心轴线与所述万向节支架所在的平面垂直。本技术方案，通过设置万向节，使主关节部件的传动更为稳定和精确，从而保障了被驱动物移动的稳定性以及移动行程的精确性。较佳地，所述主关节部件还包括预紧装置，所述预紧装置的一端与所述主关节躯干连接，所述预紧装置的另一端抵靠于所述万向节支架。较佳地，所述预紧装置包括：预紧弹簧支架，所述预紧弹簧支架与所述主关节躯干连接；弹簧柱塞，所述弹簧柱塞的一端固定于所述预紧弹簧支架，所述弹簧柱塞的另一端抵靠于所述万向节支架。较佳地，所述预紧装置的数量为两个，两个所述预紧装置的一端均与所述主关节躯干连接，两个所述预紧装置的另一端分别抵靠于所述万向节支架中面向所述主关节躯干的一面的相对设置的两端。本技术方案，通过设置预紧装置，限定了卡设于万向节支架的万向节的外圈的位置，这样使万向节的外圈和内圈位于相对固定的位置，使传动更为稳定和精确，从而保障了被驱动物移动的稳定性以及移动行程的精确性。较佳地，所述主关节部件还包括：第一轴承固定支架，所述第一轴承固定支架可拆卸地连接于所述万向节支架远离所述主关节躯干的一面，且所述第一轴承固定支架与所述第一轴承对应的位置设有第二安装孔；第一轴承紧固件，所述第一轴承紧固件的外壁卡设于所述第二安装孔内，且所述第一轴承紧固件的一端卡设于所述第一轴承远离所述主关节躯干的一端。本技术方案，通过设置第一轴承固定支架和第一轴承紧固件，限定了万向节的内圈的位置，这样使万向节的内圈和外圈位于相对固定的位置，使传动更为稳定和精确，从而保障了被驱动物移动的稳定性以及移动行程的精确性。较佳地，所述主关节部件还包括防护板，所述防护板与所述主关节躯干连接。较佳地，所述防护板的数量为两个，两个所述防护板分别与所述主关节躯干相对设置的两侧壁连接。一种真空操纵系统，所述真空操纵系统包括如上所述的主关节部件。本技术的积极进步效果在于：本技术的主关节部件保障了被驱动物移动的稳定性以及移动行程的精确性。附图说明图1为本技术一较佳实施例的主关节部件的立体结构示意图。图2为本技术一较佳实施例的主关节部件的装配示意图。附图标记说明主关节躯干10第一轴承20万向节支架30第一安装孔31万向节40外圈41内圈42预紧装置50预紧弹簧支架51弹簧柱塞52第一轴承固定支架60第二安装孔61第一轴承紧固件70第二轴承80防护板90具体实施方式下面举个较佳实施例，并结合附图来更清楚完整地说明本技术。如图1和图2所示，本实施例提供一种主关节部件，其包括：主关节躯干10、第一轴承20、万向节支架30、万向节40、预紧装置50、第一轴承固定支架60、第一轴承紧固件70、第二轴承80和防护板90。其中，主关节躯干10与驱动器连接，被驱动物与第二轴承80连接。第一轴承20的一端与主关节躯干10连接，且第一轴承20的中心轴线与主关节躯干10所在的平面垂直。万向节支架30所在的平面与主关节躯干10所在的平面平行，万向节支架30与第一轴承20对应的位置设有第一安装孔31。万向节40卡设于第一安装孔31内，且万向节40套设于第一轴承20外。万向节40包括外圈41和内圈42，内圈42套设于第一轴承20外，外圈41套设于内圈42外，外圈41和内圈42之间设有间隙。在本实施例中，万向节40为万向球节。通过设置万向节40，使主关节部件的传动更为稳定和精确，从而保障了被驱动物移动的稳定性以及移动行程的精确性。第二轴承80的一端与万向节支架30连接，且第二轴承80的中心轴线与万向节支架30所在的平面垂直。预紧装置50的一端与主关节躯干10连接，预紧装置50的另一端抵靠于万向节支架30。在本实施例中，预紧装置50包括：预紧弹簧支架51和弹簧柱塞52。预紧弹簧支架51与主关节躯干10连接。弹簧柱塞52的一端固定于预紧弹簧支架51，弹簧柱塞52的另一端抵靠于万向节支架30。预紧装置50的数量为两个，两个预紧装置50的一端均与主关节躯干10连接，两个预紧装置50的另一端分别抵靠于万向节支架30中面向主关节躯干10的一面的相对设置的两端。通过设置预紧装置50，限定了卡设于万向节支架30的万向节40的外圈41的位置，这样使万向节40的外圈41和内圈42位于相对固定的位置，使传动更为稳定和精确，从而保障了被驱动物移动的稳定性以及移动行程的精确性。第一轴承固定支架60可拆卸地连接于万向节支架30远离主关节躯干10的一面，且第一轴承固定支架60与第一轴承20对应的位置设有第二安装孔61。第一轴承紧固件70的外壁卡设于第二安装孔61内，且第一轴承紧固件70的一端卡设于第一轴承20远离主关节躯干10的一端。这样，通过设置第一轴承固定支架60和第一轴承紧固件70，限定了万向节40的内圈42的位置，这样使万向节40的内圈42和外圈41位于相对固定的位置，使传动更为稳定和精确，从而保障了被驱动物移动的稳定性以及移动行程的精确性。防护板90与主关节躯干10连接。防护板90的数量为两个，两个防护板90分别与主关节躯干10相对设置的两侧壁连接。本实施例还提供一种真空操纵系统，所述真空操纵系统包括如上所述的主关节部件。本技术的积极进步效果在于：本技术的主关节部件保障了被驱动物移动的稳定性以及移动行程的精确性。虽然以上描述了本技术的具体实施方式，但是本领域的技术人员应当理解，这仅是举例说明，本技术的保护范围是由所附权利要求书限定的。本领域的技术人员在不背离本技术的原理和实质的前提下，可以对这些实施方式做出多种变更或修改，但这些变更和修改均落入本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种主关节部件，其特征在于，所述主关节部件包括：主关节躯干；第一轴承，所述第一轴承的一端与所述主关节躯干连接，且所述第一轴承的中心轴线与所述主关节躯干所在的平面垂直；万向节支架，所述万向节支架所在的平面与所述主关节躯干所在的平面平行，所述万向节支架与所述第一轴承对应的位置设有第一安装孔；万向节，所述万向节卡设于所述第一安装孔内，且所述万向节套设于所述第一轴承外；第二轴承，所述第二轴承的一端与所述万向节支架连接，且所述第二轴承的中心轴线与所述万向节支架所在的平面垂直。

【技术特征摘要】
1.一种主关节部件，其特征在于，所述主关节部件包括：主关节躯干；第一轴承，所述第一轴承的一端与所述主关节躯干连接，且所述第一轴承的中心轴线与所述主关节躯干所在的平面垂直；万向节支架，所述万向节支架所在的平面与所述主关节躯干所在的平面平行，所述万向节支架与所述第一轴承对应的位置设有第一安装孔；万向节，所述万向节卡设于所述第一安装孔内，且所述万向节套设于所述第一轴承外；第二轴承，所述第二轴承的一端与所述万向节支架连接，且所述第二轴承的中心轴线与所述万向节支架所在的平面垂直。2.如权利要求1所述的主关节部件，其特征在于，所述主关节部件还包括预紧装置，所述预紧装置的一端与所述主关节躯干连接，所述预紧装置的另一端抵靠于所述万向节支架。3.如权利要求2所述的主关节部件，其特征在于，所述预紧装置包括：预紧弹簧支架，所述预紧弹簧支架与所述主关节躯干连接；弹簧柱塞，所述弹簧柱塞的一端固定于所述预紧弹簧支架，所述弹簧柱塞的另一端抵靠于所述万向节支架。4.如权利要求3所述的主关节部件，...

【专利技术属性】
技术研发人员：金浩，
申请(专利权)人：上海凯世通半导体股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31