The present invention relates to an indoor water soluble gaseous pollutant molecules purification device on the ground, the relative rotary adsorption desorption device area and the isolation area is provided with exhaust isolation / desorption and desorption cycle channel inlet exhaust / isolation inlet circulation channel, and the absorption desorption unit is arranged in the exhaust the intake / isolation circulation channel, and circulation of desorption and absorption and isolation purification operations, to indoor water soluble concentration of gaseous pollutant molecules directly in the absorption of purification, no longer by the indoor exhaust to outdoor processing, can reduce indoor air conditioning loss; therefore, in order to solve the existing technical problems caused by external purification and air conditioning energy consumption, and reduce the energy consumption of the air conditioner has a purifying effect in the ground.
【技术实现步骤摘要】
室内水溶性气态分子污染物的在地净化装置及方法
本专利技术是有关一种室内水溶性气态分子污染物的在地净化方法,尤指一种借由冷凝室内空气中的水气微雾形成次微米或微米级水滴或洒水洗涤,进而利用水滴吸收室内空气中所含的水溶性气态分子污染物,于室内在地净化的设计。
技术介绍
TFT-LCD及半导体的显影、清洗、蚀刻及蒸镀等制程,经常会使用有机化合物进行涂布或清洗,但有部分有机化合物(如:丙酮Acetone/异丙酮IPA/丙二醇单甲基醚PGME/丙二醇单甲基醚酯PGMEA/乙酸正丁酯BA/醋酸AceticAcid等)会逸散在无尘室作业环境内,而成为浓度约为数十至数千ppb的气态分子污染物(airbornemolecularcontamination,AMC),操作人员长时间处在此低浓度气态分子污染物的环境下,仍可能引发不适;其中,丙酮具有薄荷/水果甜味而嗅觉阈值为0.4-800ppm,异丙酮具有乙醇和丙酮混和味而嗅觉阈值为0.442-610ppm,丙二醇单甲基醚具有乙醚味而嗅觉阈值为0.003-10ppm,丙二醇单甲基醚酯具有强烈的特殊味道而嗅觉阈值为0.025-1ppm,乙酸正丁酯具有强烈的水果味而嗅觉阈值为0.0063-368ppm,醋酸具有强烈醋味、催泪味而嗅觉阈值为0.01ppm。次者,如图1所示,无尘室70的基本结构是将具有通气孔的地板71垫高设置,而自地板隔室72抽吸空气送入天花板73与楼层板间所形成的天花板隔室74,并经由天花板73的风机过滤系统(FanFilterUnit,FFU)75将过滤后的空气再送入无尘室70内,致使循环送入无尘室70内的空气借由风 ...
【技术保护点】
一种室内水溶性气态分子污染物的在地净化装置,其特征在于,包括:一旋转式吸脱附器,区分有一吸附区、一脱附区及一隔离区,相对该吸附区设置有吸附进气通道与吸附排气通道,相对该脱附区与该隔离区设置有隔离排气/脱附进气循环通道与脱附排气/隔离进气循环通道;一吸附压差产生器,设置于该吸附进气通道或该吸附排气通道,令待净化气体通过该吸附区而将所含的气态分子污染物予以吸附净化,吸附净化后的气体回到室内中;一脱附热源,设置于该隔离排气/脱附进气循环通道;一脱附压差产生器,设置于该隔离排气/脱附进气循环通道,令经该脱附热源加热后的脱附气流通过该脱附区,而将所吸附的气态分子污染物予以脱附出来;以及一吸收单元,设置于该脱附排气/隔离进气循环通道,借由冷凝脱附排气中的水气微雾或洗涤吸收脱附排气中所含的水溶性气态分子污染物,吸收净化后的气体通过该隔离区进行热回收后成为脱附/隔离循环气流。
【技术特征摘要】
1.一种室内水溶性气态分子污染物的在地净化装置,其特征在于,包括:一旋转式吸脱附器,区分有一吸附区、一脱附区及一隔离区,相对该吸附区设置有吸附进气通道与吸附排气通道,相对该脱附区与该隔离区设置有隔离排气/脱附进气循环通道与脱附排气/隔离进气循环通道;一吸附压差产生器,设置于该吸附进气通道或该吸附排气通道,令待净化气体通过该吸附区而将所含的气态分子污染物予以吸附净化,吸附净化后的气体回到室内中;一脱附热源,设置于该隔离排气/脱附进气循环通道;一脱附压差产生器,设置于该隔离排气/脱附进气循环通道,令经该脱附热源加热后的脱附气流通过该脱附区,而将所吸附的气态分子污染物予以脱附出来;以及一吸收单元,设置于该脱附排气/隔离进气循环通道,借由冷凝脱附排气中的水气微雾或洗涤吸收脱附排气中所含的水溶性气态分子污染物,吸收净化后的气体通过该隔离区进行热回收后成为脱附/隔离循环气流。2.根据权利要求1所述的室内水溶性气态分子污染物的在地净化装置,其特征在于,所述旋转式吸脱附器采用高硅铝比ZSM-5沸石的疏水性吸附材。3.根据权利要求1或2所述的室内水溶性气态分子污染物的在地净化装置,其特征在于,进一步于该脱附排气/隔离进气循环通道设置一控湿单元,且令该控湿单元位于该吸收单元的下游处,控制隔离进气气流的相对湿度在50%以下。4....
【专利技术属性】
技术研发人员:张丰堂,
申请(专利权)人:杰智环境科技股份有限公司,张丰堂,
类型:发明
国别省市:中国台湾,71
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