加速度检测装置及其制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种难以产生压电元件的位置、保持角度的偏移并且难以受到噪声的影响的加速度检测装置及其制造方法。加速度检测装置(1)具备：压电元件(2)，具有上表面以及下表面；片状的粘接剂(4)，被设置于压电元件(2)的下表面上；和第1封装构件(3)，通过片状的粘接剂(4)而与压电元件(2)接合。

Acceleration detection device and its manufacturing method

The invention provides an acceleration detection device which is difficult to generate the position of the piezoelectric element, maintains the angle deviation, and is difficult to be affected by noise, and the manufacturing method thereof. The acceleration detection device (1) has a piezoelectric element (2), which has an upper surface and a lower surface. The plate-like adhesive (4) is arranged on the lower surface of the piezoelectric element (2), and the first packaging component (3) is joined to the piezoelectric element (2) through the flaky adhesive (4).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】加速度检测装置及其制造方法
本专利技术涉及被固定于封装构件的加速度检测装置及其制造方法。
技术介绍
在下述的专利文献1中，公开了加速度检测装置的一例。在该加速度检测装置中，压电元件通过被支撑框夹着而被保持。在下述的专利文献2所述的加速度检测装置中，压电元件也通过被壳体构件夹着而被保持。在下述的专利文献3中，压电元件通过瞬间粘接剂以及导电性粘接剂而被固定于基体构件。在下述的专利文献4中，压电元件被壳体构件的元件安装部夹着。进一步地，压电元件通过导电性粘接剂以及绝缘性粘接剂而被固定。在先技术文献专利文献专利文献1：JP专利第4190208号专利文献2：JP专利第3183177号专利文献3：JP特开2001-074768号公报专利文献4：JP特开平7-202283号公报
技术实现思路
-专利技术要解决的课题-在专利文献1以及2中的加速度检测装置中，压电元件通过直接被支撑框或者壳体构件夹着而被稳固地保持。因此，容易强烈受到由于支撑框或壳体构件的挠曲等而产生的噪声的影响。在专利文献3中的加速度检测装置中，在瞬间粘接剂以及导电性粘接剂的固化前，由于施加于压电元件的重力的影响，压电元件的位置以及保持角度容易偏移。进一步地，瞬间粘接剂以及导电性粘接剂在固化时较大地膨胀或者收缩。由此，压电元件的位置以及保持角度也容易偏移。在专利文献4中的加速度检测装置中，也由于导电性粘接剂以及绝缘性粘接剂固化时的膨胀或者收缩，压电元件的位置以及保持角度容易偏移。进一步地，由于压电元件被元件安装部夹着，因此容易受到由于壳体构件的挠曲等而产生的噪声的影响。本专利技术的目的在于，提供一种难以产生压电元件的位置、保持角度的偏移并且难以受到噪声的影响的加速度检测装置及其制造方法。-解决课题的手段-本专利技术所涉及的加速度检测装置具备：压电元件，具有上表面以及下表面；片状的粘接剂，被设置于所述压电元件的所述下表面上；和第1封装构件，通过所述片状的粘接剂而接合有所述压电元件。在本专利技术所涉及的加速度检测装置的某个特定的方面，所述压电元件具有：压电体、和被设置于所述压电体上的第1、第2电极，所述压电体具有：上表面及下表面、第1侧面以及与该第1侧面对置的第2侧面。在该情况下，能够容易地与外部电连接。在本专利技术所涉及的加速度检测装置的其他特定的方面，所述第1电极被设置于所述压电体的所述第1侧面上，所述第2电极被设置于所述压电体的所述第2侧面上。在该情况下，能够容易地与外部电连接。在本专利技术所涉及的加速度检测装置的另一其他特定的方面，所述第1电极被设置于所述压电体的所述下表面上，所述第2电极被设置于所述压电体的所述上表面上。在该情况下，能够容易地与外部电连接。在本专利技术所涉及的加速度检测装置的另外特定的方面，所述压电元件具有：连接于所述第1电极并被设置于所述压电体的所述第1侧面的第1引出电极、和连接于所述第2电极并被设置于所述压电体的所述第2侧面的第2引出电极。在该情况下，能够容易地与外部电连接。在本专利技术所涉及的加速度检测装置的又一特定的方面，所述压电元件具有长度方向，所述上表面以及下表面在所述长度方向上延伸，所述压电元件通过所述片状的粘接剂而被固定，以使得具有至少1个位置的自由端。在该情况下，更加难以产生压电元件的位置、保持角度的偏移，更加难以受到噪声的影响。在本专利技术所涉及的加速度检测装置的又一特定的方面，所述压电元件通过所述片状的粘接剂而以悬臂梁的状态被支承。在该情况下，更加难以产生压电元件的位置、保持角度的偏移，更加难以受到噪声的影响。在本专利技术所涉及的加速度检测装置的又一特定的方面，所述片状的粘接剂达到所述压电元件的所述长度方向的端部之中的一个。在该情况下，能够有效地提高灵敏度。在本专利技术所涉及的加速度检测装置的又一特定的方面，还具备：第1、第2内部电极，被设置于所述压电元件的内部，并且相互对置。在该情况下，静电电容较大。此外，能够有效地提高灵敏度。在本专利技术所涉及的加速度检测装置的又一特定的方面，所述片状的粘接剂由绝缘性的材料构成。在该情况下，能够将第1电极与第2电极可靠地电绝缘。在本专利技术所涉及的加速度检测装置的又一特定的方面，还具备与所述第1封装构件接合的第2封装构件，所述压电元件被所述第1、第2封装构件密封。在该情况下，能够提高强度，并且难以受到来自外部的噪声的影响。在本专利技术所涉及的加速度检测装置的又一特定的方面，所述第1封装构件是平板状，所述第2封装构件是帽盖状。在该情况下，能够提高强度，并且难以受到来自外部的噪声的影响。在本专利技术所涉及的加速度检测装置的又一特定的方面，所述第1封装构件具有凹部，所述压电元件被配置于所述凹部内，所述第2封装构件被设置为覆盖所述凹部，从而所述压电元件被密封。在该情况下，能够提高强度，并且难以受到来自外部的噪声的影响。本专利技术所涉及的加速度检测装置的制造方法是根据本专利技术构成的加速度检测装置的制造方法包含：准备所述压电元件的工序；在所述压电元件的所述下表面上粘贴所述片状的粘接剂的工序；和将所述压电元件经由所述片状的粘接剂而接合于所述第1封装构件上的工序。在该情况下，能够得到更加难以产生压电元件的位置、保持角度的偏移并且难以受到噪声的影响的加速度检测装置。-专利技术效果-根据本专利技术，能够提供一种难以产生压电元件的位置、保持角度的偏移并且难以受到噪声的影响的加速度检测装置及其制造方法。附图说明图1中的(a)是本专利技术的第1实施方式所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图，图1中的(b)是从第1实施方式中的压电体的第1侧面一侧观察到的省略了第2封装构件的加速度检测装置的图，图1中的(c)是从第1实施方式中的压电体的第2侧面一侧观察到的省略了第2封装构件的加速度检测装置的图，图1中的(d)是沿着图1中的(a)的A-A线的省略了第2封装构件的加速度检测装置的剖视图。图2中的(a)是本专利技术的第1实施方式所涉及的加速度检测装置的立体图，图2中的(b)是第1实施方式所涉及的加速度检测装置的分解立体图。图3中的(a)～图3(d)是用于对第1实施方式所涉及的加速度检测装置的制造方法的一例进行说明的立体图。图4是本专利技术的第1实施方式的第1变形例所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图。图5中的(a)是本专利技术的第1实施方式的第2变形例所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图，图5中的(b)是沿着图5中的(a)的B-B线的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的剖视图。图6中的(a)是本专利技术的第1实施方式的第3变形例所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图，图6中的(b)是沿着图6中的(a)的C-C线的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的剖视图。图7中的(a)是本专利技术的第1实施方式的第4变形例所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图，图7中的(b)是从第1实施方式中的压电体的第2侧面一侧观察到的省略了第2封装构件的加速度检测装置的图。图8是本专利技术的第1实施方式的第5变形例所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构件的加速度检测装置的俯视图。图9中的(a)是本专利技术的第2实施方式所涉及的加速度检测装置的省略了第2封装构本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加速度检测装置，具备：压电元件，具有上表面以及下表面；片状的粘接剂，被设置于所述压电元件的所述下表面上；和第1封装构件，通过所述片状的粘接剂而接合有所述压电元件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.03.12 JP 2015-0498601.一种加速度检测装置，具备：压电元件，具有上表面以及下表面；片状的粘接剂，被设置于所述压电元件的所述下表面上；和第1封装构件，通过所述片状的粘接剂而接合有所述压电元件。2.根据权利要求1所述的加速度检测装置，其中，所述压电元件具有：压电体；和被设置于所述压电体上的第1、第2电极，所述压电体具有：上表面及下表面；第1侧面以及与该第1侧面对置的第2侧面。3.根据权利要求2所述的加速度检测装置，其中，所述第1电极被设置于所述压电体的所述第1侧面上，所述第2电极被设置于所述压电体的所述第2侧面上。4.根据权利要求2所述的加速度检测装置，其中，所述第1电极被设置于所述压电体的所述下表面上，所述第2电极被设置于所述压电体的所述上表面上。5.根据权利要求4所述的加速度检测装置，其中，所述压电元件具有：连接于所述第1电极并被设置于所述压电体的所述第1侧面的第1引出电极；和连接于所述第2电极并被设置于所述压电体的所述第2侧面的第2引出电极。6.根据权利要求1～5的任一项所述的加速度检测装置，其中，所述压电元件具有长度方向，所述上表面以及下表面在所述长度方向上延伸，所述压电元件通过所述片状的粘接剂而被固定，以使得该压电元件具有至少1个...

【专利技术属性】
技术研发人员：畠山扩才，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本,JP