清洗装置及清洗设备制造方法及图纸

一种清洗装置及清洗设备。该清洗装置包括：导轨、一端设置在所述导轨上且可沿所述导轨移动的升降杆、设置在所述升降杆内部的供液管路以及设置在所述升降杆远离所述导轨的一端的端部且与所述供液管路连通的喷嘴。所述升降杆配置为可使所述喷嘴远离或靠近所述导轨。利用该清洗装置，可实现在不同位置及不同高度对待清洗设备进行清洗，减少人力，提高清洗效率。

Cleaning equipment and cleaning equipment

A cleaning device and a cleaning equipment. The cleaning device comprises a guide rail, is arranged on the guide rail and the lifting rod and moves along the guide rail set liquid supply pipe inside the lifting rod and the end of the nozzle is arranged at one end of the lifting rod away from the guide rail and the liquid supply pipe connected. The lifting rod is configured to keep the nozzle away from or close to the guide guide. The cleaning device can be used to clean the cleaning equipment at different positions and different heights, so as to reduce manpower and improve the cleaning efficiency.

【技术实现步骤摘要】
清洗装置及清洗设备
本技术的实施例涉及一种清洗装置及清洗设备。
技术介绍
例如，在液晶显示器的彩膜基板的制备过程中，要多次使用光刻工艺，每次光刻工艺主要包括以下工序：涂布、曝光、显影等。显影的作用主要是利用药液将基板上未被曝光部分的光刻胶清洗掉。清洗后的废液中含有大量的光刻胶成分，生产一段时间后，上述从基板上清洗掉的光刻胶会残留、累积在显影腔室的部件上，造成对相应位置的污染，严重时则会影响生产产品的品质。上述显影腔室每生产一段时间后就需要对其进行清洗作业。为了满足对显影工艺的要求，显影设备由很多显影腔室组成，故上述需清洗的显影腔室较多。同时，显影腔室内的构造复杂，空间狭窄，人员进行清洗作业时较为困难，作业时间长，需要的人力较多，且清洗效果不理想。
技术实现思路
本技术至少一实施例提供一种清洗装置及清洗设备。该清洗装置可实现在不同位置及不同高度对待清洗设备进行清洗，减少人力，提高清洗效率。本技术至少一实施例提供一种清洗装置，包括：导轨，一端设置在所述导轨上且可沿所述导轨移动的升降杆，设置在所述升降杆内部的供液管路，以及设置在所述升降杆远离所述导轨的一端的端部且与所述供液管路连通的喷嘴，其中，所述升降杆配置为可使所述喷嘴远离或靠近所述导轨。例如，在本技术一实施例提供的清洗装置中，所述升降杆包括第一升降杆、第二升降杆以及连接所述第一升降杆和第二升降杆的连接件；所述第一升降杆的端部设置有所述喷嘴，所述第二升降杆设置在所述导轨上，且所述第一升降杆可相对于所述第二升降杆进行升降运动。例如，在本技术一实施例提供的清洗装置中，所述连接件配置为可旋转从而驱动所述第一升降杆相对于所述第二升降杆进行升降运动。例如，本技术一实施例提供的清洗装置还包括内喷头和外喷头。其中，所述内喷头设置在所述外喷头内部，所述喷嘴设置在所述内喷头内部；在所述外喷头上设置有多个第一喷孔，在所述内喷头上设置有多个第二喷孔；所述内喷头和外喷头中至少之一配置为可围绕所述升降杆旋转。例如，在本技术一实施例提供的清洗装置中，所述内喷头的第二喷孔的排布节距和所述外喷头的第一喷孔的排布节距不同。例如，在本技术一实施例提供的清洗装置中，所述内喷头具有环绕设置在所述内喷头外表面上且垂直于所述升降杆轴向的向外凸的滑块，以及所述外喷头具有环绕设置在所述外喷头内表面上且垂直于所述升降杆轴向的向内凹的导槽，其中，所述滑块配置为嵌入在所述导槽内相对于导槽移动。例如，本技术一实施例提供的清洗装置还包括设置在所述升降杆靠近所述导轨的一端的多通阀门，其中，所述多通阀门靠近所述升降杆的一端和所述供液管路连通。例如，本技术一实施例提供的清洗装置还包括与所述升降杆靠近所述导轨的一端连接的支杆，其中，所述多通阀门与所述支杆远离所述升降杆的一端连接。例如，本技术一实施例提供的清洗装置还包括设置在所述导轨上的激光测距单元。例如，本技术一实施例提供的清洗装置还包括设置在所述导轨上且可沿导轨移动的支撑架，其中，所述导轨包括多个平行设置的子导轨，所述升降杆支撑在所述支撑架上。例如，本技术一实施例提供的清洗装置还包括设置在所述子导轨之间的导液槽，其中，所述导液槽设置为倾斜式的。本技术至少一个实施例还提供一种清洗设备，具有本技术任一实施例所述的清洗装置。例如，本技术一实施例提供的清洗设备还包括工作室，其中，所述工作室的壁上设置有开口，所述开口可允许所述清洗装置通过以至少部分进入到所述工作室内。例如，在本技术一实施例提供的清洗设备中，在所述开口处设置有挡板以打开或关闭所述开口。例如，本技术一实施例提供的清洗设备还包括至少一个外部管路，其中，所述外部管路连接到所述清洗装置。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本技术的一些实施例，而非对本技术的限制。图1a为本技术一实施例提供的清洗装置的剖面示意图；图1b为图1a中所示清洗装置在第一升降杆下降时的剖面示意图；图2a为本技术另一实施例提供的清洗装置的剖面示意图；图2b为内喷头和外喷头的放大示意图；图3a为第一喷孔和第二喷孔在第一位置时的相对位置示意图；图3b为第一喷孔和第二喷孔在第二位置时的相对位置示意图；图3c为第一喷孔和第二喷孔在第三位置时的相对位置示意图；图4为本技术另一实施例提供的清洗装置的剖面示意图；图5为本技术另一实施例提供的清洗装置的剖面示意图；图6a为本技术另一实施例提供的清洗装置的剖面示意图；图6b为图6a的侧视剖面示意图；图6c为本技术另一实施例提供的清洗装置的剖面示意图；图7a为本技术一实施例提供的清洗设备在非工作状态时的示意图；图7b为本技术一实施例提供的清洗设备在工作状态时的示意图；图8为本技术一实施例提供的清洗装置在显影腔室中的示意图。附图标记：1-清洗装置；11-导轨；111-第一子导轨；112-第二子导轨；12-升降杆；121-第一升降杆；122-第二升降杆；123-连接件；13-喷嘴；14-供液管路；15-支撑架；21-内喷头；211-滑块；212-第二喷孔；22-外喷头；221-导槽；222-第一喷孔；23-第一旋转结合部；24-第二旋转结合部；31-多通电磁阀；32-支杆；33-外部管路；331-纯水管路；332-清洗液管路；333-压缩气体管路；41-导液槽；42-激光测距单元；43-排液管路；44-软管；5-显影腔室；51-显影腔室底板；52-挡板；53-滚轮；54-滚轮支撑杆具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。除非另外定义，本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。本技术至少一实施例提供一种清洗装置以及具有该清洗装置的清洗设备。该清洗装置包括：导轨、一端设置在导轨上且可沿导轨移动的升降杆、设置在升降杆内部的供液管路以及设置在升降杆远离导轨的一端的端部且与供液管路连通的喷嘴。该升降杆配置为可使喷嘴远离或靠近导轨。该清洗装置可实现在不同位置及不同高度对待清洗设备进行清洗，减少人力，提高清洗效率。下面本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种清洗装置，其特征在于，包括：导轨，一端设置在所述导轨上且可沿所述导轨移动的升降杆，设置在所述升降杆内部的供液管路，以及设置在所述升降杆远离所述导轨的一端的端部且与所述供液管路连通的喷嘴，其中，所述升降杆配置为可使所述喷嘴远离或靠近所述导轨。

【技术特征摘要】
1.一种清洗装置，其特征在于，包括：导轨，一端设置在所述导轨上且可沿所述导轨移动的升降杆，设置在所述升降杆内部的供液管路，以及设置在所述升降杆远离所述导轨的一端的端部且与所述供液管路连通的喷嘴，其中，所述升降杆配置为可使所述喷嘴远离或靠近所述导轨。2.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述升降杆包括第一升降杆、第二升降杆以及连接所述第一升降杆和第二升降杆的连接件，所述第一升降杆的端部设置有所述喷嘴，所述第二升降杆设置在所述导轨上，且所述第一升降杆可相对于所述第二升降杆进行升降运动。3.根据权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述连接件配置为可旋转从而驱动所述第一升降杆相对于所述第二升降杆进行升降运动。4.根据权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，还包括：内喷头和外喷头；其中，所述内喷头设置在所述外喷头内部，所述喷嘴设置在所述内喷头内部；在所述外喷头上设置有多个第一喷孔，在所述内喷头上设置有多个第二喷孔；所述内喷头和外喷头中至少之一配置为可围绕所述升降杆旋转。5.根据权利要求4所述的清洗装置，其特征在于，所述内喷头的第二喷孔的排布节距和所述外喷头的第一喷孔的排布节距不同。6.根据权利要求4所述的清洗装置，其特征在于，所述内喷头具有环绕设置在所述内喷头外表面上且垂直于所述升降杆轴向的向外凸的滑块，以及所述外喷头具有环绕设置在所述外喷头内表面上且垂直于所述升...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐敏，徐鹏飞，单家佳，吴凯，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34