一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置制造方法及图纸

一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置，属于等离子体技术领域，用于在基材表面制备聚合物涂层。该装置中固定金属直杆通过绝缘基座沿真空室轴向等间距固定连接在真空室内壁上，固定金属直杆经导线串联连接构成固定电极；转动金属直杆沿真空室轴向等间距固定连接在金属转架上，构成转动电极；固定电极连接高频电源输出端，转动电极接地。工作时，开启高频电源使之连续输出高频功率，并使转动电极转动。转动电极的周期性靠近和远离固定电极，从而产生周期性燃灭的等离子体。本实用新型专利技术的高频电源不需要脉冲调制，结构简单、价格低、调试容易；等离子体稳定性好；放电电极结构和加工装配精度要求较低，工艺重复性好。

A plasma initiating polymerization device with a fixed electrode group

A plasma initiating polymerization device with a fixed electrode group, which belongs to the plasma technical field, is used to prepare a polymer coating on the substrate surface. The device is fixed with a metal bar insulation base along the axial spacing vacuum chamber is fixedly connected with the vacuum chamber wall through the fixed metal straight rod through conducting wires are connected to form a fixed electrode; rotating metal straight rod along the axial spacing of vacuum chamber is fixedly connected with the rotating metal frame, a rotating electrode; a fixed electrode connected to the power supply output end of rotating grounding electrode. When working, the high frequency power is opened to make it continuously output high frequency power and turn the rotating electrode. The periodicity of the rotating electrode is close to and away from the fixed electrode, thus producing the plasma which is periodically burned out. The high-frequency power supply of the utility model does not need pulse modulation, and has the advantages of simple structure, low price, easy debugging, good plasma stability, low discharge electrode structure and assembly accuracy requirement, and good process repeatability.

【技术实现步骤摘要】
一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置
本技术属于等离子体
，具体涉及一种等离子体引发聚合装置。
技术介绍
等离子体聚合是利用放电把有机类气态单体等离子体化，使其产生各类活性种，由这些活性种之间或活性种与单体之间进行加成反应形成聚合物的方法。等离子体聚合可分为等离子体态聚合和等离子体引发聚合两种形式，它们的区别是：等离子体态聚合整个反应过程中单体完全暴露于等离子体环境，而等离子体引发聚合中气体只在短时间内通过辉光放电形成的等离子体，使单体蒸汽发生气相反应生成活性中心，引发单体蒸汽在长时间无等离子体的后续过程中进行聚合反应。与等离子体态聚合产物存在结构复杂，反应重现性差，处理效果随时间衰减的问题相比，等离子体引发聚合方式可以较少破坏单体的结构，保留单体优良性能，使聚合产物结构较为单一，易于形成线性大分子产物；另一方面，通过与材料表面发生接枝反应，能够增强表面的附着力，使涂层效果不随时间衰减。可见，实现等离子体引发聚合的必要条件是等离子体周期性的燃灭过程。现有的等离子体引发聚合技术是通过脉冲调制高频辉光放电实现的，例如文献《表面涂层》(CN1190545C)公开了一种疏水和/或疏本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置，其特征在于：该装置包括真空室(1)、固定电极、转动电极；所述真空室上安装有载体气体和单体蒸汽管路(9)及排气管(10)，待处理的基材(8)放置于真空室内转动电极围成的空间内；所述固定电极包括一组固定金属直杆(2)、一组绝缘基座(3)和导线(4)，固定金属直杆(2)通过绝缘基座沿真空室轴向等间距固定连接在真空室内壁上，固定金属直杆(2)经导线串联连接构成固定电极；所述转动电极包括一组转动金属直杆(5)和金属转架(6)，所述金属转架的旋转轴与真空室的中心轴同轴，金属转架可绕旋转轴转动；所述转动金属直杆(5)沿真空室轴向等间距固定连接在金属转架上，构成转动电...

【技术特征摘要】
1.一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置，其特征在于：该装置包括真空室(1)、固定电极、转动电极；所述真空室上安装有载体气体和单体蒸汽管路(9)及排气管(10)，待处理的基材(8)放置于真空室内转动电极围成的空间内；所述固定电极包括一组固定金属直杆(2)、一组绝缘基座(3)和导线(4)，固定金属直杆(2)通过绝缘基座沿真空室轴向等间距固定连接在真空室内壁上，固定金属直杆(2)经导线串联连接构成固定电极；所述转动电极包括一组转动金属直杆(5)和金属转架(6)，所述金属转架的旋转轴与真空室的中心轴同轴，金属转架可绕旋转轴转动；所述转动金属直杆(5)沿真空室轴向等间距固定连接在金属转架上，构成转动电极；所述固定电极与转动电极构成定转电极组。2.根据权利要求1所述的一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置，其特征在于：所述真空室侧部的室体内壁任一横截面为相同直径的圆或相同边长的正多边形，所述正多边形边数至少为6边；所述真空室的顶盖和底盖为与真空室的侧部室体内壁横截面匹配的平板或拱形结构。3.根据权利要求1所述的一种带有定转电极组的等离子体引发聚合装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗坚，
申请(专利权)人：无锡荣坚五金工具有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32