一种含砷蒸气的尾气的处理装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及工业废气回收处理技术领域，尤其涉及一种含砷蒸气的尾气的处理装置及方法，包括套筒和冷却水套，套筒包括内套筒和外套筒，内套筒的外壁与外套筒的内壁之间形成气体通道，冷却水套包括外层冷却水套和内层冷却水套，外层冷却水套设置于所述外套筒的外壁上，内层冷水套设置于内套筒的内壁上。本发明专利技术含砷蒸气的高温尾气进入套筒内并沿气体通道流动，与具有冷却水温度的套筒进行热交换，在低温条件下砷蒸气凝结为固体，附着于套筒内，剩余的气体经过气体通道后排出；采用水冷结构，冷凝成本低廉，可以有效地净化真空设备含腐蚀性气体的高温大流量尾气中的砷成分，并回收利用。

Treatment device and method of a kind of tail gas containing arsenic vapor

【技术实现步骤摘要】
一种含砷蒸气的尾气的处理装置及方法
本专利技术涉及工业废气回收处理
，尤其涉及一种含砷蒸气的尾气的处理装置及方法。
技术介绍
砷，俗称砒，是一种类金属元素，砷单质以灰砷、黑砷和黄砷这三种同素异性体的形式存在。砷主要与铜、铅及其他金属形成合金；氧化砷、砷酸盐可作杀虫剂，木材防腐剂；高纯砷用于半导体和激光技术中。砷元素剧毒，无臭无味，致癌，极难根除毒性。我国电子工业气体标准GB/T26250-2010规定，含砷三废在排放前必须进行解毒处理。含砷微粒的尾气包括砷蒸气、N2、H2及少量其他气体，如Si2H6等，目前，对含砷微粒的尾气处理方法很多，大体是湿法、火法和干式处理三种，其中涉及湿法的方法容易引入含砷溶液的后续处理问题；火法一般是采用高温燃烧或还原的方法，产生氧化砷烟尘，引入到尾气的后续处理中；干式方法较有优势，但是成本高，不适于大产能生产设备。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术要解决的技术问题是解决现有的含砷尾气处理装置成本高，砷回收难，且难以应用于较大产能的生产过程中处理大流量的高温尾气的问题。(二)技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种含砷蒸气的尾气的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种含砷蒸气的尾气的处理装置，其特征在于：包括套筒和冷却水套，所述套筒包括内套筒和外套筒，所述内套筒的外壁与所述外套筒的内壁之间形成气体通道，所述冷却水套包括外层冷却水套和内层冷却水套，所述外层冷却水套设置于所述外套筒的外壁上，所述内层冷水套设置于所述内套筒的内壁上。

【技术特征摘要】
1.一种含砷蒸气的尾气的处理装置，其特征在于：包括套筒和冷却水套，所述套筒包括内套筒和外套筒，所述内套筒的外壁与所述外套筒的内壁之间形成气体通道，所述冷却水套包括外层冷却水套和内层冷却水套，所述外层冷却水套设置于所述外套筒的外壁上，所述内层冷水套设置于所述内套筒的内壁上。2.根据权利要求1所述的含砷蒸气的尾气的处理装置，其特征在于：所述气体通道内设有翅片，所述翅片沿所述套筒的轴向设置，且沿所述套筒的周向分布。3.根据权利要求2所述的含砷蒸气的尾气的处理装置，其特征在于：所述翅片沿所述套筒的周向均匀分布。4.根据权利要求1所述的含砷蒸气的尾气的处理装置，其特征在于：所述冷却水套包括套体和分割件，所述分割件位于所述套体内，且所述分割件沿所述套筒的轴向设置。5.根据权利要求4所述的含砷蒸气的尾气的处理装置，其特征在于：所述套筒的底部设有进气口，所述套筒的顶部设有出气口，所述套体的底部设有进水口，所述套体的顶部设有出水口，冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：庞云玲，南建辉，
申请(专利权)人：北京创昱科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京,11