一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置，包括微波等离子体源，微波等离子体源装入不同形式的真空室内，构成不同形式的远程微波等离子体装置，微波等离子体源由微波腔、产生等离子体的介质容器和产生微波的磁控管及其供电电源组成，微波腔由矩形波导制成，在矩形波导一端离短路板距离为λg/4处，磁控管的天线在圆孔中心伸入矩形波导，磁控管的天线距这一端的短路板18.6mm，介质管的一端接装有进气口的法兰，与介质管通过O形胶圈形成真空密封连接。用本远程微波等离子体装置可进行多种物件的表面处理，可使得物件表面变得更加光滑，产量增加，对水的接触角从未处理的115°减少到85°。

A microwave plasma source and a remote microwave plasma device

The utility model discloses a microwave plasma source and remote microwave plasma device, including microwave plasma source, vacuum microwave plasma source into different forms, different forms of remote microwave plasma device, microwave plasma source micro wave medium vessel cavity, the plasma generation and produce microwave magnetron and its power supply source, microwave cavity made of rectangular waveguide in rectangular waveguide end from the short circuit board distance lambda g/4, magnetron antenna into the rectangular waveguide in the center hole, short circuit board 18.6mm magnetron antenna from the end of the end of the dielectric tube is connected with the inlet flange, the O rubber ring to form a vacuum tube is sealed and connected with the media. The remote microwave plasma device can be used for surface treatment of various objects. It can make the surface of objects become smoother and the output increase. The contact angle of water has never been processed to 115 degrees to 85 degrees.

【技术实现步骤摘要】
一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置
本技术涉及一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置。
技术介绍
我国有丰富的牦牛毛资源，其纤维弹性好，有羊绒感，手感柔软、细腻、滑爽，而且价格低，在结构与性能上与羊毛相似，有很高的经济价值。但由于牦牛毛表面鳞片结构比羊毛更密集突出，在表面形成了疏水层，导致对染料的吸附上染具有阻碍作用，给牦牛毛的开发及应用带来了困难“3。目前国内外对牦牛毛的表面改性多采用化学腐蚀法(主要有甲酸法、尿素法、溶剂法及特种氧化还原法等)，通过化学试剂与牦牛毛鳞片层的化学反应将鳞片结构破坏并逐步消除，以达提高上染率、改善染色性能的目的。这些方法虽然在解决牦牛毛染色问题上有显著成效，但大多存在工艺复杂、成本高、公害严重等弊病，另外若工艺控制不好还将严重损伤纤维结构及性能，因而不宜推广应用于工业化生产。所以人们期待一种简单有效、低成本、环保无公害的改性方法，即不破坏牦牛毛纤维自身的结构及性能，又能合理削弱表面鳞片层，彻底提升牦牛毛达纤维的可染性。目前，等离子体技术作为一项新颖的加工技术在材料表面改性及加工、高分子材料合成、医疗卫生、生态环境等领域有着广泛应用、并很快渗透到本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置，其特征在于：包括微波等离子体源，微波等离子体源装入不同形式的真空室内，构成不同形式的远程微波等离子体装置，微波等离子体源由微波腔、产生等离子体的介质容器和产生微波的磁控管及其供电电源组成，微波腔由矩形波导制成，在矩形波导一端离短路板距离为λg/4处，有介质制成的管穿过H面，矩形波导的另一端的H面的中轴线上开一个圆孔安装磁控管，磁控管的天线在圆孔中心伸入矩形波导，磁控管的天线距这一端的短路板18.6mm，介质管的一端接装有进气口的法兰，与介质管通过O形胶圈形成真空密封连接，进气口通过O形胶圈与气路系统的输气管道相连接，介质管的另一端通过密封法兰和O形胶圈...

【技术特征摘要】
1.一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置，其特征在于：包括微波等离子体源，微波等离子体源装入不同形式的真空室内，构成不同形式的远程微波等离子体装置，微波等离子体源由微波腔、产生等离子体的介质容器和产生微波的磁控管及其供电电源组成，微波腔由矩形波导制成，在矩形波导一端离短路板距离为λg/4处，有介质制成的管穿过H面，矩形波导的另一端的H面的中轴线上开一个圆孔安装磁控管，磁控管的天线在圆孔中心伸入矩形波导，磁控管的天线距这一端的短路板18.6mm，介质管的一端接装有进气口的法兰，与介质管通过O形胶圈形成真空密封连接，进气口通过O形胶圈与气路系统的输气管道相连接，介质管的另一端通过密封法兰和O形胶圈与真空室形成真空密封连接。2.如权利要求1所述的微波等离子体源和远程微波等离子体装置，其特征在于：矩形波导内腔H面的中轴线上，距离靠近介质管的短路板1/2～5/8λ...

【专利技术属性】
技术研发人员：邬钦崇，邬明旭，全峰，
申请(专利权)人：深圳优普莱等离子体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44