一种单晶硅片的清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单晶硅片的清洗装置，包括底座和U型框，所述底座上端固定连接U型框的一端，所述U型框的一侧壁贯通插接有进水管的一端，U型框的另一侧壁贯通插接有出水管的一端，此单晶硅片的清洗装置结构简单，通过加入紫外线灯、电阻丝和凸轮的组合结构，利用紫外线灯的旋转照射，对单晶硅片进行灭菌，再利用凸轮的偏心转而引起的震动，加深乙醇溶液与单晶硅片之间的接触，加大清洗力度，最后利用电阻丝对乙醇溶液进行加热，使有机杂质分子更易融进乙醇溶液，进一步加大了清洁效果，同时，利用紫外线灯、电阻丝和风机，对单晶硅片起到烘干、灭菌的作用，实现清洁、干燥的一体化设置。

A cleaning device for monocrystalline silicon sheet

The utility model discloses a silicon wafer cleaning device, which comprises a base and a U type frame, wherein the base is connected with the upper end of one end of the U type frame, wherein one side wall of the U type frame is inserted through the water inlet pipe at one end, the other side wall type U box is inserted through the outlet end, cleaning device the silicon chip has the advantages of simple structure, through a combination of structure with ultraviolet lamp, the resistance wire and the cam rotation, irradiation with ultraviolet light, to sterilize the silicon wafer, then use the eccentric cam to vibration to enhance ethanol solution and silicon wafer contact, increase the cleaning strength, the resistance wire for heating ethanol solution, the organic impurity molecules more easily melt into the ethanol solution, and further increase the cleaning effect, at the same time, the use of ultraviolet lamp, the resistance wire and the fan, up on the surface of silicon wafer To the effect of drying and sterilization, the integrated setting of cleaning and drying is realized.

【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅片的清洗装置
本技术涉及硅生产
，具体为一种单晶硅片的清洗装置。
技术介绍
利用硅单晶所生产的太阳能电池可以直接将太阳能转化为光能，开启了绿色能源的新时代。而在硅片加工过程中，单晶硅片易附着颗粒、有机物、金属或是吸附杂质分子，这会严重影响后期组装成的太阳能电池的性能，因此需要对单晶硅片进行清洗，而现有的清洗装置结构复杂，且清洁效果不好，同时现有的清洗装置也不具备干燥的作用，为此，提出，一种单晶硅片的清洗装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种单晶硅片的清洗装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单晶硅片的清洗装置，包括底座和U型框，所述底座上端固定连接U型框的一端，所述U型框的一侧壁贯通插接有进水管的一端，U型框的另一侧壁贯通插接有出水管的一端，所述U型框的侧壁为中空结构，U型框的内壁上固定连接有硅片放置盒，硅片放置盒的侧壁上开设有通孔，且U型框的两侧壁上开设的导轨槽中滑动插接有盖板的两端，所述盖板为中空结构，盖板空腔内壁转动连接有第二固定轴的一端，第二固定轴上固定套接有第二轮盘，所述第二轮盘通过传动带与第一轮盘连接，所述第一轮盘固定套接在第一固定轴上，第一固定轴的一端贯穿盖板的上端并与第一电机上的第一转轴连接，第一电机通过第一支撑杆固定在盖板的上端上，所述第一固定轴和第二固定轴的另一端均贯穿盖板的下端并与紫外线灯连接。优选的，所述U型框侧壁的空腔内壁固定连接有第二支撑杆的一端，第二支撑杆的另一端与第二电机的底端固定连接，所述第二电机上的第二转轴与凸轮连接。优选的，所述第二电机和凸轮的数目仅为三个。优选的，所述紫外线灯内设有电阻丝，所述盖板的上端与拉把的两端固定连接，盖板的下端固定连接有风机，且风机的数目为三个。与现有技术相比，本技术的有益效果是：此单晶硅片的清洗装置结构简单，通过加入紫外线灯、电阻丝和凸轮的组合结构，利用紫外线灯的旋转照射，对单晶硅片进行灭菌，再利用凸轮的偏心转而引起的震动，加深乙醇溶液与单晶硅片之间的接触，加大清洗力度，最后利用电阻丝对乙醇溶液进行加热，使有机杂质分子更易融进乙醇溶液，进一步加大了清洁效果，同时，利用紫外线灯、电阻丝和风机，对单晶硅片起到烘干、灭菌的作用，实现清洁、干燥的一体化设置。附图说明图1为本技术结构示意图。图中：底座1、U型框2、进水管3、出水管4、盖板5、拉把6、第一电机7、第一轮盘8、第二轮盘81、紫外线灯9、电阻丝10、第一固定轴11、第二固定轴12、传动带13、第二电机14、凸轮15、第一支撑杆16、第二支撑杆17、硅片放置盒18、风机19。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1，本技术提供一种技术方案：一种单晶硅片的清洗装置，包括底座1和U型框2，底座1上端固定连接U型框2的一端，U型框2的一侧壁贯通插接有进水管3的一端，U型框2的另一侧壁贯通插接有出水管4的一端，进水管3处贯通连接有泵，泵外接电源，U型框2的侧壁为中空结构，U型框2侧壁的空腔内壁固定连接有第二支撑杆17的一端，第二支撑杆17的另一端与第二电机14的底端固定连接，第二电机14上的第二转轴与凸轮15连接，第二电机14和凸轮15的数目仅为三个，且U型框2的内壁上固定连接有硅片放置盒18，硅片放置盒18的侧壁上开设有通孔，且U型框2的两侧壁上开设的导轨槽中滑动插接有盖板5的两端，盖板5为中空结构，盖板5的上端与拉把6的两端固定连接，盖板5的下端固定连接有风机19，且风机19的数目为三个，盖板5空腔内壁转动连接有第二固定轴12的一端，第二固定轴12上固定套接有第二轮盘81，第二轮盘81通过传动带13与第一轮盘8连接，第一轮盘8固定套接在第一固定轴11上，第一固定轴11的一端贯穿盖板5的上端并与第一电机7上的第一转轴连接，第一电机7通过第一支撑杆16固定在盖板5的上端上，第一固定轴11和第二固定轴12的另一端均贯穿盖板5的下端并与紫外线灯9连接，紫外线灯9外涂有防潮材料，紫外线灯9内设有电阻丝10。工作原理：将单晶硅片放入硅片放置盒18中，利用泵让乙醇溶液经进水管3流入U型框2内，保证U型框2内乙醇溶液的液面高度与硅片放置盒18的上端平齐，此时，打开第一电机7，带动第一固定轴11和第一轮盘8转动，继而通过传动带13带动第二轮盘81转动，从而带动两个紫外线灯9不停的旋转，对单晶硅片进行杀毒、灭菌，与此同时，打开第二电机14，带动凸轮15偏心转，引起震动，从而引起乙醇溶液的波动，使乙醇溶液与单晶硅片接触更充分，加大清洗力度，与此同时，打开电阻丝10对乙醇溶液进行加热，使单晶硅片上附着的有机杂质分子更易融进乙醇溶液，加深清洁力度，待清洗时间一到，打开出水管4上的阀门，让乙醇溶液流出，此时，开启风机19，吸收水分，同时紫外线灯9和电阻丝10也可同时起到烘干、灭菌的作用，实现清洁、干燥的一体化设置，单晶硅片干燥后，拉动拉把6，将盖板5从U型框2中拉出，取出单晶硅片。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种单晶硅片的清洗装置，包括底座（1）和U型框（2），所述底座（1）上端固定连接U型框（2）的一端，所述U型框（2）的一侧壁贯通插接有进水管（3）的一端，U型框（2）的另一侧壁贯通插接有出水管（4）的一端，其特征在于：所述U型框（2）的侧壁为中空结构，U型框（2）的内壁上固定连接有硅片放置盒（18），硅片放置盒（18）的侧壁上开设有通孔，且U型框（2）的两侧壁上开设的导轨槽中滑动插接有盖板（5）的两端，所述盖板（5）为中空结构，盖板（5）空腔内壁转动连接有第二固定轴（12）的一端，第二固定轴（12）上固定套接有第二轮盘（81），所述第二轮盘（81）通过传动带（13）与第一轮盘（8）连接，所述第一轮盘（8）固定套接在第一固定轴（11）上，第一固定轴（11）的一端贯穿盖板（5）的上端并与第一电机（7）上的第一转轴连接，第一电机（7）通过第一支撑杆（16）固定在盖板（5）的上端上，所述第一固定轴（11）和第二固定轴（12）的另一端均贯穿盖板（5）的下端并与紫外线灯（9）连接。

【技术特征摘要】
1.一种单晶硅片的清洗装置，包括底座（1）和U型框（2），所述底座（1）上端固定连接U型框（2）的一端，所述U型框（2）的一侧壁贯通插接有进水管（3）的一端，U型框（2）的另一侧壁贯通插接有出水管（4）的一端，其特征在于：所述U型框（2）的侧壁为中空结构，U型框（2）的内壁上固定连接有硅片放置盒（18），硅片放置盒（18）的侧壁上开设有通孔，且U型框（2）的两侧壁上开设的导轨槽中滑动插接有盖板（5）的两端，所述盖板（5）为中空结构，盖板（5）空腔内壁转动连接有第二固定轴（12）的一端，第二固定轴（12）上固定套接有第二轮盘（81），所述第二轮盘（81）通过传动带（13）与第一轮盘（8）连接，所述第一轮盘（8）固定套接在第一固定轴（11）上，第一固定轴（11）的一端贯穿盖板（5）的上端并与第一电机（7）上的第一转轴连...

【专利技术属性】
技术研发人员：李秀春，
申请(专利权)人：福建鑫隆光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建,35