【技术实现步骤摘要】
一种石英玻璃燃烧器
本技术涉及一种石英玻璃燃烧器,属石英玻璃锭生产器械领域。
技术介绍
化学气相沉积技术(CVD)是一种常见工艺,是石英玻璃生产、试验过程中所采用的重要方法之一。燃烧器是生产工艺流程中的一个重要部件,通过使用燃烧器火焰分解成二氧化硅微粒,并沉积到绕自身纵向轴旋转的载体靶料面上。燃烧器设计的合理性直接影响沉积面温场分布,决定了二氧化硅粉料的得料率与沉积体的形态和质量,是合成粉料与保障石英玻璃生产的关键装置。目前,石英玻璃均是由四氯化硅等含硅的卤素原料通过化学气相沉积(CVD)、等离子化学气相沉积(PCVD)等直接法和间接法合成。而在传统工艺以四氯化硅为原料合成二氧化硅粉料或石英玻璃的生产工艺中,产生大量的氯化氢或氯气气体,不仅对生产设备造成腐蚀,产生有害气体泄漏威胁环境,还给企业的尾气处理设备带来较大压力,大大提高了生产成本,同时在合成石英玻璃含有相当数量的的氯,从而影响合成石英玻璃在高强紫外激光中的应用。在另一方面,由于现有燃烧器的结构原因,致使其在工作时气体的流速分布不均匀;燃烧效率低,直接影响下一步合成石英玻璃的质量,无法满足国防科技的需要。专 ...
【技术保护点】
一种石英玻璃燃烧器,它由下料管(1)、氧气储仓(2)、氢气储仓(3)和原料仓(4)构成,其特征在于:氧气储仓(2)上设置有氢气储仓(3),氧气储仓(2)的顶部设置有原料仓(4),原料仓(4)的底部设置有多个下料管(1),下料管(1)的一端与原料仓(4)连通,下料管(1)的另一端穿过氧气储仓(2)延伸至氢气储仓(3)内,下料管(1)外围的氧气储仓(2)底部设置有多个灯芯管(5),灯芯管(5)与氧气储仓(2)连通,与各灯芯管(5)和下料管(1)端口对应的氢气储仓(3)底部设置有燃烧孔(6)。
【技术特征摘要】
1.一种石英玻璃燃烧器,它由下料管(1)、氧气储仓(2)、氢气储仓(3)和原料仓(4)构成,其特征在于:氧气储仓(2)上设置有氢气储仓(3),氧气储仓(2)的顶部设置有原料仓(4),原料仓(4)的底部设置有多个下料管(1),下料管(1)的一端与原料仓(4)连通,下料管(1)的另一端穿过氧气储仓(2)延伸至氢气储仓(3)内,下料管(1)外围的氧气储仓(2)底部设置有多个灯芯管(5),灯芯管(5)与氧气储仓(2)连通,与各灯芯管(5)和下料管(1)端口对应的氢气储仓...
【专利技术属性】
技术研发人员:张国君,李得军,王巍,吴学民,张寒,陈银,
申请(专利权)人:湖北菲利华石英玻璃股份有限公司,
类型:新型
国别省市:湖北,42
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