下载一种MO源钢瓶专用的残留物处理装置的技术资料

文档序号:16807853

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本实用新型公开了一种MO源钢瓶专用的残留物处理装置,包括:氮气泵,所述氮气泵的出口端设有氮气控制阀,所述氮气控制阀远离氮气泵的一侧设有烘箱,所述烘箱底部设有多个MO源钢瓶放置槽,所述MO源钢瓶放置槽的上方两侧均设有阀门,所述氮气控制阀的出口...
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