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本实用新型公开了一种基于氧化硅矩形光波导的集成光收发模块，包括至少一个具有四个45°抛光内端面的矩形氧化硅光波导、至少一个垂直腔面激光器和至少一个光子探测器，其制备方法为：利用45°刀头将矩形波导切割成三段，由划片机在芯片上切割出四个45°...该专利属于绍兴柯芯光电技术有限公司;浙江大学;华南师范大学所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴柯芯光电技术有限公司;浙江大学;华南师范大学授权不得商用。