一种MO源钢瓶专用的残留物处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种MO源钢瓶专用的残留物处理装置，包括：氮气泵，所述氮气泵的出口端设有氮气控制阀，所述氮气控制阀远离氮气泵的一侧设有烘箱，所述烘箱底部设有多个MO源钢瓶放置槽，所述MO源钢瓶放置槽的上方两侧均设有阀门，所述氮气控制阀的出口端通过连接管与烘箱内阀门连通；所述烘箱远离氮气泵的一侧设有三通阀门，所述三通阀门上端出口端通过连接管与接收罐连通。本实用新型专利技术通过氮气泵往MO源钢瓶中通入惰性气体，利用气压将残留的MO源排入接收罐内，节约了资源，再利用真空泵与烘箱作用把MO源钢瓶以及连接管中剩余的产品抽到冷阱中，使MO源钢瓶中的残留物处理率达到98％以上，保证了续水清洗MO源钢瓶的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种MO源钢瓶专用的残留物处理装置
本技术涉及残留物处理设备
，尤其涉及一种MO源钢瓶专用的残留物处理装置。
技术介绍
“MO源”即高纯金属有机化合物，或叫化合物半导体微结构材料，是先进的金属有机化学气相沉积(简称MOCVD)、金属有机分子束外延(简称MOMBE)等技术生长半导体微结构材料的支撑材料，其优异的电学、光学和磁学等性能，可将半导体和集成电路推向更高的频率、更快的速度、更低的噪音和更大的功率。半导体微结构材料技术的发展状况是衡量一个国家电子信息技术发展水平的重要标志。在我国MO源已被大量用于LED、太阳能电池、航空航天技术等多个领域，是一项高新材料生产技术。目前，全世界能掌握MO源生产技术的生产企业只有四家，其中三家在美国，一家在中国。MO源钢瓶是MO源的重要包装物，待MOCVD使用完MO源后，在对空的MO源钢瓶进行充装时，须首先对其内部进行残留物处理，由于MO源产品的化学反应特使，接触水和氧气会发生剧烈反应，所以这一操作存在很大的危险系数，所以在下游使用完毕后需要对于反应容器中的钢瓶进行进一步的特殊处理，以保证后期能够进行进一步的水清洗，但目前对MO源钢瓶残留物处理本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MO源钢瓶专用的残留物处理装置，其特征在于，包括：氮气泵，所述氮气泵的出口端设有氮气控制阀，所述氮气控制阀远离氮气泵的一侧设有烘箱，所述烘箱底部设有多个MO源钢瓶放置槽，所述MO源钢瓶放置槽的上方两侧均设有阀门，所述氮气控制阀的出口端通过连接管与烘箱内阀门连通；所述烘箱远离氮气泵的一侧设有三通阀门，所述三通阀门上端出口端通过连接管与接收罐连通，所述三通阀门下端出口端通过连接管与冷阱连通，所述冷阱的出口端通过连接管与真空泵连通。

【技术特征摘要】
1.一种MO源钢瓶专用的残留物处理装置，其特征在于，包括：氮气泵，所述氮气泵的出口端设有氮气控制阀，所述氮气控制阀远离氮气泵的一侧设有烘箱，所述烘箱底部设有多个MO源钢瓶放置槽，所述MO源钢瓶放置槽的上方两侧均设有阀门，所述氮气控制阀的出口端通过连接管与烘箱内阀门连通；所述烘箱远离氮气泵的一侧设有三通阀门，所述三通阀门上端出口端通过连接管与接收罐连通，所述三通阀门下端出口端通过连接管与冷阱连通，所述冷阱的出口端通过连接管与真空泵连通。2.根据权利要求1所述的一种MO源钢瓶专用的残留物处理装置，其特征在于：所述阀门分...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾宏伟，茅嘉原，李敏，王士峰，洪海燕，严金林，刘纪亮，
申请(专利权)人：苏州普耀光电材料有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32