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本发明提供图案描画装置及图案描画方法。图案描画装置包括：第一摄像部，读取对准标记，并读取位置偏差检测用的第一图案的图像；第二摄像部，读取所述第一图案的图像，并读取边进行工作台与光学头间的相对移动、边通过来自所述光学头的照射光描画出的位置偏差...
该专利属于维亚机械株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过维亚机械株式会社授权不得商用。

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