下载一种多样靶材解吸率测试装置的技术资料

文档序号:16873425

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本实用新型涉及用于加速器的材料解吸率测试装置技术领域,尤其是涉及一种极高真空环境下的多样靶材解吸率测试装置。其特点是包括支架,所述的支架上安装有高精度滚珠丝杠和支撑轴,支撑轴内置于波纹管内,高精度滚珠丝杠上安装有滑动板,滑动板端部套设在支撑...
该专利属于中国科学院近代物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院近代物理研究所授权不得商用。

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