【技术实现步骤摘要】
一种晶体旋转光学比较测角仪
本技术涉及测量装置领域,尤其涉及一种晶体测量的旋转光学比较测角仪。
技术介绍
生长出来的各种直径单晶晶锭在加工成晶棒、晶片前,需要单晶晶体角度精确,测定方式为对照标准片的标准角度与加工的晶体材料的晶体测试角度进行对比,找出晶体的转角。传统的转角晶体测试仪,其工件承载能力不足、测量范围小,局限了单晶晶锭材料的应用规格。同时由于样品置于样品台上,样品台均为固定样品台。其缺陷是,测试时样品固定不动。对晶粒粗大的样品,其测量周期长、灵敏度降低、误差大。
技术实现思路
本技术的目的是解决现有技术的不足,提供一种晶体旋转光学比较测角仪,有效提高测量效率。本技术采用的技术方案是:一种晶体旋转光学比较测角仪,包括底座,所述底座内设有涡轮和蜗杆,所述底座上固接有调节杆,所述调节杆通过连接件和支撑套相连,所述支撑套内套接支撑套筒,所述支撑套筒的顶端固接经纬仪;所述蜗杆一端与涡轮相适配,另一端固接样品台,所述样品台上固接半圆形光线保护板,所述样品台和涡轮之间设有轴承。作为本技术的进一步改进,所述调节杆上设有凹槽。本技术采用的有益效果是:本结构的光学比较测角仪,通过底 ...
【技术保护点】
一种晶体旋转光学比较测角仪,其特征是包括底座(1),所述底座(1)内设有涡轮(9)和蜗杆(10),所述底座(1)上固接有调节杆(2),所述调节杆(2)通过连接件(4)和支撑套(5)相连,所述支撑套(5)内套接支撑套筒(3),所述支撑套筒(3)的顶端固接经纬仪(6);所述蜗杆(10)一端与涡轮(9)相适配,另一端固接样品台(7),所述样品台(7)上固接半圆形光线保护板(8),所述样品台(7)和涡轮(9)之间设有轴承(11)。
【技术特征摘要】
1.一种晶体旋转光学比较测角仪,其特征是包括底座(1),所述底座(1)内设有涡轮(9)和蜗杆(10),所述底座(1)上固接有调节杆(2),所述调节杆(2)通过连接件(4)和支撑套(5)相连,所述支撑套(5)内套接支撑套筒(3),所述支撑套筒(3)的顶端固接经纬仪...
【专利技术属性】
技术研发人员:张琦,吕志萍,
申请(专利权)人:安徽火天晶体科技有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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