用于剪切模式加速计的压电传感器元件制造技术

技术编号:16111966 阅读:43 留言:0更新日期:2017-08-30 05:20
一种压电剪切模式传感器元件包括由具有固有极化轴的压电材料制成的传感器块,其中,压电材料还是热电物质。传感器块在轴向方向上具有轴向端并且在与轴向方向垂直的横向方向上具有横向侧面。传感器电极被适配成用于捕获剪切模式传感器信号。传感器元件进一步包括被适配成局部改变和/或重新布置电荷的放电保护装置,以抵消在传感器块的横向侧面上的热电位移电荷。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于剪切模式加速计的压电传感器元件
一方面,本专利技术涉及一种用于剪切模式传感器设备的压电剪切模式传感器元件,传感器元件包括由具有固有极化轴的压电材料制成的传感器块,其中,压电材料还是热电物质,其中,传感器块在轴向方向上具有第一端和第二端,并且其中,传感器块在与轴向方向垂直的横向方向上具有横向侧面,传感器元件进一步包括被适配成用于捕获剪切模式传感器信号的传感器电极,其中,传感器电极包括布置在传感器块的第一端上的第一传感器电极和布置在传感器块的第二端上的第二传感器电极。又一方面,本专利技术涉及一种生产供剪切模式传感器设备使用的压电传感器元件的方法。就本专利技术的一个具体方面而言,传感器设备是加速计设备。
技术介绍
在从端用户设备至监控重工业装备范围内的各种各样应用中,加速计设备用于测量动态力学量。加速计设备的通常设计使用由压电材料制成的一个或多个传感器元件,传感器电极附接至该压电材料的相对面。压电材料的第一面与夹持到基部的第一端相关联,并且另一面与通常设置有测震质量(seismicmass,质量块)的第二端相关联。测震质量相对于基部的位移导致压电材料的变形,从而产生压电响应。传感器电极本文档来自技高网...
用于剪切模式加速计的压电传感器元件

【技术保护点】
一种用于剪切模式传感器设备的压电剪切模式传感器元件(101),所述传感器元件(101)包括:传感器块(102),由具有固有极化轴的压电材料制成,其中,所述压电材料还是热电物质,其中,所述传感器块(102)在轴向方向上具有轴向端(103,104),并且其中,所述传感器块(102)在垂直于所述轴向方向上的横向方向上具有横向侧面(105,106,107,108,110);和传感器电极(111,112),布置在所述传感器块(102)的所述轴向端(103,104)处,所述传感器电极被适配用于捕获剪切模式传感器信号;其中,所述传感器元件(101)进一步包括:放电保护装置(121,122),由包括自由带电体...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.12.11 EP 14197436.01.一种用于剪切模式传感器设备的压电剪切模式传感器元件(101),所述传感器元件(101)包括:传感器块(102),由具有固有极化轴的压电材料制成,其中,所述压电材料还是热电物质,其中,所述传感器块(102)在轴向方向上具有轴向端(103,104),并且其中,所述传感器块(102)在垂直于所述轴向方向上的横向方向上具有横向侧面(105,106,107,108,110);和传感器电极(111,112),布置在所述传感器块(102)的所述轴向端(103,104)处,所述传感器电极被适配用于捕获剪切模式传感器信号;其中,所述传感器元件(101)进一步包括:放电保护装置(121,122),由包括自由带电体的导电材料制成,所述放电保护装置由此被适配成响应于在所述传感器块(102)的横向侧面(105,106,107,108,110)上的热电位移电荷而局部改变和/或重新布置电荷,其中,所述放电保护装置(121,122)包括布置在所述传感器块(102)的第一横向侧面(105,106,107,108,110)上的至少第一保护电极,所述第一横向侧面(105,106,107,108,110)包括一表面法线,所述表面法线具有与所述固有极化轴平行的分量。2.根据权利要求1所述的传感器元件,其中,所述放电保护装置(121,122)进一步包括布置在所述传感器块的第二横向侧表面上的至少第二保护电极,所述第二横向侧面包括一表面法线,所述表面法线具有与所述固有极化轴反平行的分量。3.根据权利要求2所述的传感器元件,其中,所述放电保护装置(121,122)进一步包括将所述第一保护电极和所述第二保护电极彼此连接的电荷转移元件。4.根据权利要求3所述的传感器元件,其中,所述第一保护电极和所述第二保护电极与所述电荷转移元件整体形成。5.根据前述权利要求中任一项所述的传感器元件,其中,所述放电保护装置(121,122)包括应用在所述传感器块(102)的横向侧面(105,106,107,108,110)上的敷金属。6.根据权利要求5所述的传感器元件,其中,所述敷金属选自于铬、钛、镍、金、以及其合金构成的组。7.根据权利要求5所述的传感器元件,其中,所述敷金属选自于钯、铂、钌、铑、锇、铱、以及其合金构成的组。...

【专利技术属性】
技术研发人员:亨里克·英厄斯莱乌·乔根森瑟伦·安德森莫滕·基尔克隆
申请(专利权)人:布鲁尔及凯尔声音及振动测量公司
类型:发明
国别省市:丹麦,DK

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