双腔式光声光谱仪制造技术

本发明专利技术提供了一种双腔式光声光谱仪，包括：光源调制模块，用于产生红外原始光并进行调制，得到调制光；滤光盘，包括至少一片滤光片，各滤光片的中心波长不同，所述滤光片用于从所述调制光中过滤得到中心波长与待测物的各组分吸收的红外线光谱一致的单色光；以及声腔模块，包括隔声腔、光声腔和声音检测器，其中，所述光声腔内置于所述隔声腔中，用于放置待测物，以及接收所述单色光，所述待测物吸收所述单色光并产生声波；所述声音检测器与所述光声腔连接，用于将所述声波转换成电信号。本发明专利技术采用了双腔结构，将光声腔内置于隔声腔中，具有良好的声屏蔽，大大提高了光谱仪测试低浓度待测物的精度，尤其是低浓度待测物的精度。

【技术实现步骤摘要】
双腔式光声光谱仪
本专利技术涉及光电领域，尤其涉及一种双腔式光声光谱仪。
技术介绍
针对环境温室气体监测、石化炼化行业及钢铁行业有害气体监测、汽车尾气监测、智能电网故障监测等领域中，需要大量高灵敏度便携或在线检测系统，来实现对CO、CO2、CH4、C2H2、SO2、H2S、SF6等气体高精度快速监测(检测最低浓度≤0.1ppm)光声光谱仪是一种高灵敏度的检测仪，但其有别于传统的红外技术。它将光信号有效的转换成声信号，并通过声音检测器对声音信号的检测计算得到气体的最终浓度，非常适合痕量气体的测量领域，以及在复杂环境下的无干扰测量。影响光声光谱仪灵敏度的因素比较多，如光源、光声腔、声音检测器等，其中，光声腔是光声光谱仪器中最为核心组件之一。它是一个装有声音检测器、放置待测物的光声腔，其实质就是“光-热-声”的转换器。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题本专利技术的目的在于提供一种双腔式光声光谱仪，以解决上述的至少一项技术问题。(二)技术方案本专利技术提供了一种双腔式光声光谱仪，包括：光源调制模块，用于产生红外原始光并进行调制，得到调制光；滤光盘，包括至少一片滤光片，各滤光片的中心波长不同，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种双腔式光声光谱仪，包括：光源调制模块，用于产生红外原始光并进行调制，得到调制光；滤光盘，包括至少一片滤光片，各滤光片的中心波长不同，所述滤光片用于从所述调制光中过滤得到中心波长与待测物的各组分吸收的红外线光谱一致的单色光；以及声腔模块，包括隔声腔、光声腔和声音检测器，其中，所述光声腔内置于所述隔声腔中，用于放置待测物，以及接收所述单色光，所述待测物吸收所述单色光并产生声波；所述声音检测器与所述光声腔连接，用于将所述声波转换成电信号。

【技术特征摘要】
1.一种双腔式光声光谱仪，包括：光源调制模块，用于产生红外原始光并进行调制，得到调制光；滤光盘，包括至少一片滤光片，各滤光片的中心波长不同，所述滤光片用于从所述调制光中过滤得到中心波长与待测物的各组分吸收的红外线光谱一致的单色光；以及声腔模块，包括隔声腔、光声腔和声音检测器，其中，所述光声腔内置于所述隔声腔中，用于放置待测物，以及接收所述单色光，所述待测物吸收所述单色光并产生声波；所述声音检测器与所述光声腔连接，用于将所述声波转换成电信号。2.根据权利要求1所述的双腔式光声光谱仪，其中，该光源调制模块包括：光源，用于产生红外原始光；平行调整单元，用于将所述红外原始光调制为一束平行光；以及电调制单元，用于对所述平行光进行脉冲调制，得到所述调制光。3.根据权利要求1所述的双腔式光声光谱仪，其中，还包括信号显示模块，所述信号显示模块包括：放大电路，用于将所述电信号进行放大，得到放大电信号；信号处理单元，用于根据所述放大电信号得到各组分的浓度；以及显示单元...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙建海，赵佩月，刘春秀，薛宁，
申请(专利权)人：中国科学院电子学研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11