一种迷你型微机电可调光衰减器制造技术
A mini type microelectromechanical adjustable optical attenuator
The invention relates to the field of optical devices, and discloses a mini type MEMS variable optical attenuator, solve the existing MEMS VOA complex structure, the problem of high production costs. The invention includes a TO socket and MEMS chip, MEMS chip set in the TO socket, TO socket comprises a metal table and a pin, the metal platform is provided with a through hole, pin comprising a first pin and a second pin end; the first pin and the second pin connecting the metal platform, passes through the through hole, an insulating material is filled between and hole in the second pin and the second pin; the lower part of the upper part and includes, among them, the central axis of the lower portion of the central axis coincides with the through hole of the upper part of the center axis deviation, and the center of the via hole axis. The invention is suitable for optical fiber transmission control.
【技术实现步骤摘要】
一种迷你型微机电可调光衰减器
本专利技术涉及光学器件领域；特别涉及一种迷你型微机电可调光衰减器(MINIMEMSVOA)。
技术介绍
可调光衰减器，即VOA，是智能化光网络中的一种重要的光传输器件，是组成光放大器的关键部件，在光纤通信系统中起到功率平衡的作用，并广泛应用于波分复用系统WDM/DWDM的信道増益平衡和光接收器件保护。其可以与光波分复用器WDM、分光探测器TAPPD、掺铒光纤放大器EDFA等光器件构成可重构光分插复用器ROADM、预均衡合波器VMUX、增益平坦EDFA等模块。可调光衰减器根据制造工艺进行区分包括传统机械型、波导型、液晶型、微机电MEMS型等。其中，波导型和液晶型光能量均衡器技术尚不成熟，商用产品极少。机械型发展最成熟，但是其体积大，结构复杂，操作不便。如专利号为CN02136828.7的专利《电磁驱动位错型微机械可变光衰减器》提出ー种利用电磁驱动力和弾性体控制光纤错位位移，从而实现光衰减器的方法。这种装置结构需要可动平台、定位槽和弾性体等机械部件，所以结构复杂，且弾性体容易产生机械疲劳，影响装置性能，缩短器件寿命。MEMSVOA的实现方...
【技术保护点】
一种迷你型微机电可调光衰减器，包括TO管座和MEMS芯片，MEMS芯片设置在TO管座上，TO管座包括金属台和插针，金属台设置有通孔，插针包括第一插针和第二插针；第一插针与金属台的下端连接，第二插针穿过所述通孔，且在第二插针与所述通孔之间填充有绝缘材料；其特征在于，第二插针包括上段部和下段部，下段部的中心轴与上段部的中心轴偏离。
【技术特征摘要】
1.一种迷你型微机电可调光衰减器，包括TO管座和MEMS芯片，MEMS芯片设置在TO管座上，TO管座包括金属台和插针，金属台设置有通孔，插针包括第一插针和第二插针；第一插针与金属台的下端连接，第二插针穿过所述通孔，且在第二插针与所述通孔之间填充有绝缘材料；其特征在于，第二插针包括上段部和下段部，下段部的中心轴与上段部的中心轴偏离。2.如权利要求1所述的一种迷你型微机电可调光衰减器，其特征在于，下段部的中心轴与所述通孔的中心轴重合，上段部的中心轴与所述通孔的中心轴偏离。3.如权利要求2所述的一种迷你型微机电可调光衰减器，其特征在于，上...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁联长，
申请(专利权)人：四川梓冠光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：四川,51
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