The utility model provides an enhanced MEMS image sensor pixel structure, including micro bridge, pier and substrate, the micro bridge including bridge and bridge, the bridge deck is fixed on the substrate through the bridge and pier, and the electrical signal is generated on the deck is transferred to the readout circuit substrate by the pier, the cross section of the bridge arm for T type reinforcing structure. The bridge arm of the utility model adopts the T type reinforcement structure, and the structural improvement of the bridge arm can significantly improve the impact resistance of the pixel, and is suitable for the professional field which needs high impact tolerance.
【技术实现步骤摘要】
一种加强型结构的MEMS图像传感器像元
本技术涉及图像传感器
,特别涉及一种加强型结构的MEMS图像传感器像元。
技术介绍
非制冷的红外热成像传感器和THz成像传感器具备不可替代的应用功能,市场前景较好,且具有价格低、体积小、功耗低、可靠高、操作方便等优点。随着微电子和微机械加工MEMS技术的逐步发展,非制冷红外热成像传感器和THz成像传感器的这些优势被进一步强化,成为高科技
发展的热点之一。参见图1和图2,是典型的红外热成像传感器10的像元结构,包括微桥11、桥墩12和衬底13,所述微桥11包括桥面111和桥臂112,所述桥面111通过桥臂112连接至桥墩12上,所述微桥11通过桥墩12固定在衬底13上,并通过桥墩12中的引线将桥面111上产生的电信号传递至衬底13上的读出电路,从而检测出电流或电阻的变化,最终实现对红外辐射的探测,进而成像。在上述现有技术中,所述桥臂112为平面直角形状,桥墩12则为空心圆柱体形状,这种造型结构会导致红外图像传感器像元耐冲击能力较弱,仅能够承受100g的力学冲击,无法应用到需要高冲击耐受力的专业领域。
技术实现思路
为了解决上述问题,本技术从结构出发,提供一种加强型图像传感器像元,能够有效提高像元耐冲击性能。本技术采用的技术方案为:一种加强型结构的MEMS图像传感器像元,包括微桥、桥墩和衬底,所述微桥包括桥面和桥臂,所述桥面通过桥臂和桥墩固定在衬底上,并通过桥墩将桥面上产生的电信号传递至衬底上的读出电路,所述桥臂的横截面为T型加强结构。优选地,所述桥臂由金属或金属合金和外保护层组成。优选地,所述金属合金为钛合金,所述 ...
【技术保护点】
一种加强型结构的MEMS图像传感器像元,包括微桥、桥墩和衬底,所述微桥包括桥面和桥臂,所述桥面通过桥臂和桥墩固定在衬底上,并通过桥墩将桥面上产生的电信号传递至衬底上的读出电路,其特征在于:所述桥臂的横截面为T型加强结构。
【技术特征摘要】
1.一种加强型结构的MEMS图像传感器像元,包括微桥、桥墩和衬底,所述微桥包括桥面和桥臂,所述桥面通过桥臂和桥墩固定在衬底上,并通过桥墩将桥面上产生的电信号传递至衬底上的读出电路,其特征在于:所述桥臂的横截面为T型加强结构。2.根据权利要求1所述的一种加强型结构的MEMS图像传感器像元,其特征在于:所述桥臂由金属或金属合金和外保护层组成。3.根据权利要求2所述的一种加强型结构的MEMS图像传感器像元,其特征在于:所述金属合金为钛合金,所述外保护层为氮化硅。4.根据权利要求1所述的一种加强型结构的MEMS图像传感器像元,其特征在于:...
【专利技术属性】
技术研发人员:赵照,
申请(专利权)人:合肥芯福传感器技术有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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