一种阀口部件以及包含该阀口部件的压电阀制造技术
A valve port component and a piezoelectric valve containing the valve port components
The utility model provides a valve mouth part and a piezoelectric valve. The valve components of the peripheral round, in the center is provided with a through hole, and the valve member has one or more groups connected inside the first through hole and the second vent hole entrance, the first hole is provided with a first surface components in the valve on the second vent outlet is arranged in the side section of the valve port. The valve components of the utility model and the piezoelectric valve, through the vent holes are arranged on the valve port communicated with the internal parts, processing difficulty, on one hand reduces the valve parts reduces processing cost, and flow control range of gas flow controller developed, especially for small flow, especially the micro flow several SCCM to dozens of SCCM, can control stably and reliably.
【技术实现步骤摘要】
一种阀口部件以及包含该阀口部件的压电阀
本技术涉及气体流量控制领域，具体地，涉及一种阀口部件以及包含该阀口部件的压电阀。
技术介绍
气体质量流量控制器(MassFlowController，MFC)用于对气体质量流量进行精密测量及控制。气体质量流量控制器在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括：微电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入，以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相色谱仪及其他分析仪器。气体质量流量控制器由分流器、流量检测传感器、流量调节阀以及CPU、驱动、控制电路板组成。分流器、流量检测传感器组成流量测量模块，流量模拟信号经过电路板上信号放大调理、A/D转换，变成CPU可接受的数字量，CPU根据用户设定的流量值，采用PID控制算法，控制流量调节阀的开度，达到精确控制气体流量的目的。质量流量控制器流量调节阀通常采用电磁阀或者压电阀。由于电磁阀采用电磁力驱动，存在着电磁噪声、驱动力小(一般为几十牛顿...
【技术保护点】
一种阀口部件，其特征在于，所述阀口部件的外周为圆形，在中心处设置有通孔，并且所述阀口部件具有一组或多组内部连通的第一通气孔和第二通气孔，所述第一通气孔的入口设置在所述阀口部件的第一表面上，所述第二通气孔的出口设置在所述阀口部件的侧面上。
【技术特征摘要】
1.一种阀口部件，其特征在于，所述阀口部件的外周为圆形，在中心处设置有通孔，并且所述阀口部件具有一组或多组内部连通的第一通气孔和第二通气孔，所述第一通气孔的入口设置在所述阀口部件的第一表面上，所述第二通气孔的出口设置在所述阀口部件的侧面上。2.根据权利要求1所述的阀口部件，其特征在于，所述第一通气孔与所述第二通气孔垂直设置。3.根据权利要求1所述的阀口部件，其特征在于，在所述阀口部件的第一表面上设置有第一环形凹槽，所述第一通气孔的入口布置在所述第一环形凹槽中。4.根据权利要求3所述的阀口部件，其特征在于，所述第一环...
【专利技术属性】
技术研发人员：杜井庆，苏乾益，
申请(专利权)人：北京七星华创流量计有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11
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