一种紫外曝光机的LED曝光装置及其紫外曝光机制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种紫外曝光机的LED曝光装置，包括滑动基板，滑动基板上固定有LED光源模块，两排LED光源模块的其中一排的LED光源模块的曝光有效面边缘与另一排对应的LED光源模块的曝光有效面重合；目标面所需的光照面X方向的尺寸为Lx，Y方向的尺寸为Ly，LED光源模块的曝光有效面在X方向的尺寸为Lx1，Y方向的尺寸为Ly1；若Lx＜Ly，所需LED光源模块的数量N＝Lx/Lx1，滑动基板的滑动方向与Y方向相同；若Lx＞Ly，所需LED光源模块的数量N＝Ly/Ly1，滑动基板的滑动方向与X方向相同。该曝光装置利用相互错开排列的LED光源模块扫描形成大面积均匀的照明光斑，降低了成本。

A LED exposure device for UV exposure machine and its UV exposure machine

The invention discloses a UV exposure machine LED exposure device, including slide substrate, LED light source module fixed slide substrate, two rows of LED light source module LED light source module exposure effective surface edge LED light source module in a row and a row corresponding to the exposure surface coincide; lighting X the direction of the desired target surface size of Lx, Y direction size is Ly, the size of the exposure surface LED light source module in the X direction is Lx1, Y dimension is Ly1; if Lx is less than Ly, the number of N required LED light source module = Lx/Lx1, sliding direction and Y direction of the sliding plate the same; if Lx > Ly, the number of N required LED light source module = Ly/Ly1, sliding direction and X direction of the same substrate slide. The exposure device uses the LED light source module of each other to form a large area and uniform illumination spot to reduce the cost.

【技术实现步骤摘要】
一种紫外曝光机的LED曝光装置及其紫外曝光机
本专利技术涉及一种LED曝光装置，属于曝光
吗，同时，本专利技术还涉及了一种紫外曝光机的。
技术介绍
平行光曝光机是精细图形结构制作的关键设备，在PCB线路板制造领域有着广泛的应用。有效曝光面积和照面均匀性是曝光机性能的两个重要指标。对于PCB板制造，紫外曝光光源需要较高的照面均匀性来保证线条均匀，同时还需要大的曝光面积。现有的平行光曝光机实现大幅面曝光的方式主要有扫描式和阵列拼接式两种模式，扫描式平行光曝光机一般采用一排或多排紫外LED灯珠通过拼接方式形成一条形照明光斑，再通过驱动装置将长条状LED阵列扫描形成大面积照明光斑。扫描式方案可以大量减少紫外LED灯珠的数量，降低成本，但若其中一颗LED出现故障，则整个照明系统无法使用，系统稳定性较差。而阵列式拼接平行光曝光机一般采用高功率紫外LED阵列作为光源，对每颗LED进行光束准直，形成一照明光斑，所有LED准直后的照明光斑即可拼接成大面积照明面。然而，大面积拼接方案存在大量的拼接位置，在每个拼接处照度分布非常不均匀，且拼接需要大量LED，成本较高。
技术实现思路
本专利技术所要解决的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种紫外曝光机的LED曝光装置，其特征在于：包括滑动基板，所述滑动基板滑动安装于固定底座上且由驱动装置驱动直线滑动，所述滑动基板上固定有多个尺寸相同的LED光源模块，各LED光源模块间隔排列成两排，每排LED光源模块之间的间距相等；两排LED光源模块相互错位设置且其中一排的LED光源模块的曝光有效面边缘与另一排对应的LED光源模块的曝光有效面边缘重合；目标面所需的光照面X方向的尺寸为Lx，Y方向的尺寸为Ly，每个LED光源模块的曝光有效面在X方向的尺寸为Lx1，Y方向的尺寸为Ly1；若Lx＜Ly，所需LED光源模块的数量N＝Lx/Lx1，滑动基板的滑动方向与Y方向相同；若Lx＞Ly，所需LED...

【技术特征摘要】
1.一种紫外曝光机的LED曝光装置，其特征在于：包括滑动基板，所述滑动基板滑动安装于固定底座上且由驱动装置驱动直线滑动，所述滑动基板上固定有多个尺寸相同的LED光源模块，各LED光源模块间隔排列成两排，每排LED光源模块之间的间距相等；两排LED光源模块相互错位设置且其中一排的LED光源模块的曝光有效面边缘与另一排对应的LED光源模块的曝光有效面边缘重合；目标面所需的光照面X方向的尺寸为Lx，Y方向的尺寸为Ly，每个LED光源模块的曝光有效面在X方向的尺寸为Lx1，Y方向的尺寸为Ly1；若Lx＜Ly，所需LED光源模块的数量N＝Lx/Lx1，滑动基板的滑动方向与Y方向相同；若Lx＞Ly，所需LED光源模块的数量N＝Ly/Ly1，滑动基板的滑动方向与X方向相同。2.如权利要求1所述的一种紫外曝光机的LED曝光装置，其特征在于：每个LED光源模块的结构相同，所述LED光源模块包括外壳，所述外壳内沿光线的传输方向依次固定有电路板、若干个LED灯珠、第一复眼透镜、第一准直透镜、第二复眼透镜和第二准直透镜，所述LED灯珠固定在电路板上，所述电路板的供电接口伸出外壳外，所述外壳内设置有对电路板和LED灯珠进行冷却的冷却装置，每个LED灯珠的发光侧设置有初步准直透镜，第一复眼透镜、第一准直透镜、第二复眼透镜和第二准直透镜平行设置。3.如权利要求1所述的一种紫外曝...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭艾英，杨若夫，孙秀辉，尹韶云，蔡文涛，陈建军，
申请(专利权)人：中国科学院重庆绿色智能技术研究院，张家港奇点光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：重庆,50