本实用新型专利技术提供了一种用于处理在太阳能电池的制造中使用的基板(10)的设备(100)。所述设备(100)包括：运输布置(110)，所述运输布置具有至少第一运输线路(112)和第二运输线路(114)并且被配置成用于运输基板(10)；以及基板处理布置(120)，所述基板处理布置在运输布置(110)处。所述基板处理布置(120)包括：激光装置(122)，所述激光装置被配置成提供用于基板(10)的处理的激光射束；以及偏转装置(124)，所述偏转装置具有第一操作状态和第二操作状态，其中所述偏转装置(124)被配置成在第一操作状态下将激光射束朝第一运输线路(112)引导并且在第二操作状态下将激光射束朝第二运输线路(114)引导。
【技术实现步骤摘要】
用于处理在太阳能电池的制造中使用的基板的设备以及用于太阳能电池制造的系统
本技术的实施方式涉及一种用于处理在太阳能电池的制造中使用的基板的设备以及用于太阳能电池制造的系统。本技术的实施方式尤其涉及一种用于搭接的太阳能电池的制造的系统。
技术介绍
太阳能电池是将阳光直接转换成电能的光伏(PV)器件。用于太阳能电池处理的设备可以具有含多条运输线路的线路配置，其中多个工艺站可沿运输线路提供。为了增大设备产量，多个运输线路可平行地布置，每个运输线路具有相应的工艺站。这种设备耗费相当大的安装空间。另外，例如产生关于操作和维护的成本。鉴于上述内容，克服本
的问题中至少一些的用于处理在太阳能电池的制造中使用的基板的新型设备以及用于太阳能电池制造的系统是有益的。本技术的目标尤其在于提供可提供较高产量和/或降低复杂程度的设备和系统。
技术实现思路
鉴于上述内容，提供一种用于处理在太阳能电池的制造中使用的基板的设备以及一种用于太阳能电池制造的系统。本实用型新的进一步的方面、益处和特征从权利要求书、说明书和附图显而易见。根据本技术的方面，提供一种用于处理在太阳能电池的制造中使用的基板的设备。所述设备包括：运输布置，所述运输布置具有至少第一运输线路和第二运输线路并且被配置成用于基板的运输；以及基板处理布置，所述基板处理布置在运输布置处。所述基板处理布置包括：激光装置，所述激光装置被配置成提供用于基板的处理的激光射束；以及偏转装置，所述偏转装置具有第一操作状态和第二操作状态，其中所述偏转装置被配置成在第一操作状态下将激光射束朝第一运输线路引导并且在第二操作状态下将激光射束朝第二运输线路引导。根据本技术的进一步的方面，提供一种用于太阳能电池制造的系统。所述系统包括：一或多个工艺站；以及根据本文所述实施方式的用于处理在太阳能电池的制造中使用的基板的设备。所述一或多个工艺站中的至少一个工艺站包括基板处理布置。附图说明因此，为了能够详细理解本技术的上述特征结构的方式，可以参考实施方式得出上文所简要概述的本技术的更具体的描述。附图涉及本技术的各个实施方式，并且描述如下：图1示出根据本文所述实施方式的用于处理在太阳能电池的制造中使用的基板的设备的示意性顶视图；图2A和图2B示出根据本文所述实施方式的说明用于处理在太阳能电池的制造中使用的基板的设备的第一操作状态和第二操作状态的示意图；图3示出根据本文所述实施方式的用于太阳能电池制造的系统的示意性顶视图；以及图4示出根据本文所述实施方式的工艺顺序的示意图。具体实施方式现将详细参考本技术的各种实施方式，这些实施方式的一或多个实例在附图中说明。在以下对附图的描述内，相同附图标记是指相同部件。一般来说，仅描述了相对于个体实施方式的差异。每个实例以解释
技术实现思路
的方式提供，而不表示本技术的限制。另外，说明或描述为一个实施方式的部分的特征可以用于其他实施方式或与它们结合产生另一实施方式。预期的是，描述包括这样的修改和变化。在用于太阳能电池处理的设备中，可提供两条运输线路来用于多个太阳能电池的并行处理。可沿每条运输线路提供多个工艺站。可将每个工艺站提供两个，即，两条运输线路中的每者各设一个。为每条运输线路提供了相应的工艺站增大设备占用面积并耗费了相当大的安装空间。另外，例如，就操作和维护来说，产生成本，因为每个工艺站有两个。本技术使用了用于基板处理(诸如激光划线)的激光装置，还有可偏转由激光装置提供的激光射束的偏转装置。偏转装置可将激光射束朝第一运输线路或第二运输线路引导，这取决于偏转装置的操作状态。切换操作状态可将激光射束从第一运输线路重新定向到第二运输线路，反之亦然。可使用相同激光装置来处理定位在第一运输线路和第二运输线路两者上的基板。该设备的复杂程度和/或占用面积可以减小。激光装置的占空比可以增大。图1示出根据本文所述实施方式的用于处理在太阳能电池的制造中使用的基板10的设备100的示意性顶视图。基板10可为晶片，如硅晶片。设备100包括：运输布置110，所述运输布置具有至少第一运输线路112和第二运输线路114并且被配置成用于运输基板10；以及基板处理布置120，所述基板处理布置在运输布置110处。基板处理布置120包括：激光装置122，所述激光装置被配置成提供用于基板10的处理的激光射束123；以及偏转装置124，所述偏转装置具有第一操作状态和第二操作状态。偏转装置124被配置成在第一操作状态下将激光射束123朝第一运输线路112引导，并且在第二操作状态下将激光射束朝第二运输线路114引导。设备100可将由单个激光装置提供的相同激光射束向第一运输线路112和第二运输线路114两者引导以交替地处理在第一运输线路112和第二运输线路114上运输的基板。具体来说，代替使用单独地在每条运输线路上工作的两个激光装置，本技术使用了单个激光装置并通过切换偏转装置124的操作状态将激光射束123递送到一侧和另一侧。在一些实现方式中，切换操作状态可以包括切换镜子的位置或取向。激光装置122的占空比可以增大。举例来说，在基板在一条运输线路上移动过程中，激光装置可以处理另一运输线路上的基板。根据一些实施方式，第一运输线路112和第二运输线路114可邻近于彼此和/或基本上平行于彼此延伸。可将基板处理布置120提供在第一运输线路112和第二运输线路114之间。在一些实施方式中，基板处理布置120可设置在第一运输线路112和第二运输线路114的至少一部分上方和/或可延伸过第一运输线路112和第二运输线路114的至少一部分。运输布置110可配置成用于运输基板，例如沿基本线型路径来进行运输。具体来说，第一运输线路112可以提供第一运输方向，并且第二运输线路114可以提供第二运输方向(以下称为“运输方向1”)。第一运输方向和第二运输方向可为基本上平行于彼此。由第一运输线路112和第二运输线路114提供的运输方向可为或对应于运输方向1。运输方向1可为基本上水平的方向。术语“基本上平行的”涉及例如运输线路和/或运输方向的基本上平行的取向，其中与精确平行取向的几度(例如，最多1°或甚至最多5°)偏差仍被示为“基本上平行的”。偏差可由例如设备100的制造公差造成。术语“水平方向”被理解为与“竖直方向”做区分。也就是说，“水平方向”涉及基本上水平的方向，其中与完全水平方向的几度(例如，最多5°或甚至最多10°)偏差仍被视为“基本上水平的方向”。竖直方向可基本平行于重力。根据一些实施方式，第一运输线路112和/或第二运输线路114可以是输送机，诸如皮带输送机。皮带输送机可以包括可围绕旋转轴线旋转的滚子和设在滚子上的一或多条皮带。一或多条皮带被配置成用于在基板10沿运输方向1的运输期间支撑基板10，运输方向1可为基本上水平的方向。根据进一步的实施方式，第一运输线路112和/或第二运输线路114包括一或多个导轨和可沿一或多个导轨移动的滑梭。滑梭被配置成用于沿导轨支撑和运输基板10。根据可与本文所述其他实施方式相组合的一些实施方式，设备100包括被配置成改变或切换偏转装置124的操作状态的控制器。具体来说，该控制器可配置成将第一操作状态改变为第二操作状态和将第二操作状态改变为本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于处理在太阳能电池的制造中使用的基板的设备，所述设备包括：运输布置，所述运输布置具有至少第一运输线路和第二运输线路并且被配置成用于运输所述基板；以及基板处理布置，所述基板处理布置在所述运输布置处，其中所述基板处理布置包括：激光装置，所述激光装置被配置成提供用于所述基板的处理的激光射束；以及偏转装置，所述偏转装置具有第一操作状态和第二操作状态，其中所述偏转装置被配置成在所述第一操作状态下将所述激光射束朝所述第一运输线路引导并且在所述第二操作状态下将所述激光射束朝所述第二运输线路引导。
【技术特征摘要】
1.一种用于处理在太阳能电池的制造中使用的基板的设备，所述设备包括：运输布置，所述运输布置具有至少第一运输线路和第二运输线路并且被配置成用于运输所述基板；以及基板处理布置，所述基板处理布置在所述运输布置处，其中所述基板处理布置包括：激光装置，所述激光装置被配置成提供用于所述基板的处理的激光射束；以及偏转装置，所述偏转装置具有第一操作状态和第二操作状态，其中所述偏转装置被配置成在所述第一操作状态下将所述激光射束朝所述第一运输线路引导并且在所述第二操作状态下将所述激光射束朝所述第二运输线路引导。2.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述偏转装置被配置成至少在提供所述第一操作状态的第一取向与提供所述第二操作状态的第二取向之间能够移动，其中所述偏转装置被配置成在所述第一取向上将所述激光射束朝所述第一运输线路引导并且在所述第二取向上将所述激光射束朝所述第二运输线路引导。3.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述偏转装置包括一或多个镜子。4.如权利要求3所述的设备，其特征在于，所述一或多个镜子是可旋转镜。5.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述设备被配置成交替地将所述激光射束朝所述第一运输线路和所述第二运输线路引导，以便进行基板处理。6.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述激光装置被配置成用于激光划线。7.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一运输线路在朝所述第一运输线路引导所述激光射束以供进行基板处理时是静止的，并且其中所述第二运输线路在朝所述第二运输线路引导所述激光射束以供进行基板处理时是静止的。8.如权利要求1所述的设备，其特征在于，所述第一运输线路在朝所述第二运输线路引导所述激光射束以供进行基板处理时是非静止的，并且其中所述第二运输线路在朝所述第一运输线路引导所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：L·德桑蒂，D·托尼尼，D·吉斯隆，M·佳利亚佐，A·巴希尼，M·法瓦罗，
申请(专利权)人：应用材料意大利有限公司，
类型：新型
国别省市：意大利,IT
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