一种加料、化料、分离杂质、长晶同步进行连续拉晶的晶体生长炉制造技术

技术编号:16747198 阅读:28 留言:0更新日期:2017-12-08 14:51
本实用新型专利技术涉及一种加料、化料、分离杂质、长晶同步进行连续拉晶的晶体生长炉,它包括炉桶,在所述炉桶内设有组合式坩埚,在所述炉桶上部设有炉盖,在所述炉盖中部上方设有上炉桶Ⅰ,在所述炉盖上侧方设有加料器,在所述上炉桶Ⅰ内设有提拉头Ⅰ,所述上炉桶Ⅰ与立柱相连,所述立柱与上炉桶Ⅱ相连,在所述上炉桶Ⅱ内设有提拉头Ⅱ,在所述提拉头Ⅰ顶部设有称重器Ⅰ,在所述拉头Ⅱ顶部设有称重器Ⅱ,所述组合式坩埚由外坩埚和内坩埚组成。本实用新型专利技术可以大大降低拉晶成本,又可以提高单晶硅棒品质。

【技术实现步骤摘要】
一种加料、化料、分离杂质、长晶同步进行连续拉晶的晶体生长炉
本技术涉及一种晶体生长炉,具体涉及一种同步连续拉晶的晶体生长炉。
技术介绍
随着社会的发展,人民生活的不断提高,对电的需求越来越多,传统煤和石化原料发电既消耗了不可再生的资源,又对大气造成了严重污染,发展清洁能源越来越被全世界人民公认,特别是太阳能发电在清洁能源中是最理想的能源,但是由于制作成本偏高,严重制约它的大规模发展。目前单晶硅棒拉制的方法是分步法,所谓分步法就是:装料-化料-拉晶-拉完可用的料-停炉-取棒-清炉,都是独立进行,其存在生产效率低,单晶硅棒的品质低,生产成本高等问题。
技术实现思路
专利技术目的:本技术的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种可以大大降低拉晶成本,又可以提高单晶硅棒品质的晶体生长炉。技术方案:为了解决上述技术问题,本技术所述的一种加料、化料、分离杂质、长晶同步进行连续拉晶的晶体生长炉,它包括炉桶,在所述炉桶内设有组合式坩埚,在所述炉桶上部设有炉盖,在所述炉盖中部上方设有上炉桶Ⅰ,在所述炉盖上侧方设有加料器,在所述上炉桶Ⅰ内设有提拉头Ⅰ,所述上炉桶Ⅰ与立柱相连,所述立柱与上炉桶Ⅱ相连,在所述上炉桶Ⅱ内设有提拉头Ⅱ,在所述提拉头Ⅰ顶部设有称重器Ⅰ,在所述拉头Ⅱ顶部设有称重器Ⅱ,所述组合式坩埚由外坩埚和内坩埚组成,在所述内坩埚侧壁上设有开口,在所述加料器和组合式坩埚之间设有加料管,在所述加料器与炉盖之间设有气管。所述加料管一端设在外坩埚和内坩埚之间。在所述炉盖上设有测温口。有益效果:本技术与现有技术相比,其显著优点是:本技术整体结构设置合理,采用提拉头Ⅰ和提拉头Ⅱ,两者可以切换使用,同时配合加料器和称重器,在拉晶时确保拉出晶体质量和添加硅料质量一致,因此长晶液面位置是恒定的,长晶液面的温度波动就很小,长晶时就会很稳定,再利用组合式坩埚,拉晶、加料、化料、分离杂质同步进行,节省了以前装料、化料、晶棒冷却、停炉、清炉的时间,拉速明显提高,拉晶的稳定性也明显提高,产能是目前单晶炉的2.5倍以上,符合实际使用要求。附图说明图1是本技术的整体结构示意图;图2是本技术中所述组合式坩埚的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步的说明。如图1和图2所示,本技术所述的一种加料、化料、分离杂质、长晶同步进行连续拉晶的晶体生长炉,它包括炉桶1,在所述炉桶1内设有组合式坩埚,在所述炉桶1上部设有炉盖2,在所述炉盖2中部上方设有上炉桶Ⅰ3,在所述炉盖2上侧方设有加料器4,在所述上炉桶Ⅰ3内设有提拉头Ⅰ5,所述上炉桶Ⅰ3与立柱6相连,所述立柱6与上炉桶Ⅱ7相连,在所述上炉桶Ⅱ7内设有提拉头Ⅱ8,在所述提拉头Ⅰ5顶部设有称重器Ⅰ9,在所述拉头Ⅱ8顶部设有称重器Ⅱ10,所述组合式坩埚由外坩埚11和内坩埚12组成,在所述内坩埚12侧壁上设有开口13,在所述加料器4和组合式坩埚之间设有加料管14,在所述加料器4与炉盖2之间设有气管15;所述加料管14一端设在外坩埚11和内坩埚12之间;在所述炉盖2上设有测温口16。本技术整体结构设置合理,采用提拉头Ⅰ和提拉头Ⅱ,两者可以切换使用,同时配合加料器和称重器,在拉晶时确保拉出晶体质量和添加硅料质量一致,因此长晶液面位置是恒定的,长晶液面的温度波动就很小,长晶时就会很稳定,再利用组合式坩埚,拉晶、加料、化料、分离杂质同步进行,节省了以前装料、化料、晶棒冷却、停炉、清炉的时间,拉速明显提高,拉晶的稳定性也明显提高,产能是目前单晶炉的2.5倍以上,符合实际使用要求。本技术提供了一种思路及方法,具体实现该技术方案的方法和途径很多,以上所述仅是本技术的优选实施方式,应当指出,对于本
的普通技术人员来说,在不脱离本技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本技术的保护范围,本实施例中未明确的各组成部分均可用现有技术加以实现。本文档来自技高网
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一种加料、化料、分离杂质、长晶同步进行连续拉晶的晶体生长炉

【技术保护点】
一种加料、化料、分离杂质、长晶同步进行连续拉晶的晶体生长炉,其特征在于:它包括炉桶(1),在所述炉桶(1)内设有组合式坩埚,在所述炉桶(1)上部设有炉盖(2),在所述炉盖(2)中部上方设有上炉桶Ⅰ(3),在所述炉盖(2)上侧方设有加料器(4),在所述上炉桶Ⅰ(3)内设有提拉头Ⅰ(5),所述上炉桶Ⅰ(3)与立柱(6)相连,所述立柱(6)与上炉桶Ⅱ(7)相连,在所述上炉桶Ⅱ(7)内设有提拉头Ⅱ(8),在所述提拉头Ⅰ(5)顶部设有称重器Ⅰ(9),在所述拉头Ⅱ(8)顶部设有称重器Ⅱ(10),所述组合式坩埚由外坩埚(11)和内坩埚(12)组成,在所述内坩埚(12)侧壁上设有开口(13),在所述加料器(4)和组合式坩埚之间设有加料管(14),在所述加料器(4)与炉盖(2)之间设有气管(15)。

【技术特征摘要】
1.一种加料、化料、分离杂质、长晶同步进行连续拉晶的晶体生长炉,其特征在于:它包括炉桶(1),在所述炉桶(1)内设有组合式坩埚,在所述炉桶(1)上部设有炉盖(2),在所述炉盖(2)中部上方设有上炉桶Ⅰ(3),在所述炉盖(2)上侧方设有加料器(4),在所述上炉桶Ⅰ(3)内设有提拉头Ⅰ(5),所述上炉桶Ⅰ(3)与立柱(6)相连,所述立柱(6)与上炉桶Ⅱ(7)相连,在所述上炉桶Ⅱ(7)内设有提拉头Ⅱ(8),在所述提拉头Ⅰ(5)顶部设有称重器Ⅰ(9),在所述拉头Ⅱ(8)顶部设有称重器Ⅱ(10...

【专利技术属性】
技术研发人员:袁玉平
申请(专利权)人:江苏恒合科技有限公司
类型:新型
国别省市:江苏,32

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