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本发明涉及光学器件领域，公开了一种迷你型微机电可调光衰减器，解决现有MEMS VOA结构复杂、生产成本高的问题。本发明包括TO管座和MEMS芯片，MEMS芯片设置在TO管座上，TO管座包括金属台和插针，金属台设置有通孔，插针包括第一插针和第...
该专利属于四川梓冠光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川梓冠光电科技有限公司授权不得商用。

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