一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块，包括至少一个具有四个45°抛光内端面的矩形氧化硅光波导、至少一个垂直腔面激光器和至少一个光子探测器，其制备方法为：利用45°刀头将矩形波导切割成三段，由划片机在芯片上切割出四个45°内端面；采用真空电子束热蒸发等对应工艺镀上布拉格反射膜、金属膜以及金属导线和焊点；再用折射率匹配胶将切割镀膜后的矩形波导粘合，同时在内端面狭缝上方一定区域涂上匹配胶；最后通过倒装焊接的方法，将垂直腔面激光器和光子探测器分别与对应的金属电极焊接，集成于内端面狭缝之上，本实用新型专利技术低成本，高速率，可实现多通道传输数据。

【技术实现步骤摘要】
一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块
本技术涉及光纤通信领域，尤其涉及一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块。
技术介绍
40Gb/sQSFP有源光缆作为高速大容量光互联传输的解决方案之一，其技术与成本相比于传统的10Gb/s的铜传输电缆具有相当的优势。传统的铜线有电缆笨重，弯曲半径大，功耗高，传输距离短，速率低等缺点。而AOC有源光缆与之相比有众多优势，比如在链路上传输功率更低，重量仅为直连铜缆的四分之一，体积约为铜缆的一半，弯曲半径可以做的更小，在数据中心机房布线更方便，具有更好的空气流动散热性，传输距离远。有源光缆的核心为其中的光收发模块。目前，诸多40Gb/s的有源光缆的光收发模块，采用的是850nm波长的垂直腔面激光器，连接两收发模块的光缆多采用多模光纤，这将导致信号在传输的过程中有较大的色散和损耗，限制了传输距离和数据速率。
技术实现思路
本技术的目的在于解决传统依靠分立器件封装的光收发模块的成本问题以及速率和传输距离的问题，提供一种新型的低成本，高速率，可实现多通道的集成光收发模块。本技术的技术方案是：一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块，包括至少一个具有四个45°抛本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块，其特征在于:包括至少一个具有四个45°抛光内端面的矩形氧化硅光波导、至少一个垂直腔面激光器和至少一个光子探测器。

【技术特征摘要】
1.一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块，其特征在于:包括至少一个具有四个45°抛光内端面的矩形氧化硅光波导、至少一个垂直腔面激光器和至少一个光子探测器。2.如权利要求1所述的一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块，其特征在于：所述矩形氧化硅光波导由一个矩形的高折射率氧化硅芯层和位于其周围的低折射率氧化硅包层组成。3.如权利要求2所述的一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块，其特征在于：所述内端面中一个面上镀有布拉格反射膜。4.如权利要求3所述的一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块，其特征在于：所述内端面中另一个面上镀有金属反射膜。5.如...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘柳，周旋，时尧成，
申请(专利权)人：绍兴柯芯光电技术有限公司，浙江大学，华南师范大学，
类型：新型
国别省市：浙江,33