一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜制造技术

本实用新型专利技术涉及原子力显微镜领域，一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜由湿度控制器连通原子力显微镜组成，所述湿度控制器主要包括气体入口、气体出口、管路三通、干气路流量调节器、湿气路流量调节器、超声喷雾器、气体混合室、温度及湿度感应器、隔离减震器及通气管路，所述原子力显微镜主要包括扫描腔、悬臂及针尖、控制电路、样品，所述湿气路流量调节器、干气路流量调节器与由计算机控制的马达连接且能够控制气体流速。本实用新型专利技术通过用超声喷雾器来产生水饱和气体，通入原子力显微镜扫描腔的气流更平稳，噪声小；气流的相对湿度和温度在气体混合室I和气体混合室II中分别测量，使得气体及样品表面的湿度及温度更容易控制且精度更高。

【技术实现步骤摘要】
一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜
本技术涉及一种纳米结构的原子力显微镜领域，特别是一种用于湿度环境下样品材料表面性质研究的、稳定性好且低噪声的一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜。
技术介绍
原子力显微镜(AtomicForceMicroscope，AFM)是利用原子、分子间的相互作用力来观察物体表面微观形貌的仪器，其基本原理为：通过将一根纳米级尺度的探针固定在可灵敏操控的微米级弹性悬臂上，当针尖与样品非常接近时，针尖尖端的原子与样品表面原子之间的作用力会使所述微米级弹性悬臂弯曲，偏离原来的位置；同时，有一束激光照射到悬臂上，并反射到激光监测器中，弹性悬臂的弯曲导致了激光的偏向，由此得到光斑的偏移量，根据该偏移量以及其振动频率、作为反馈信号，经过特定的反馈系统输入计算机中，计算机能够以此来重建三维图像，从而获得样品表面的形貌及成分信息。原子力显微镜可以用于不同湿度环境下样品表面的性质研究，例如，使用AFM以环境条件为自变量的方程来研究粘附、摩擦等类似的相互作用，展现出环境中相对湿度的变化而产生的区别。为了实施这种实验，样品和扫描探针都被置于一个独立的湿度可控的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜，由湿度控制器连通原子力显微镜组成，所述湿度控制器主要包括气体入口I(1)、管路三通I(2)、干气路流量调节器(3)、湿气路流量调节器(4)、气体入口II(5)、气体出口II(6)、由防溅挡板(7)、超声单元(8)、冷却器(9)组成的超声喷雾器(10)、管路三通II(11)、气体混合室I(12)、气体混合室II(13)、气体出口I(14)、温度及湿度感应器I(15)、温度及湿度感应器II(16)、气体入口III(21)、气体出口III(22)、隔离减震器I(23)、隔离减震器II(24)及通气管路，所述原子力显微镜主要包括扫描腔(17)、悬臂及针尖...

【技术特征摘要】
1.一种低噪声的样品相对湿度连续可调的原子力显微镜，由湿度控制器连通原子力显微镜组成，所述湿度控制器主要包括气体入口I(1)、管路三通I(2)、干气路流量调节器(3)、湿气路流量调节器(4)、气体入口II(5)、气体出口II(6)、由防溅挡板(7)、超声单元(8)、冷却器(9)组成的超声喷雾器(10)、管路三通II(11)、气体混合室I(12)、气体混合室II(13)、气体出口I(14)、温度及湿度感应器I(15)、温度及湿度感应器II(16)、气体入口III(21)、气体出口III(22)、隔离减震器I(23)、隔离减震器II(24)及通气管路，所述原子力显微镜主要包括扫描腔(17)、悬臂及针尖(18)、控制电路(19)、样品(20)，其中悬臂及针尖(18)和样品(20)位于所述扫描腔(17)内、控制电路(19)位于所述扫描腔(17)外并通过电缆与悬臂及针尖(18)、样品(20)相连，其特征是：所述气体入口II(5)、湿气路流量调节器(4)、管路三通I(2)、干气路流量调节器(3)、管路三通II(11)、气体出口II(6)依次连通，所述气体入口I(1)连通管路三通I(2)，所述湿气路流量调节器(4)、干气路流量调节器(3)与由计算机控制的马达连接且能够控制气体流速，所述气体入口II(5)和气体出口II(6)均连通入所述超声喷雾器(10)内；所述管路三通II(11)、气体混合室I(12)、气体入口III(21)...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵永建，张向平，潘天娟，
申请(专利权)人：金华职业技术学院，
类型：新型
国别省市：浙江,33