OLED背板的制作方法与OLED面板的制作方法技术

本发明专利技术提供一种OLED背板的制作方法与OLED面板的制作方法。本发明专利技术的OLED背板的制作方法，在对电极层进行氧等离子处理以去除残留光阻之前，在上表面疏水侧表面亲水的像素定义层上制作保护光阻层，从而在进行氧等离子处理过程中，被保护光阻层所覆盖的像素定义层的上表面不会受到氧等离子体的影响，仍然具有疏水性，从而在去除电极层上残留光阻的同时，又能保持像素定义层上表面疏水侧表面亲水的性质，进而便于采用喷墨打印工艺制作OLED器件。

【技术实现步骤摘要】
OLED背板的制作方法与OLED面板的制作方法
本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种OLED背板的制作方法与OLED面板的制作方法。
技术介绍
有机发光二极管(OrganicLightEmittingDiodes，OLED)显示器具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、宽视角、使用温度范围广，可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点，被业界公认为是最有发展潜力的显示装置。OLED具有依次形成于基板上的阳极、有机功能层和阴极。目前，OLED各功能材料层与阴极金属层薄膜均通过真空热蒸镀工艺制备，即在真空腔体内加热有机小分子材料，使其升华或者熔融气化成材料蒸汽，透过金属掩膜板(Mask)的开孔沉积在玻璃基板上。但由于真空热蒸发制备成本高，限制了OLED显示器的大范围商业化。喷墨打印(Ink-jetPrint，IJP)技术具有材料利用率高等优点，是解决大尺寸OLED显示器成本问题的关键技术，IJP技术在OLED器件发光层的制备中，相比于传统的真空蒸镀工艺，具有节省材料、制程条件温和、成膜更均匀等诸多优点，所以更具应用潜力。此方法是利用多个喷嘴将功能材料墨水滴入预本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种OLED背板的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1、提供一TFT基板(10)，在所述TFT基板(10)上沉积并图案化形成电极层(21)，在所述电极层(21)及TFT基板(10)上涂布一层有机光阻材料，对该层有机光阻材料进行曝光、显影及烘烤后，得到像素定义层(30)，所述像素定义层(30)在对应于所述电极层(21)的上方设有像素开口(35)，所述像素定义层(30)具有侧表面和上表面，此时所述像素定义层(30)的侧表面具有亲水性，所述像素定义层(30)的上表面具有疏水性，所述电极层(21)的上表面上具有残留光阻(95)；步骤S2、在所述像素定义层(30)上涂布一层普通光阻材料，并通过一...

【技术特征摘要】
1.一种OLED背板的制作方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1、提供一TFT基板(10)，在所述TFT基板(10)上沉积并图案化形成电极层(21)，在所述电极层(21)及TFT基板(10)上涂布一层有机光阻材料，对该层有机光阻材料进行曝光、显影及烘烤后，得到像素定义层(30)，所述像素定义层(30)在对应于所述电极层(21)的上方设有像素开口(35)，所述像素定义层(30)具有侧表面和上表面，此时所述像素定义层(30)的侧表面具有亲水性，所述像素定义层(30)的上表面具有疏水性，所述电极层(21)的上表面上具有残留光阻(95)；步骤S2、在所述像素定义层(30)上涂布一层普通光阻材料，并通过一道黄光制程对其进行图案化处理，在所述像素定义层(30)上形成保护光阻层(40)，以对所述像素定义层(30)的上表面进行保护，所述保护光阻层(40)对应于所述像素定义层(30)的像素开口(35)的上方设有贯穿开口(45)，所述贯穿开口(45)完全露出相对应的像素开口(35)；步骤S3、在所述TFT基板(10)上方整面施加氧等离子体，对所述电极层(21)进行氧等离子体处理，去除其上表面上的残留光阻(95)，该过程中，被保护光阻层(40)所覆盖的像素定义层(30)的上表面未受到氧等离子体的影响，仍然具有疏水性；步骤S4、去除像素定义层(30)上的保护光阻层(40)，得到OLED背板(1)。2.如权利要求1所述的OLED背板的制作方法，其特征在于，所述步骤S2中，所述保护光阻层(40)上贯穿开口(45)的边缘相对于所对应的像素开口(35)的边缘向外扩张0-3微米，从而完全露出所对应的像素开口(35)。3.如权利要求1所述的OLED背板的制...

【专利技术属性】
技术研发人员：李松杉，
申请(专利权)人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：湖北,42