光衰减装置制造方法及图纸

提供一种能够利用简便的结构使测量对象的光的一部分充分地衰减的光衰减装置。光衰减装置(100)具有采样棱镜(101)、双凹透镜(102)以及吸收构件(103)。分束构件使激光束(L)分束。放大构件对分束出来的激光束(L1)的形状进行放大。吸收构件对放大后的激光束(L2)的能量进行吸收。吸收构件的受光部(103a)接收放大后的激光束。吸收构件的第1流通部(103b)与受光部相邻，使对由于激光束而在受光部产生的热进行吸收的介质(冷却水(W))自第1开口部(103d)导入或导出并使该介质流通。吸收构件的第2流通部(103c)使经由与第1流通部连通的连通部(103e)而移动的冷却水自第2开口部(103f)导出或导入并使该冷却水流通。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光衰减装置
本专利技术涉及光衰减装置。
技术介绍
以往以来，存在使激光束的强度衰减的装置(参照例如专利文献1。)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平10-326931号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在上述专利文献1那样的结构中，为了使激光束的一部分充分地衰减，除了设置光阻断部件、多个光分束部件等之外，还设置光吸收部件，使激光束的强度分散，因此，装置就变得大规模。本专利技术是为了解决上述的问题而做成的，目的在于提供一种能够利用简便的结构使测量对象的光的一部分充分地衰减的光衰减装置。用于解决问题的方案达成上述目的的本专利技术的光衰减装置具有分束构件、放大构件以及吸收构件。分束构件对测量对象的光进行分束。放大构件对分束出来的光的形状进行放大。吸收构件对放大后的光的能量进行吸收。吸收构件具备受光部、第1流通部以及第2流通部。受光部接收放大后的光。第1流通部与受光部相邻，使对由于光而在受光部产生的热进行吸收的介质自第1开口部导入或导出并使该介质流通。第2流通部使经由与第1流通部连通的连通部而移动的介质自第2开口部导出或导入并使该介质流通。附图说明图1是表示装入有实施方式的光衰减装置的强度分布测定装置和激光振荡器的立体图。图2是示意性地表示装入有光衰减装置的强度分布测定装置和激光振荡器的主要部分的图。图3是表示装入有光衰减装置的强度分布测定装置和激光振荡器的框图。图4是表示光衰减装置、强度分布测定装置的主要部分以及激光振荡器的框图。图5是表示光衰减装置的立体图。图6是以截面表示光衰减装置的立体图。图7是表示光衰减装置中的光的衰减方法的示意图。图8是以截面表示实施方式的变形例1的光衰减装置的侧视图，(A)是表示光衰减装置的一个例子的图，(B)是表示光衰减装置的另一个例子的图。图9是表示实施方式的变形例2的光衰减装置的放大构件的示意图，(A)是表示第1例的放大构件的图，(B)是表示第2例的放大构件的图，(C)是表示第3例的放大构件的图，(D)是表示第4例的放大构件的图。图10是表示实施方式的变形例3的光衰减装置的分束构件的示意图，(A)是表示第1例的分束构件的图，(B)是表示第2例的分束构件的图，(C)是表示第3例的分束构件的图。图11是表示实施方式的变形例4的光衰减装置的吸收构件的示意图。具体实施方式以下，一边参照附图，一边对本专利技术的实施方式进行说明。在附图的说明中对相同的要素标注相同的附图标记，省略重复的说明。附图中的构件的大小、比率出于说明的方便被夸张，存在与实际的大小、比率不同的情况。(实施方式)作为一形态，光衰减装置100以装入到强度分布测定装置200的状态使用，强度分布测定装置200对相当于测量对象的光的激光束L的强度分布进行测定。光衰减装置100使从激光振荡器300导出来的激光束L分束。光衰减装置100使分束出来的一方激光束L1(激光束L的大部分、例如90％～99％)衰减并使分束出来的另一方的激光束L3(激光束L的极其小的一部分、例如10％～1％)朝向强度分布测定装置200传播。强度分布测定装置200对由光衰减装置100分束出来的另一方的激光束L3的强度分布进行测定。因此，在实施方式中，除了光衰减装置100之外，还对强度分布测定装置200进行说明。首先，参照图1～图7中的特别是图5～图7说明光衰减装置100的结构。图1是表示装入有实施方式的光衰减装置100的强度分布测定装置200和激光振荡器300的立体图。图2是示意性地表示装入有光衰减装置100的强度分布测定装置200和激光振荡器300的主要部分的图。图3是表示装入有光衰减装置100的强度分布测定装置200和激光振荡器300的框图。图4是表示光衰减装置100、强度分布测定装置200的主要部分以及激光振荡器300的框图。图5是表示光衰减装置100的立体图。图6是以截面表示光衰减装置100的立体图。图7是表示光衰减装置100中的光(激光束L2)的衰减方法的示意图。光衰减装置100使测量对象的激光束L(光)的一部分充分地衰减。例如，如图7所示，光衰减装置100除了包括分束构件(采样棱镜101)、放大构件(双凹透镜102)、吸收构件103之外，还包括第1支承构件104、第2支承构件105、恒温循环水槽106、导入管107以及导出管108。以下，依次说明光衰减装置100的结构。采样棱镜101相当于分束构件，对作为测量对象的光的激光束L进行分束。采样棱镜101由例如石英形成，形成为棱镜形状。采样棱镜101对从激光振荡器300导出来的激光束L进行分束。采样棱镜101使作为激光束L的大部分(例如90％)的激光束L1从界面101a透过并朝向双凹透镜102传播。另一方面，采样棱镜101使作为激光束L的极其小的一部分(例如10％)的激光束L3在界面101a处反射并朝向强度分布测定装置200传播。采样棱镜101以载置到第2支承构件105的状态固定。双凹透镜102相当于放大构件，对分束出来的激光束L1的形状进行放大。双凹透镜102对激光束L1的形状进行放大，使向吸收构件103的受光部103a照射的激光束L2的每单位面积的能量量减轻。放大构件对激光束L1的放大除了对激光束L1本身的形状进行放大的结构之外，还包括通过使激光束L1以斜入射向吸收构件103的受光部103a照射而增大照射面积那样的结构。双凹透镜102由例如石英形成，在轴正交截面中形成为圆形状。双凹透镜102将入射面102a和出射面102b分别形成为凹状。双凹透镜102使防反射膜蒸镀于入射面102a和出射面102b而使透过率提高。双凹透镜102使从采样棱镜101传播过来的激光束L1从入射面102a入射并放大，从出射面102b射出并放大。利用双凹透镜102也能够应对经由检流计反射镜311从斜方向入射的激光束L1。从双凹透镜102射出的激光束L2的形状、传播方向能够通过使激光束L1相对于入射面102a的入射角度、入射面102a的曲率半径、出射面102b的曲率半径以及材质(确定与激光束L的波长相对应的折射率)等最优化而任意地设定。双凹透镜102以安装到第1支承构件104的状态固定。吸收构件103对放大后的激光束L2的能量进行吸收。吸收构件103具备受光部103a、第1流通部103b以及第2流通部103c。受光部103a接收由双凹透镜102放大后的激光束L2。第1流通部103b与受光部103a相邻，使对由于激光束L2而在受光部103a产生的热进行吸收的介质(冷却水W)自第1开口部103d导入或导出并流通。第2流通部103c使经由与第1流通部103b连通的连通部103e而移动的冷却水W自第2开口部103f导出或导入并流通。具体而言，吸收构件103由壳体103S、吸热板103T以及分离板103U构成。壳体103S由导热性优异的铜或铝形成，形成为上部开口且下部封闭的圆筒形状。壳体103S的上部相对于水平方向倾斜。在壳体103S的上部形成有呈环状凹陷的第1支承部103Sa。第1支承部103Sa供吸热板103T安装固定。在壳体103S的内部形成有相对于水平方向倾斜而呈环状凹陷的第2支承部103Sb。第2支承部103Sb供分离板103U安装固定。在壳体103S中，吸热板103T与分离板103U之间的空间相当于第1流通部103b。第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光衰减装置，其具有：分束构件，其对测量对象的光进行分束；放大构件，其对分束出来的光的形状进行放大；以及吸收构件，其对放大后的光的能量进行吸收，所述吸收构件具备：受光部，其接收放大后的所述光；第1流通部，其与所述受光部相邻，使对由于所述光而在所述受光部产生的热进行吸收的介质自第1开口部导入或导出并使该介质流通；以及第2流通部，其使经由与所述第1流通部连通的连通部而移动的所述介质自第2开口部导出或导入并使所述介质流通。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2015.03.13 JP 2015-0509881.一种光衰减装置，其具有：分束构件，其对测量对象的光进行分束；放大构件，其对分束出来的光的形状进行放大；以及吸收构件，其对放大后的光的能量进行吸收，所述吸收构件具备：受光部，其接收放大后的所述光；第1流通部，其与所述受光部相邻，使对由于所述光而在所述受光部产生的热进行吸收的介质自第1开口部导入或导出并使该介质流通；以及第2流通部，其使经由与所述第1流通部连通的连通部而移动的所述介质自第2开口部导出或导入并使所述介质流通。2.根据权利要求1所述的光衰减装置，其中，所述第1开口部形成于所述第1流通部的外缘，所述连通部形成于所述第1流通部与所述第2流通部彼此相邻的部分的中央。3.根据权利要求1或2所述的光衰减装置，其中，所述第1流通部形成为圆筒形状，所述第1开口部使所述介质沿着所述第1流通部的内周面在周向上导入或导出。4.根据权利要求1～3中任一项所述的光衰减装置，其中，所述第2开口部形成于所述第2流通部的外缘。5.根据权利要求1～4中任一项所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：森宫直之，鸟居尚之，冈本尚树，吉田直哉，岁桃庸男，
申请(专利权)人：日产自动车株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP