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本实用新型公开了一种微波等离子体源和远程微波等离子体装置，包括微波等离子体源，微波等离子体源装入不同形式的真空室内，构成不同形式的远程微波等离子体装置，微波等离子体源由微波腔、产生等离子体的介质容器和产生微波的磁控管及其供电电源组成，微波腔...
该专利属于深圳优普莱等离子体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳优普莱等离子体技术有限公司授权不得商用。

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