The utility model relates to the technical field of material desorption rate testing device for accelerator, in particular to a multi target desorption rate testing device under extreme vacuum environment. Which is characterized by comprising a bracket, wherein the bracket is installed on the high precision ball screw and the supporting shaft and supporting shaft arranged in the corrugated tube, a sliding plate installation of precision ball screw, the sliding plate end is sheathed on the support shaft and is connected with the corrugated pipes, the supporting shaft end of the fixed block and the target frame is connected with the target the other end of the supporting shaft double flange and rotary actuator connected to the rotary drive motor is connected through the coupling with the first rotary actuator connector; high precision ball screw end of the motor is connected through the coupling with the radial drive second. It has solved 10
【技术实现步骤摘要】
一种多样靶材解吸率测试装置
本技术涉及用于加速器的材料解吸率测试装置
,尤其是涉及一种极高真空环境下的多样靶材解吸率测试装置。
技术介绍
在加速器领域中束流寿命与真空度有密切的关系,尤其是强流重离子加速器对系统真空度有更高的要求,但是束流与真空管壁碰撞进而从腔体表面解吸出一定数量的分子和离子,解吸出的粒子会破坏系统真空度,为了降低由于粒子解吸引起的动态真空的变化,通常将束流损失尽可能地限制在某些局部区域,并在该区域安装束流准直器来吸收这些无法避免损失的离子。加速器中安装准直器的前提是确定材料的解吸率,通过测量不同镀膜厚度和不同处理工艺的多种靶材找出一种低解吸率材料,才能有效降低由于束流损失引起的动态真空度的变化。解吸率的测试需在极高真空环境下进行,由加速器产生的束流轰击在靶材上,通过记录真空度的变化、泵的抽速、碰撞粒子数等来计算该材料的解吸率。目前真空运动馈入只能实现高真空状态下径向运动馈入,而无法实现10-9Pa极高真空状态下高精度径向运动及其旋转运动馈入,这就限制了每次测试放置的靶材种类以及靶材与束流之间的角度。更换靶材时需要对靶室重新抽真空,抽真空时加速器并没有得到利用,测试不同靶材及不同角度下的解吸率时需要频繁的放气、烘烤、抽真空,增加了操作次数且降低了加速器的利用率。此外频繁的放气导致对靶室的烘烤除气效果越来越差,很难再次达到极高真空状态。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术的不足提供一种用于10-9Pa真空环境下多样靶材解吸率测试装置。从而有效解决现有技术中的问题。为实现上述目的,本技术采取的技术方案为:所述的一种多样靶材解吸率测试装置, ...
【技术保护点】
一种多样靶材解吸率测试装置,其特征是包括支架,所述的支架上安装有高精度滚珠丝杠和支撑轴,支撑轴内置于用于实现运动过程真空密封的可伸缩波纹管内,高精度滚珠丝杠上安装有滑动板,滑动板端部套设在支撑轴上并与波纹管相连,支撑轴一端通过靶材固定块与靶材架相接,支撑轴另一端通过双面法兰与旋转驱动器相连,旋转驱动电机通过第一联轴器与旋转驱动器转接件相连;所述的高精度滚珠丝杠通过第三轴承和第四轴承安装在上固定板和底座上,上固定板和底座一侧设置有第一侧板和第二侧板,高精度滚珠丝杠端部通过第二联轴器与径向驱动电机相连。
【技术特征摘要】
1.一种多样靶材解吸率测试装置,其特征是包括支架,所述的支架上安装有高精度滚珠丝杠和支撑轴,支撑轴内置于用于实现运动过程真空密封的可伸缩波纹管内,高精度滚珠丝杠上安装有滑动板,滑动板端部套设在支撑轴上并与波纹管相连,支撑轴一端通过靶材固定块与靶材架相接,支撑轴另一端通过双面法兰与旋转驱动器相连,旋转驱动电机通过第一联轴器与旋转驱动器转接件相连;所述的高精度滚珠丝杠通过第三轴承和第四轴承安装在上固定板和底座上,上固定板和底座一侧设置有第一侧板和第二侧板,高精度滚珠丝杠端部通过第二联轴器与径向驱动电机相连。2.如权利要求1所述的一种多样靶材解吸率测试装置,其特征在于:所述的支撑轴上通过第一轴承和第二轴承安装有支撑管,支撑管上通过导向套安装有转接管,所述的第一联轴器通过旋转驱动器转接件与旋转驱动器相连,所述的旋转驱动电机通过...
【专利技术属性】
技术研发人员:罗成,谢文君,蒙峻,李朋,李敏,柴振,
申请(专利权)人:中国科学院近代物理研究所,
类型:新型
国别省市:甘肃,62
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