下载一种加强型结构的MEMS图像传感器像元的技术资料

文档序号:16845194

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型提供一种加强型结构的MEMS图像传感器像元,包括微桥、桥墩和衬底,所述微桥包括桥面和桥臂,所述桥面通过桥臂和桥墩固定在衬底上,并通过桥墩将桥面上产生的电信号传递至衬底上的读出电路,其中,所述桥臂的横截面为T型加强结构。本实用新型的...
该专利属于合肥芯福传感器技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过合肥芯福传感器技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。