图案描画装置及图案描画方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供图案描画装置及图案描画方法。图案描画装置包括：第一摄像部，读取对准标记，并读取位置偏差检测用的第一图案的图像；第二摄像部，读取所述第一图案的图像，并读取边进行工作台与光学头间的相对移动、边通过来自所述光学头的照射光描画出的位置偏差检测用的第二图案的图像；以及位置偏差检测部，基于所述第一摄像部的读取图像求出该第一摄像部的视野中心与所述第一图案的中心之间的第一坐标差，并基于所述第二摄像部的读取图像求出所述第一图案的中心与所述第二图案的特定位置之间的第二坐标差。

Pattern drawing device and pattern drawing method

The invention provides a pattern drawing device and a pattern drawing method. Pattern writing apparatus includes a first camera, read alignment mark, and image reading position deviation detection with the first pattern; second camera, the first image reading pattern, and read the side for the relative movement, through the edge image from the optical head light draw position deviation detection for second patterns of the work table and the optical head; and the position deviation detection part, wherein the first camera to read the image obtained by the first coordinate between the first camera vision center and the center of the first pattern based on the difference, and based on the calculated second coordinate between the specific position of the first pattern and the center of the the second pattern is the difference of the second camera reads the image department.

【技术实现步骤摘要】
图案描画装置及图案描画方法
本专利技术涉及从光学头照射激光至放置于工件台上的作为工件的基板上的感光材料来描画布线图案等的图案描画装置及图案描画方法。
技术介绍
在这种图案描画装置中，通常，考虑到构成元素间的位置关系在实际的描画阶段与设计值并不相同而事先检测其位置偏差，以校正描画位置。例如，在专利文献1中公开有一种下述的图案描画装置，其通过分别检测用于读取形成于基板上的、作为位置调整用的基准的对准标记(以下称为AM)的AM用摄像机与位置偏差检测用的校正图案间的位置偏差、以及光学头的脉冲光与校正图案间的位置偏差，从而来检测AM用摄像机与光学头间相对于设计值的位置偏差。位置偏差检测动作优选在接近于实际描画动作的状态下进行，如果不那样的话，甚至连该检测时期的差异都会产生位置偏差。具体而言，工件台相对于光学头的相对移动动作与激光照射系统中的照射时机的时间性偏差表现为位置偏差。在要求更高精度的图案描画的情况下，该位置偏差将变得不可忽视，而在专利文献1的位置偏差检测方式中，对于这样的问题完全未作考虑。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2008-65034号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题因此，本专利技术的目的在于，在以形成于工件上的作为描画位置的基准的对准标记的读取位置为基准来控制放置所述工件的工作台与光学头间的相对移动量的图案描画方式中，使之能够高精度地检测相对于设计值的位置偏差。用于解决技术问题的方案在本申请公开的专利技术中，代表性的图案描画装置具有光学头，并以形成于工件上的作为描画位置的基准的对准标记的读取位置为基准控制放置所述工件的工作台与所述光学头间的相对移动量，使得通过所述光学头将图案描画于所述工件上，其特征在于，包括：第一摄像部，读取所述对准标记，并读取位置偏差检测用的第一图案的图像；第二摄像部，读取所述第一图案的图像，并读取边进行所述工作台与所述光学头间的相对移动、边通过来自所述光学头的照射光描画出的位置偏差检测用的第二图案的图像；以及位置偏差检测部，基于所述第一摄像部的读取图像求出该第一摄像部的视野中心与所述第一图案的中心之间的第一坐标差，并基于所述第二摄像部的读取图像求出所述第一图案的中心与所述第二图案的特定位置之间的第二坐标差。另外，在本申请公开的专利技术中，代表性的图案描画方法以形成于工件上的作为描画位置的基准的对准标记的读取位置为基准控制放置所述工件的工作台与光学头间的相对移动量，使得通过所述光学头而将图案描画于所述工件上，其特征在于，包括：第一工序，通过用读取所述对准标记的第一摄像部来读取位置偏差检测用的第一图案的图像，从而求出该第一摄像部的视野中心与所述第一图案的中心之间的第一坐标差；第二工序，边进行所述工作台与所述光学头间的相对移动，边通过来自所述光学头的照射光来描画位置偏差检测用的第二图案；以及第三工序，基于读取所述第一图案和所述第二图案的图像的第二摄像部的读取图像而求出所述第一图案的中心与所述第二图案的特定位置之间的第二坐标差。专利技术效果根据本专利技术，在以形成于工件上的作为描画位置的基准的对准标记的读取位置为基准来控制放置所述工件的工作台与光学头间的相对移动量的图案描画方式中，能够高精度地检测相对于设计值的位置偏差。附图说明图1是用于说明本专利技术中的位置偏差检测的图。图2是本专利技术一实施例中的图案描画装置的简要俯视图。图3是用于说明本专利技术一实施例中的光学头用摄像机台的上部结构的图。图4为示出本专利技术一实施例中的校正图案的图。图5是用于说明本专利技术一实施例中的图案描画装置的控制系统的框图。图6是用于说明本专利技术一实施例中的AM用摄像机的读取图像的图。图7是用于说明本专利技术一实施例中的光学头用摄像机的读取图像的图。图8为示出本专利技术一实施例中的位置偏差检测用描画图案的图。图9是用于说明本专利技术一实施例中的与图7不同的时间点上的光学头用摄像机的读取图像的图。图10是用于说明本专利技术一实施例中的动作的流程图。图11的(a)～(c)为示出本专利技术中的校正图案的其它例子的图。图12为示出本专利技术中的位置偏差检测用描画图案的其它例子的图。图13是用于说明在使用了图12所示的位置偏差检测用描画图案的情况下的相当于图9的光学头用摄像机的读取图像的图。附图标记说明1：基板2：工件台3：光学头用摄像机4：光学部、5：光学头用摄像机台8：光学头单元9、12：AM10：AM用摄像机21：校正图案22：校正图案形成板、23：透过部24：遮光部31、32：位置偏差检测用描画图案、41：光学头用摄像机控制部42：AM用摄像机控制部、43：工件台驱动控制部44：光学头控制部45：整体控制部、46：描画控制部47：位置偏差检测部51：校正图案52：透过部、54：AM用摄像机的视野55：AM用摄像机的视野的中心、56：校正图案的中心62：光学头用摄像机的视野63：光学头用摄像机的视野的中心65、67：位置偏差检测用描画图案66：位置偏差检测用描画图案的中心69：位置偏差检测用描画图案的环的内侧部分的中心具体实施方式(实施例)下面，使用图1～8来对本专利技术的实施方式进行说明。图2是作为本专利技术一实施例的图案描画装置的简要俯视图。在图2中，1是作为要进行图案描画的工件的基板，其被放置于能在X方向和Y方向上移动的工件台2之上。在工件台2之上安装有光学头用摄像机台5，光学头用摄像机3和光学部4搭载在光学头用摄像机台5上，通过工件台2向X方向移动，能够通过コ字形的门7之下。在门7的近前侧安装有包括多个光学头的光学头单元8，将激光照射至相对于光学头单元8相对移动的基板1而进行所期望的图案的描画。在该光学头单元8上，经由安装用部件11而安装有用于读取形成于基板1上的AM9的同轴照明型的AM用摄像机10。光学头单元8的各光学头使用的是可动微镜被配置成矩阵状的数字微镜器件(DMD)，根据来自控制单元的开、关(ON/OFF)信号而控制各可动微镜的倾斜度。这样的光学头例如在日本特开2009-80324号公报中已为人所知。图3是用于说明光学头用摄像机台5的上部结构的图。在图3中，在搭载于光学头用摄像机台5上的光学部4的最上部配置形成有校正图案21的校正图案形成板22。校正图案形成板22是透光性的平板部件，如图4所示，校正图案21由在中央部保留有圆形的透过部23的四边形的遮光部24构成。在该校正图案21中，将透过部23的中心作为校正图案21的中心来对待。在校正图案形成板22之下配置：基座26，保持将通过了透过部23的光反射的反射镜25；以及筒状的垫片27，设置规定的间隔而使校正图案形成板22安装于基座26。光学头用摄像机3配置于接收来自反射镜25的光的位置。需要注意的是，透过部23的大小相对于遮光部24而言是相对地小很多，但在图3和图4中，为了使其变得易于辨识而画得大。图5是用于说明图案描画装置的控制系统的框图。在图5中，41是控制光学头用摄像机3的读取动作的光学头用摄像机控制部，42是控制AM用摄像机10的读取动作的AM用摄像机控制部，43是控制工件台2向X方向和Y方向移动的工件台驱动控制部，44是用于控制光学头单元8的各光学头的动作的光学头控制部，其产生控制位于光学头的DMD内的各可动微镜的倾斜度的开、关信号。45是控制装置整体的动作的整体控制部。在整体控制部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种图案描画装置，具有光学头，并以形成于工件上的作为描画位置的基准的对准标记的读取位置为基准控制放置所述工件的工作台与所述光学头间的相对移动量，使得通过所述光学头将图案描画于所述工件上，其特征在于，包括：第一摄像部，读取所述对准标记，并读取位置偏差检测用的第一图案的图像；第二摄像部，读取所述第一图案的图像，并读取边进行所述工作台与所述光学头间的相对移动、边通过来自所述光学头的照射光描画出的位置偏差检测用的第二图案的图像；以及位置偏差检测部，基于所述第一摄像部的读取图像求出该第一摄像部的视野中心与所述第一图案的中心之间的第一坐标差，并基于所述第二摄像部的读取图像求出所述第一图案的中心与所述第二图案的特定位置之间的第二坐标差。

【技术特征摘要】
2016.05.26 JP 2016-1048161.一种图案描画装置，具有光学头，并以形成于工件上的作为描画位置的基准的对准标记的读取位置为基准控制放置所述工件的工作台与所述光学头间的相对移动量，使得通过所述光学头将图案描画于所述工件上，其特征在于，包括：第一摄像部，读取所述对准标记，并读取位置偏差检测用的第一图案的图像；第二摄像部，读取所述第一图案的图像，并读取边进行所述工作台与所述光学头间的相对移动、边通过来自所述光学头的照射光描画出的位置偏差检测用的第二图案的图像；以及位置偏差检测部，基于所述第一摄像部的读取图像求出该第一摄像部的视野中心与所述第一图案的中心之间的第一坐标差，并基于所述第二摄像部的读取图像求出所述第一图案的中心与所述第二图案的特定位置之间的第二坐标差。2.根据权利要求1所述的图案描画装置，其特征在于，所述位置偏差检测部通过求出作为所述第二坐标差的分量的所述第二摄像部的视野中心与所述第一图案的中心之间的第三坐标差以及所述第二摄像部的视野中心与所述第二图案的特定位置之间的第四坐标差来求出所述第二坐标差。3.根据权利要求1所述的图案描画装置，其特征在于，所述图案描画装置基于所述第一坐标差及所述第二坐标差校正以所述对准标记的读取位置为基准的相对移动量。4.根据权利要求2所述的图案描画装置，其特征在于，所述图案描画装置基于所述第一坐标差、所述第三坐标差及所述第四坐标差校正以所述对准标记的读取位置为基准的相对移动量。5.根据权利要求1所述的图案描画装置，其特征在于，所述第二图案通过所述图案描画装置中包括的多个光...

【专利技术属性】
技术研发人员：中岛瑛利子，
申请(专利权)人：维亚机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP