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双石英晶振光谱测声器及采用该测声器的气体探测装置制造方法及图纸

技术编号:8861144 阅读:234 留言:0更新日期:2013-06-28 00:35
本发明专利技术涉及气体传感技术,具体为一种双石英晶振光谱测声器及采用该测声器的气体探测装置。解决了目前气体探测装置探测灵敏度不高、操作较为繁琐的技术问题。一种双石英晶振光谱测声器,包括一个位于双石英晶振组件外部的底部设有孔的气室;气室的侧壁上沿光路分别设有一个入射窗口和一个出射窗口;所述入射窗口、双石英晶振组件和出射窗口位于同一光路上。一种气体探测装置,包括光源、以及与光源相连接的光源驱动器;光源出射光路上顺次设有光束聚焦器和光谱测声器;还包括顺次连接的第一锁相放大器和信号发生器。本发明专利技术通过双石英晶振组件的巧妙布置解决了目前气体探测中探测灵敏度不高且需要频繁测量石英晶振频率的技术问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气体传感技术,具体为一种双石英晶振光谱测声器及采用该测声器的气体探测装置
技术介绍
气体分子存在于人类生活的整个空间,与人类的经济、产业活动,身体健康等息息相关。随着中国工业化进程的不断加速,大量有毒危险气体的排放严重的影响了人类的健康和生存。同时在石油、化工、航天、医学、环境等领域中,需要对衍生气体分子进行高精度高选择性的监控,以优化各种工业过程。基于分子光谱学的气体检测技术由于其灵敏度高、选择性好、可在线实时检测等优点,在近几年来逐渐受到人们的重视。尤其是光声光谱,以其对光源波长无选择性及探测灵敏度与功率成正比的特性,更是被广泛的应用。2002年美国莱斯大学激光科学组率先使用石英音叉代替传统光声光谱中的麦克风,来对气体进行探测,使装置体积大大缩小,取得了很好的效果。这种装置核心探测部分主要由一只音叉式石英晶振和两只细管组成。图7为音叉式石英晶振的正视图,音叉式石英晶振具有两个振臂,音叉式石英晶振在受到外部激励后,振臂沿图中箭头所指方向往复振动,为描述方便将音叉式石英晶振的振臂上与振动方向垂直的面称为内外振动面;与振动方向平行的面(即纸面上所看到的面以及背后的面)称作音叉式石英晶振的振臂侧面;两个振臂之间的间隙称为振臂间隙,如图7所示的振臂间隙方向向上。音叉式石英晶振下部有两个电极,各连接一个管脚,一个管脚与信号地相连接,另一个管脚用于输出因振动产生的电信号。两只细管被分置于音叉式石英晶振两边,管子轴心均与光路同轴,组成微型声音谐振腔,光束通过第一根细管后从两振臂间通过然后通过第二根细管,被测气体吸收了光能之后,由于气体的碰撞退激发,释放声能,声能在微型声音谐振腔中积累,再传递给音叉式石英晶振,引起音叉式石英晶振两振臂振动,紧接着音叉式石英晶振通过压电效应把机械振动能转化为电信号,而这些电信号的强度就正比于被探测的气体浓度。这种配置被叫做双管配置。随后,为进一步提高其灵敏度,两个细管的几何尺寸被进一步优化。也有人仅仅使用一只单独的长管作为声音谐振腔,长管中部被开一狭缝,长管相当于被分成两段,只剩一小部分连接;音叉式石英晶振被放置在长管中部的侧面,长管狭缝与音叉式石英晶振的间隙所在位置相对,以便更好的满足共振条件,这种配置叫做单管配置。但当前无论哪种配置,并怎样通过变换谐振腔管与音叉式石英晶振的位置、尺寸,优化实验装置,都无法使探测灵敏度进一步提高,因为在现有的装置下探测灵敏度已经到达了一个最优值;另一方面,以上装置都存在一个不足之处,由于音叉式石英晶振的高Q特性(Q是指石英晶振的品质因数,品质因数=存储能量/每周期损耗能量,品质因数越高响应带宽越窄),使得其响应带宽只有约2.5Hz,甚至更低,而它的响应频率会随着环境参数的变化,例如温度、湿度、压力等而变化,因此每次在进行气体探测时,都必须对其共振频率进行测量,然后再使用其共振频率(一次谐波探测)或共振频率一半(二次谐波探测)对其光源进行调制,否则音叉式石英晶振将不会响应气体吸收光能之后释放的声波。这使得当前的气体探测装置操作较为繁琐,探测效率较低。
技术实现思路
本专利技术为解决目前气体探测装置探测灵敏度不高、操作较为繁琐的技术问题,提供一种双石英晶振光谱测声器及采用该测声器的气体探测装置。本专利技术所述双石英晶振光谱测声器是采用以下技术方案实现的:一种双石英晶振光谱测声器,包括一个双石英晶振组件;所述双石英晶振组件包括振臂间隙相对排列的且具有一定空隙的两个音叉式石英晶振,所述两个音叉式石英晶振的振臂侧面相互平行;每个音叉式石英晶振均有一个管脚与信号地相连接;每个音叉式石英晶振不与信号地连接的管脚共同连接有一个前置放大器。应用时,光束从两个音叉式石英晶振之间的空隙穿过。采用本专利技术所述的双石英晶振组合方式利用了音叉式石英晶振之间的耦合效应,使它们的响应曲线合并,它们之间的阻抗减小,Q值进一步降低,而调制频率范围明显增大,能够有效增强探测灵敏度。进一步的,所述双石英晶振组件还包括一个穿过所述音叉式石英晶振对之间空隙的轴向与音叉式石英晶振对振臂侧面垂直的微型声音谐振腔;所述微型声音谐振腔中部外侧面开有与两个音叉式石英晶振的振臂间隙平行对齐的狭缝,所述两个音叉式石英晶振的振臂部分插入狭缝之中。音叉式石英晶振插入狭缝之中但并不与管壁相接触。这种组合方式在音叉式石英晶振对耦合作用的基础上,增加了微型声音谐振腔与音叉式石英晶振对之间的耦合作用,使得Q值进一步降低,而调制频率范围也进一步的增大,探测灵敏度得到了进一步的提高。管子(微型声音谐振腔)只在与振臂间隙方向相垂直的部分通过很窄的部分相连接。这种组合方式需要比较精细的机械加工,由于音叉式石英晶振振臂插入微型声音谐振腔的深度较浅,微型声音谐振腔与音叉式石英晶振对之间的耦合性不是很强,但微型声音谐振腔的中心无遮挡物,非常容易进行光束准直。进一步的,所述双石英晶振组件还包括一个穿过所述音叉式石英晶振对之间空隙的轴向与音叉式石英晶振对振臂侧面垂直的微型声音谐振腔;所述微型声音谐振腔中部外侧面与振臂间隙方向垂直的两侧各开有一个狭缝,所述每个音叉式石英晶振的振臂均部分的插入两个狭缝之中。微型声音谐振腔与振臂间隙方向垂直的两侧各开有一个狭缝,整个管子只在与振臂间隙相对的两侧留有很窄的部分连接;两个音叉式石英晶振的振臂插入狭缝中,位于上部的振臂插入上方的狭缝,下方的振臂插入下方的狭缝,管子的连接部分位于振臂间隙之中。音叉式石英晶振不与管壁相接触。这种组合方式不仅具备前一种方式的所有优点,而且由于音叉式石英晶振振臂能够进一步插入微型声音谐振腔,耦合性进一步增强;同时由于两个音叉式石英晶振的振臂从管子中心连接处插入到微型声音谐振腔内部,光束必须从两振臂之间通过,因此这种组合方式不仅需要精细的机械加工,也需要进行仔细的光学准直。进一步的,所述双石英晶振组件还包括对称设在音叉式石英晶振对的空隙两侧的轴向与音叉式石英晶振对的振臂侧面垂直的由两只单管组成的微型声音谐振腔。这种组合方式实际上相当于一对微型声音谐振腔组成一个微型谐振腔,两个音叉式石英晶振相当于部分的进入到微型谐振腔的内部。这种组合方式并不需要精细的机械加工,音叉式石英晶振振臂插入微型谐振腔的深度很深,使得整个系统的Q值能够从单个音叉式石英晶振的12000左右下降到4000左右,因此这种组合属于强耦合方式,调制带宽也进一步加宽;由于两个音叉式石英晶振的振臂插入到微型谐振腔内部,光束必须从两振臂间隙通过,因此这种方式需要进行仔细的光学准直。图5为双石英晶振组件与单石英晶振组件响应曲线的对比图。所述的单石英晶振组件即指传统方法上所采用的部件及其配置方式。图中横轴为频率(Hz),纵轴为当外加激发信号时,单石英晶振组件或双石英晶振组件响应电压的幅值平方(任意单位)。SI为单个裸音叉式石英晶振的响应曲线,响应带宽只有2.5Hz ;S2为单石英晶振加一个由两只单管组成的微型谐振腔的响应曲线,响应带宽为3.5Hz ;S3曲线为上面说到的第三种配置方式下,即两个管子组成的微型声音谐振腔与两个音叉式石英晶振的组合得到的响应曲线,由于两个微型声音谐振腔与两个音叉式石英晶振存在强耦合效应,使得响应带宽为7.4Hz,大大宽于单石英晶振组件的响应带宽。图6为双石英晶振组件与单石英晶振组本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种双石英晶振光谱测声器,其特征在于包括一个双石英晶振组件(37);所述双石英晶振组件(37)包括振臂间隙相对排列的且具有一定空隙的两个音叉式石英晶振(36),所述两个音叉式石英晶振(36)的振臂侧面相互平行;每个音叉式石英晶振(36)均有一个管脚与信号地相连接;每个音叉式石英晶振(36)不与信号地连接的管脚共同连接有一个前置放大器(8)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:董磊贾锁堂尹王保
申请(专利权)人:山西大学
类型:发明
国别省市:

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