惯性传感器制造技术

目的在于，在具备具有与角速度检测元件的共振频率同步的结构的角速度检测电路的惯性传感器中，实现用于角度检测的积分电路中的累计误差小的高精度角度输出。惯性传感器具有：角速度检测元件芯片(C1)，其具有用于角速度检测的机械结构；信号处理LSI芯片(C2)，其是用于从该角速度检测元件芯片(C1)检测角速度的角速度检测电路。信号处理LSI芯片(C2)通过在与所述角速度检测元件芯片(C1)的驱动频率同步的离散时间对从角速度检测元件芯片(C1)得到的信号进行采样，来计算倾斜角。

Inertial sensor

The purpose is to achieve high-accuracy angle output with small accumulative error in the integrated circuit for angle detection in inertial sensors equipped with angular velocity detection circuit with synchronous structure of angular velocity detection elements. The inertial sensor has an angular speed detection chip (C1), which has a mechanical structure for angular velocity detection. The signal processing LSI chip (C2) is an angular speed detection circuit for detecting angular velocity from the angular velocity detection chip (C1). The signal processing LSI chip (C2) calculates the inclination angle by sampling the signal obtained from the angular velocity detection chip (C1) by the discrete time synchronized with the driving frequency of the angular speed detection component chip (C1).

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】惯性传感器
本专利技术涉及惯性传感器，即角速度传感器、加速度传感器、以及通过其信号处理来计算角度的传感器。
技术介绍
作为使用被称为MEMS(MicroElectroMechanicalSystems，微电子机械系统)的半导体的细微加工技术进行制作的装置的应用例之一，有惯性传感器。由于使用半导体工艺来制作MEMS惯性传感器，因此能够并列制作大数量的检测元件。这种情况带来以前为高价格的惯性传感器的低价格化，并实现车载的惯性传感器。其中也具有检测车体的倾斜(倾斜度)的惯性传感器的应用。即，是检测车体的滚转倾斜和俯仰倾斜，并控制它们或运行安全装置来防止乘客受到伤害的安全装置的应用。一般来说，倾斜的检测方法有两种。第一个是根据重力在垂直方向始终为1g(9.8m/s2)，从加速度传感器的输出来计算反三角函数，并得到倾斜的方法。如果具有最低1轴的加速度传感器则能够实现该方法，由于反三角函数因倾斜的角度不同而产生的灵敏度差大(例如，对于Sin函数，在角度0度附近与角度变化相对的斜率较大，在±90度附近与角度变化相对的斜率变小)，所以，大多根据2轴的加速度传感器的比得到倾斜(斜率)。但是，在将上述方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种惯性传感器，其特征在于，该惯性传感器具有：角速度检测元件，其具有用于角速度检测的机械构造；以及角速度检测电路，其用于从所述角速度检测元件检测角速度，所述角速度检测电路按照与所述角速度检测元件的驱动频率同步的离散时间对从所述角速度检测元件得到的信号进行采样，由此来计算倾斜角。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.05.29 JP 2015-1104421.一种惯性传感器，其特征在于，该惯性传感器具有：角速度检测元件，其具有用于角速度检测的机械构造；以及角速度检测电路，其用于从所述角速度检测元件检测角速度，所述角速度检测电路按照与所述角速度检测元件的驱动频率同步的离散时间对从所述角速度检测元件得到的信号进行采样，由此来计算倾斜角。2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述角速度检测电路从所述角速度检测元件得到的信号是角速度。3.根据权利要求2所述的惯性传感器，其特征在于，所述角速度检测电路的动作时钟与所述角速度检测元件的驱动频率同步。4.根据权利要求3所述的惯性传感器，其特征在于，所述角速度检测电路计算倾斜角的信号处理是时间累计。5.根据权利要求4所述的惯性传感器，其特征在于，所述角速度检测元件的驱动频率是所述角速度检测元件的共振频率。6.根据权利要求4所述的惯性传感器，其特征在于，所述角速度检测元件的驱动频率是能够得到基于所述角速度检测元件的机械品质系数的增益的频率。7.根据权利要求5所述的惯性传感器，其特征在于，从所述角速度检测元件的驱动频率或者其倍增或分频得到的值被预先保存在所述角速度检测电路内的存储区域中，所述角速度检测电路利用保存于所述存储区域的值来计算倾斜角。8.根据权利要求7所述的惯性传感器，其特征在于，所述角速度检测电路在累计计算中所使用的角速度是作为角速度而输出的、经过LPF之前的信号。9.根据权利要求7所述的惯性传感器，其特征在于，对于所述角速度检测电路的累计计算，通过温度传感器进行修正。10.根据权利要求7所述的惯性传感器，其特征在于，对于所述角速度检测电路的累计计算，通过来自外部的重置信号来重置累计值。11.根据权利要求7所述的惯性传感器，其特征在于，对于所...

【专利技术属性】
技术研发人员：前田大辅，小埜和夫，林雅秀，
申请(专利权)人：日立汽车系统株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP