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用于显示器与触控面板的超细铜质网线及其制造方法技术

技术编号:16818094 阅读:52 留言:0更新日期:2017-12-16 11:15
本发明专利技术提供了一种用于显示器与触控面板的超细铜质网线及其制造方法,包括一透明基板,具有一上表面及相对于上表面的一下表面;以及一第一铜质电极层,包括一第一纯铜镀膜,具有一顶面及相对于顶面的一底面,第一纯铜镀膜的底面是配置于透明基板的上表面上;以及一第一抗反射导电薄膜,配置于第一纯铜镀膜的顶面上,第一抗反射导电薄膜包括氧化亚铜;在第一抗反射导电薄膜进行一曝光显影制程之后,第一铜质电极层的第一纯铜镀膜及第一抗反射导电薄膜同时由一过蚀刻制程而在透明基板上一并形成至少一网线;通过本技术方案,可达到低成本制造程序获得与高成本制造程序相同的生产质量,且降低了显示器与触控面板使用时的反光,提升了使用舒适度。

Superfine copper wire for display and touch panel and its manufacturing method

The present invention provides a method for display and touch panel of ultrafine copper cable and its manufacturing method, which comprises a transparent substrate having an upper surface and a lower surface relative to the upper surface; and a first copper electrode layer comprises a first copper coating, with a top surface and a bottom surface relative to the top surface, the first copper coating the bottom surface is arranged on the upper surface of the transparent substrate; and a first conductive antireflection film, the top surface of the copper coating is arranged on the first, the first anti reflection conductive film comprises a cuprous oxide; after exposure and development process in the first anti reflective films, the first copper electrode layer first and the first anti copper coating at the same time reflected by a conductive film etching process on a transparent substrate together to form at least one cable; by the technology scheme can achieve low cost system The program gets the same quality of production as the high cost manufacturing process, and reduces the reflector when the display and touch panel is used, and improves the use of comfort.

【技术实现步骤摘要】
用于显示器与触控面板的超细铜质网线及其制造方法
本专利技术涉及一种应用于显示器与触控面板的铜质网线及其制造方法,尤其涉及一种兼具高透光、低反射特性应用于显示器与触控面板的超细铜质网线及其制造方法。
技术介绍
在1960年,美商RCA公司(RadioCorporationofAmericaCorporation)的Heilmeier等人开发出了液晶显示器,开创了数字化显示的新纪元,由于液晶显示器具有轻薄、便携、低功耗等优点,因此随着各类数字电子产品的蓬勃发展而被一并地大量制造。到了1970年,人们发展出了可以判断位置的触控技术,让人们可以由按压位置来输入特定信息;参阅美国专利证字第US3662105号的Electricalsensorofplanecoordinates,其公开了透过交错配置两个呈相互垂直方向的电场,可在触控感应时由交错位置的信号差异辨识出触控所指的位置,以达到触控的效果;此后,随着显示与触控技术的进步,人们发觉可借助液晶显示器的轻薄的特点将其与触控技术作结合;尤其在1994年,美商IBM(InternationalBusinessMachinesCorporation)发表了具有触控显示屏幕的手机,进一步带动了具有触控功能的显示面板在各类可携式电子产品中的发展。然而,已知技术的触控显示屏幕,其显示器模块(LCM)或触控面板(TP)所采用的不透明电极将影响整体透明出光的开口率(ApertureRatio),使其达成所需照度的功率难以降低;并且,其电极的线径宽度与从事半导体生产制造的黄光微影制程(Lithography)有关系,由于线径宽度越小所需的曝光光源与模具等装置的精密度越高,因此生产设备与成本越高,且越精密所相差的成本差距越高,对于生产制造触控显示屏幕的业者而言必须在开口率及生产制造成本中取一平衡;另一方面,不透明电极的材料一般为金属材料所构成,其对于自然光线具有相当程度的反射率,尤其是在其线径宽度不够小及/或在大角度视角使用时,容易造成使用前述的触控显示屏幕时受到不透明电极的反光,影响观看及触控操作上的舒适度。因此,本专利技术的技术方案提出一超细铜质网线,其通过低成本的制造方式而获得与高成本的生产质量相同的线径宽度,且其具有防止反射自然光线于人眼的功能,为目前业内亟欲解决的技术问题。
技术实现思路
鉴于前述的已知技术的缺点,本专利技术的主要目的在于提供一种用于显示器与触控面板的超细铜质网线及其制造方法,其通过低成本的制造方式而获得与高成本的生产质量相同的线径宽度,且其具有防止反射自然光线于人眼的功能,以达到兼顾低成本与高生产质量,且提升使用舒适度的目的。为了达到前述目的及其他目的,本专利技术的用于显示器与触控面板的超细铜质网线包括一透明基板,该透明基板具有一上表面及相对于该上表面的一下表面;以及一第一铜质电极层,该第一铜质电极层包括一第一纯铜镀膜,该第一纯铜镀膜具有一顶面及相对于该顶面的一底面,其中,该第一纯铜镀膜的该底面是配置于该透明基板的该上表面上;以及一第一抗反射导电薄膜,该第一抗反射导电薄膜配置于该第一纯铜镀膜的该顶面上,其中,该第一抗反射导电薄膜包括氧化亚铜;其中,在该第一抗反射导电薄膜进行一曝光显影制程之后,该第一铜质电极层的该第一纯铜镀膜及该第一抗反射导电薄膜同时由一过蚀刻制程而在该透明基板上一并形成至少一网线。较佳地,该第一抗反射导电薄膜是在该第一纯铜镀膜表面上形成一氧化层,并由一表面处理去除该氧化层中氧化亚铜以外的物质而形成。较佳地,该第一铜质电极层还包括一氧化铜复合物薄膜,该氧化铜复合物薄膜包括氧化铜与氧化亚铜,且配置于该第一纯铜镀膜的该底面与该透明基板的该上表面之间,以及该氧化铜复合物薄膜、该第一纯铜镀膜及该第一抗反射导电薄膜同时由该过蚀刻制程而在该透明基板上一并形成该至少一网线。较佳地,还包括一第二铜质电极层,该第二铜质电极层包括一第二纯铜镀膜及一第二抗反射导电薄膜,其中,该第二纯铜镀膜具有一顶面及相对于该顶面的一底面,该第二纯铜镀膜的该底面是配置于该透明基板的该下表面上;该第二抗反射导电薄膜是配置于该第二纯铜镀膜的顶面上,并包括氧化亚铜,且与该第二纯铜镀膜电性连接,其中,该第一铜质电极层的该第一纯铜镀膜、该第一抗反射导电薄膜及该第二铜质电极层的该第二纯铜镀膜、该第二抗反射导电薄膜同时由该过蚀刻制程而在该透明基板上一并形成该至少一网线。较佳地,该透明基板包括玻璃、聚对苯二甲酸乙二酯(Polyethyleneterephthalate,PET)、聚碳酸酯(Polycarbonate,PC)、聚酸甲酯(Polymethylmethacrylate,PMMA)、蓝宝石(Sapphire)、三醋酸纤维素(Tri-celluloseAcetate,TCA)、环烯烃聚合物(CycloOlefinCopolymer,COC)、聚亚酰胺(Polyimide,PI)的其中之一。较佳地,该纯铜镀膜是由蒸镀法、溅镀法、溅镀后电镀的其中之一沉积在该透明基板上。为了达到前述目的及其他目的,本专利技术的用于显示器与触控面板的超细铜质网线的制造方法包括一纯铜镀膜步骤,是在一透明基板上镀上一纯铜镀膜;一纯铜氧化步骤,是使该纯铜镀膜的表面上形成一氧化层;一表面处理步骤,是将该氧化层进行一表面处理以去除该氧化层中氧化亚铜以外物质,而形成一抗反射导电薄膜;一曝光显影步骤,是在该抗反射导电薄膜上涂布一光阻(PR),且对该光阻(PR)曝光显影,以形成一网线;一过度蚀刻步骤,是由一过蚀刻制程使该纯铜镀膜及该抗反射导电薄膜在该透明基板上一并形成该网线;以及一光阻(PR)去除步骤,是将该抗反射导电薄膜上的该光阻(PR)去除。较佳地,在该纯铜镀膜步骤中,在该透明基板上的相对两表面上分别镀上该纯铜镀膜,且两表面上的该纯铜镀膜同时进行该纯铜氧化步骤、该表面处理步骤、该曝光显影步骤、该过度蚀刻步骤及该光阻(PR)去除步骤。较佳地,还包括一接面氧化步骤,是在该纯铜镀膜步骤之前,在该纯铜镀膜与该透明基板之间配置一氧化铜复合物薄膜。较佳地,该透明基板包括玻璃、聚对苯二甲酸乙二酯(Polyethyleneterephthalate,PET)、聚碳酸酯(Polycarbonate,PC)、聚酸甲酯(Polymethylmethacrylate,PMMA)、蓝宝石(Sapphire)、三醋酸纤维素(Tri-celluloseAcetate,TCA)、环烯烃聚合物(CycloOlefinCopolymer,COC)、聚亚酰胺(Polyimide,PI)的其中之一。本专利技术的超细铜质网线的该第一铜质电极层是通过该过蚀刻制程而形成于该透明基板上,由于该过蚀刻制程可获得较曝光显影时较细且较薄的网线,而不受限于该曝光显影制程时的光罩的特征尺寸(featuresize),因此可使用成本较低廉的曝光显影制程而获得与高成本曝光显影制程相同生产质量的线径宽度;另一方面,由于该第一纯铜镀膜的顶面上配置有该第一抗反射导电薄膜,其具有导电性且具有防止反射自然光线于人眼的功能;由此,本专利技术的超细铜质网线可应用于显示器与触控面板,以达到由低成本获得与高成本相同的生产质量,且降低使用时的反光而提升使用舒适度的目的。附图说明图1与图2是本专利技术的用于显示器与触控面板的本文档来自技高网
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用于显示器与触控面板的超细铜质网线及其制造方法

【技术保护点】
一种用于显示器与触控面板的超细铜质网线,其特征在于,包括:一透明基板,所述透明基板具有一上表面及相对于所述上表面的一下表面;以及一第一铜质电极层,所述第一铜质电极层包括:一第一纯铜镀膜,所述第一纯铜镀膜具有一顶面及相对于所述顶面的一底面,所述第一纯铜镀膜的所述底面是配置于所述透明基板的所述上表面上;以及一第一抗反射导电薄膜,所述第一抗反射导电薄膜配置于所述第一纯铜镀膜的所述顶面上,所述第一抗反射导电薄膜包括氧化亚铜;在所述第一抗反射导电薄膜进行一曝光显影制程之后,所述第一铜质电极层的所述第一纯铜镀膜及所述第一抗反射导电薄膜同时由一过蚀刻制程而在所述透明基板上一并形成至少一网线。

【技术特征摘要】
2016.06.07 TW 1051179961.一种用于显示器与触控面板的超细铜质网线,其特征在于,包括:一透明基板,所述透明基板具有一上表面及相对于所述上表面的一下表面;以及一第一铜质电极层,所述第一铜质电极层包括:一第一纯铜镀膜,所述第一纯铜镀膜具有一顶面及相对于所述顶面的一底面,所述第一纯铜镀膜的所述底面是配置于所述透明基板的所述上表面上;以及一第一抗反射导电薄膜,所述第一抗反射导电薄膜配置于所述第一纯铜镀膜的所述顶面上,所述第一抗反射导电薄膜包括氧化亚铜;在所述第一抗反射导电薄膜进行一曝光显影制程之后,所述第一铜质电极层的所述第一纯铜镀膜及所述第一抗反射导电薄膜同时由一过蚀刻制程而在所述透明基板上一并形成至少一网线。2.如权利要求1所述的用于显示器与触控面板的超细铜质网线,其特征在于,所述第一抗反射导电薄膜是在所述第一纯铜镀膜表面上形成一氧化层,所述氧化层由一表面处理去除所述氧化层中氧化亚铜以外的物质而形成。3.如权利要求1所述的用于显示器与触控面板的超细铜质网线,其特征在于,所述第一铜质电极层还包括一氧化铜复合物薄膜,所述氧化铜复合物薄膜包括氧化铜与氧化亚铜,且配置于所述第一纯铜镀膜的所述底面与所述透明基板的所述上表面之间,所述氧化铜复合物薄膜、所述第一纯铜镀膜及所述第一抗反射导电薄膜同时由所述过蚀刻制程而在所述透明基板上一并形成所述至少一网线。4.如权利要求1所述的用于显示器与触控面板的超细铜质网线,其特征在于,还包括一第二铜质电极层,所述第二铜质电极层包括:一第二纯铜镀膜及一第二抗反射导电薄膜,所述第二纯铜镀膜具有一顶面及相对于所述顶面的一底面,所述第二纯铜镀膜的所述底面是配置于所述透明基板的所述下表面上;所述第二抗反射导电薄膜是配置于所述第二纯铜镀膜的顶面上,并包括氧化亚铜,且与所述第二纯铜镀膜电性连接,所述第一铜质电极层的所述第一纯铜镀膜、所述第...

【专利技术属性】
技术研发人员:许铭案
申请(专利权)人:许铭案
类型:发明
国别省市:中国台湾,71

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